一种晶圆生产物料的调度方法、系统及介质与流程

1.本发明实施例涉及晶圆生产管理技术领域，尤其涉及一种晶圆生产物料的调度方法、系统及介质。

背景技术：

2.目前，在晶圆生产过程中，通常是将生产物料放置于电子货架e-rack，并在电子货架上通过设置条形码读取器(bcr，bar code reader)或无线射频识别(rfid，radio frequency identification)等方式标注物料信息以及具体放置位置。
3.当在生产过程中进行物料补充时，常规方案仍然需要人工去相应的电子货架上进行搬运和调度，造成了搬运效率低并且人工参与容易出现搬运错误的情况发生。

技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明实施例期望提供一种晶圆生产物料的调度方法、系统及介质；能够降低人工参与度，提高生产物料的搬运及调度效率，降低生产设备的等待时间以及错误发生概率。
5.本发明实施例的技术方案是这样实现的：
6.第一方面，本发明实施例提供了一种晶圆生产物料的调度系统，所述系统包括：至少一个服务器、多个具有多个货柜的电子货架、多个自动搬运设备以及仓储设备；其中，每个货柜均对应一工艺设备，用于存放对应工艺设备加工所需的物料或者加工成品；每个货柜均对应设置有可扫描标签，所述标签中存储有对应货柜所装载的物料信息，所述物料信息包括货柜标识、货柜是否装载物料的指示信息、已装载的物料名称、剩余物料数量以及物料规格参数；
7.所述服务器，经配置为接收上级系统的加工指令；其中，所述加工指令包括当前需要进行晶圆加工工艺的目标工艺设备以及需进行加工的物料规格参数；
8.以及，根据电子货架中货柜与工艺设备之间的对应关系，确定所述目标工艺设备对应的候选货柜；
9.以及，收集所述候选货柜所装载的物料规格参数；
10.以及，根据所述需进行加工的物料规格参数从收集到的物料规格参数中选择目标货柜；
11.以及，发出通知以将所述目标货柜中的物料搬送至所述目标工艺设备以进行相应的晶圆加工工艺。
12.第二方面，本发明实施例提供了一种晶圆生产物料的调度方法，所述方法应用于第一方面所述的晶圆生产物料的调度系统，所述方法包括：
13.服务器接收上级系统的加工指令；其中，所述加工指令包括当前需要进行晶圆加工工艺的目标工艺设备以及需进行加工的物料规格参数；
14.服务器根据电子货架中货柜与工艺设备之间的对应关系，确定所述目标工艺设备
对应的候选货柜；
15.服务器收集所述候选货柜所装载的物料规格参数；
16.服务器根据所述需进行加工的物料规格参数从收集到的物料规格参数中选择目标货柜；
17.服务器发出通知以将所述目标货柜中的物料搬送至所述目标工艺设备以进行相应的晶圆加工工艺。
18.第三方面，本发明实施例提供了一种计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有晶圆生产物料的调度程序，所述晶圆生产物料的调度程序被至少一个处理器执行时实现第二方面所述晶圆生产物料的调度方法步骤。
19.本发明实施例提供了一种晶圆生产物料的调度方法、系统及介质；根据电子货架中的货柜与晶圆加工的工艺设备之间的对应关系，使得在工艺设备需要上料时，服务器通过指示自动搬运设备将所需的物料从货柜中取出并搬运至上料处以进行相应的晶圆加工，降低人工参与度，提高生产物料的搬运及调度效率，降低生产设备的等待时间以及错误发生概率。
附图说明
20.图1为晶圆生产过程的工艺流程示意图；
21.图2为本发明实施例提供的晶圆生产的管理系统架构示意图；
22.图3为本发明实施例提供的一种晶圆生产物料的调度系统组成示意图；
23.图4为本发明实施例提供的电子货架的组成示意图；
24.图5为本发明实施例提供的物料信息的数据格式示意图；
25.图6为本发明实施例提供的一种晶圆生产物料的调度方法流程示意图；
26.图7为本发明实施例提供的一种补充晶圆生产物料的流程示意图；
27.图8为本发明实施例提供的一种搬移晶圆生产物料的流程示意图。
具体实施方式
28.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
29.在本发明实施例中，术语“第一”、“第二”等字样用于对作用和功能基本相同的相同项或相似项进行区分，应理解，“第一”、“第二”、“第n”之间不具有逻辑或时序上的依赖关系，也不对数量和执行顺序进行限定。
30.此外，术语“至少一个”是指一个或多个，“多个”的含义是指两个或两个以上，例如，多个电子货架是指两个或两个以上的电子货架。
31.晶圆生产过程1涉及多个工艺流程，如图1所示，主要包括：拉晶、切割、研磨、抛光和清洗；每个工艺均对应有工艺设备eq进行实现或完成，比如拉晶工艺对应拉晶炉11，切割工艺对应线切割机12，研磨工艺对应研磨机13，抛光工艺对应抛光机14，清洗工艺对应清洗机15。当然，除了上述主要的工艺流程以外，还会有额外的工艺流程(图1中未示出)，比如在清洗工艺完成后，可能会根据客户的需求增加外延工艺；又比如在研磨或抛光工艺之后，可能会为了去除晶圆表面的杂质或氧化膜而增加刻蚀工艺，等等；这类额外增加的工艺流程
也对应有生产设备。这些工艺设备通过设备自动化程序(eap，equipment automation programming)的控制及管理以执行完整的晶圆生产过程1。
32.对于上述晶圆生产过程，在具体实施过程中可以采用mes对eap以及物料管理系统(mcs，material control system)进行整合和管理，从而提高生产效率。结合上述工艺设备eq，具体实施过程中所采用的示例性的管理系统架构如图2所示。可以理解地，作为各项生产信息收集整合的系统，除了图2中所示出的eap以及mcs，mes还可以对图2中未示出的生产制造过程中所需的其他方面进行整合管理，比如制造数据管理、计划排程管理、生产调度管理、质量管理、人力资源管理、工作中心/设备管理等等，本发明实施例对此不做赘述。
33.需要说明的是，对于上述工艺设备eq，在根据相应的工艺进行加工过程中，一方面需要将生产物料搬运至eq进行加工；另一方面，由于晶圆生产过程属于类“流水线”式的过程，即上游工艺设备的加工成品通常会是下游工艺设备的生产物料，因此需要将当前eq的加工成品进行储存以使得按照其下游eq的加工需要作为生产物料进行搬运或调度。
34.基于此，参见图3，其示出了能够实现本发明实施例技术方案的晶圆生产物料的调度系统30示例，该系统30可以包括：至少一个服务器31、多个具有多个货柜321的电子货架32、多个自动搬运设备33以及仓储设备34；其中，所述服务器通过第一通信链路35与每个电子货架32通信连接，所述服务器通过第二通信链路36与每个自动搬运设备33通信连接，所述服务器通过第三通信链路37与仓储设备34通信连接，所述电子货架32通过第四通信链路38与所述自动搬运设备33通信连接；每个货柜均对应一工艺设备，用于存放对应工艺设备加工所需的物料或者加工成品；此外，每个货柜均对应设置有可扫描标签，该标签中存储有对应货柜所装载的物料信息，所述物料信息可由电子货架内部的通信总线进行收集，并经由所述第一通信链路35向所述服务器31上报。
35.对于图3中所示的第一通信链路35、第二通信链路36、第三通信链路37以及第四通信链路38，可以用于实现连接对象之间数据或信息交互，在实施过程中，具体可以包括无线或有线通信网络。其中，无线通信网络可以包括但不限于全球移动通讯(global system of mobile communication，简称“gsm”)系统、码分多址(code division multiple access，简称“cdma”)系统、宽带码分多址(wideband code division multiple access，简称“wcdma”)系统、通用分组无线业务(general packet radio service，简称“gprs”)、通用移动通信系统(universal mobile telecommunication system，简称“umts”)、长期演进(long term evolution，简称“lte”)系统及lte系统的演进系统，例如先进的长期演进(advanced long term evolution，简称“lte-a”)系统、新无线(new radio，简称“nr”)系统及nr系统的演进系统，例如免授权频谱上的nr(nr-based access to unlicensed spectrum，简称“nr-u”)系统、或下一代通信系统等；在一些情况下，无线通信网络还可以支持增强宽带通信、超可靠(即关键任务)通信、低延迟通信以及与低成本和低复杂度设备的通信网络；在一些情况下，无线通信网络还能够支持诸如wifi等短距离无线传输技术。有线通信网络则可以包括利用同轴电缆、双绞线和光纤等实体煤质实现数据或信息交互的网络。
36.对于图3中所示的具有多个货柜321的电子货架32，以每个电子货架包括9个货柜为例进行方案阐述，参见图4，每个电子货架32除了具有9个货柜321以外，还包括用于接入第一通信链路35以实现与服务器31通信连接的网关322，此外，每个电子货架32可以通过控
制器局域网络(can，controller area network)总线(未示出)以实现电子货架32与货柜321之间的信息传输。
37.继续参见图4，每个货柜321均对应设置有可扫描标签3211，该标签具体可以是bcr标签或者rfid标签，在该标签中，存储有对应货柜所装载的物料信息，在一些示例中，所述物料信息包括货柜标识、货柜是否装载物料的指示信息、已装载的物料名称、剩余物料数量以及物料规格参数，在实施过程中，物料信息的数据格式如图5所示，其中，第一数据段用于保存货柜标识id，该标识能够识别到该货柜具体所在的电子货架以及在电子货架中的位置；第二数据段用于保存是否装载物料的指示信息，在本实施例中，“1”表示装载有物料，“0”表示没有装载物料，即为空；第三数据段用于保存当前装载的物料名称；第四数据段用于保存剩余物料数量；第五数据段用于保存当前装载物料的具体规格参数。
38.以图4所示的电子货架32为例，图中货柜内的黑圈表示货柜内装载有物料，白圈表示货柜为空，即货柜内没有装载物料。当货柜321中装载有物料时，图5中所示的四个数据段均有数据存储；当货柜321中没有装载物料为空时，图5所示的四个数据段中仅第一数据段和第二数据段有数据，第三和第四数据段为空；可以理解地，根据图5所示的数据格式示意，服务器31可以根据第二数据段所存储的具体数值或者第三、四、五数据段是否为空来判定货柜是否装载有物料。
39.对于图3所示出的系统30，每个货柜均对应一工艺设备，结合图1中所示的晶圆生产过程，也就是说每个工艺设备，均对应有多个货柜用于存放物料。对于货柜与工艺设备之间的具体对应方式，在一些示例中，每个工艺设备可以按照“电子货架”为单位进行货柜的对应，详细来说，对于某个工艺设备，其对应若干个电子货架用于存放物料，这些电子货架中的货柜均与该工艺设备相对应；在一些示例中，每个工艺设备也可以直接按照“货柜”为单位进行对应，详细来说，对于多个工艺设备，其对应的货柜会有极大的概率处于同一电子货架上；在上述两类对应关系中，值得指出的是，后一种由于需要对每个货柜与工艺设备的对应关系进行设置和存储，相较于前一种会造成较高的处理资源消耗，但是，后一种对应方式能够更加充分的利用电子货架中空闲的货柜，提高货柜的利用率。对于货柜对应工艺设备所存放的物料，在一些示例中，当前某个工艺设备所对应的货柜可以存放需进行加工的物料，该物料相应于上游工艺设备的加工成品；在一些示例中，当前某个工艺设备所对应的货柜可以用于存放加工成品，该加工成品相应于下游工艺设备需进行加工的物料。
40.对于图3所示出的系统30，在一些示例中，自动搬运设备33以及仓储设备34分别可以通过自动搬运车(agv，automated guided vehicle)以及仓储柜(stk，stocker)进行实现。
41.基于以上示例，由于电子货架的货柜与工艺设备相对应，工艺设备的加工过程涉及eap系统，而自动搬运设备33以及仓储设备34通常与mcs系统相关联，基于此，在一些示例中，图3中所示出的服务器31，其无需被实施为单独且具体的硬件设备，其功能可以基于mes的管理通过eap系统和mcs系统联合实现。可以理解地，当服务器31通过eap以及mcs联合实现时，图3所示的系统30的上级系统为mes。
42.基于以上阐述的晶圆生产物料的调度系统30，本发明实施例提供了一种能够应用于前述晶圆生产物料的调度系统30的晶圆生产物料的调度方法，参见图6，该方法可以包括：
43.s61：服务器接收上级系统的加工指令；其中，所述加工指令包括当前需要进行晶圆加工工艺的目标工艺设备以及需进行加工的物料规格参数；
44.s62：服务器根据电子货架中货柜与工艺设备之间的对应关系，确定所述目标工艺设备对应的候选货柜；
45.s63：服务器收集所述候选货柜所装载的物料规格参数；
46.s64：服务器根据所述需进行加工的物料规格参数从收集到的物料规格参数中选择目标货柜；
47.s65：服务器发出通知以将所述目标货柜中的物料搬送至所述目标工艺设备以进行相应的晶圆加工工艺。
48.对于图6所示的技术方案，在一些示例中，所述服务器发出通知以将所述目标货柜中的物料搬送至所述目标工艺设备以进行相应的晶圆加工工艺，包括：
49.所述服务器向所述自动搬运设备发送第一搬运指令；所述第一搬运指令包括所述目标货柜标识以及需搬运的物料数量；
50.所述自动搬运设备执行所述第一搬运指令以运动至所述目标货柜处，按照所述需搬运的物料数量从所述目标货柜中取出物料并搬运至所述目标工艺设备的上料处。
51.对于上述示例，所述自动搬运设备在执行所述第一搬运指令时，所述方法还包括：
52.所述自动搬运设备根据需搬运的物料数量更新所述目标货柜的剩余物料数量；
53.相应于所述剩余物料数量为零，所述目标货柜的标签中货柜是否装载物料的指示信息指示为无装载物料。
54.对于图6所示的技术方案及其示例，具体来说，以目标工艺设备是线切割机为例，在mes下发的加工指示中，需要进行加工的物料为符合特定规格参数的单晶硅棒，该物料即可以作为线切割机的加工物料放置于与线切割机对应的货柜中，也可以作为拉晶炉的加工成品放置于与拉晶炉对应的用于装载加工成品的货柜中，可以理解地，基于晶圆加工工艺的“流水线”特性，拉晶炉对应的用于装载加工成品的货柜也就是线切割机对应的用于装载加工物料的货柜。服务器基于该加工指示，根据货柜与工艺设备之间的对应关系确定存放单晶硅棒的货柜，并且利用第一通信链路收集所有货柜的标签存储的物料信息；接着，服务器根据加工指令所指示的规格参数，从收集到的物料信息中筛选出符合该规格参数的候选货柜，并且可以按照货柜中的物料剩余量，从候选货柜中选取与需进行加工的物料数量最匹配的目标货柜；然后，服务器向自动搬运设备发送第一搬运指令以将目标货柜中的物料(单晶硅棒)搬送至线切割机的上料处，以进行线切割加工，而自动搬运设备在执行第一搬运指令过程中，会根据此次搬运的物料数量对目标货柜的标签中所保存的剩余物料数量进行更新，直至剩余物料数量为0时，标签中物料信息的第二数据段相应修改为0，此时表示该目标货柜为空。
55.根据上述图6所示的技术方案及其示例和具体实施过程，根据电子货架中的货柜与晶圆加工的工艺设备之间的对应关系，使得在工艺设备需要上料时，服务器通过指示自动搬运设备将所需的物料从货柜中取出并搬运至上料处以进行相应的晶圆加工，降低人工参与度，提高生产物料的搬运及调度效率，降低生产设备的等待时间以及错误发生概率。
56.需要说明的是，随着晶圆生产过程的进行，当电子货架的货柜中的物料已全部搬运完，即出现空货柜的时候，需要从仓储设备34中进行物料补充，基于此，在一些可能的实
现方式中，参见图7所示，所述方法还包括：
57.s71：服务器接收电子货架上报空货柜标识；
58.s72：服务器根据空货柜标识确定空货柜对应的工艺设备所需的加工物料；
59.s73：服务器向自动搬运设备发送第二搬运指令；
60.s74：自动搬运设备执行所述第二搬运指令，从所述仓储设备中取出空货柜对应的工艺设备所需的加工物料，并搬运至所述空货柜处进行物料补充。
61.对于上述实现方式，在一些示例中，所述自动搬运设备从所述仓储设备中取出空货柜对应的工艺设备所需的加工物料时，所述方法还包括：
62.所述自动搬运设备保存从所述仓储设备34取出的物料数量以及物料规格参数。
63.相应地，在一些示例中，所述自动搬运设备将空货柜对应的工艺设备所需的加工物料搬运至所述空货柜处进行物料补充之后，所述方法还包括：
64.所述自动搬运设备根据补充的物料数量以及物料规格参数更新所述空货柜的标签中的物料信息。
65.对于上述实现方式及其示例，具体来说，以工艺设备是拉晶炉为例，其对应的货柜装载的物料为多晶硅原料。当拉晶炉对应的货柜为空货柜时，电子货架根据can总线采集到空货柜标识，并通过第一通信链路35向服务器发送物料补充请求，空货柜标识可以承载于所述物料补充请求中。服务器根据该物料补充请求，通过第二通信链路36向自动搬运设备发送第二搬运指令，以指示自动搬运设备从仓储设备34中取出空货柜对应的工艺设备所需的加工物料，即需要补充的物料；优选地，服务器可以周期性地或者触发式地通过第三通信链路37收集仓储设备34中所储存的物料信息，从而为生成第二搬运指令提供数据基础。自动搬运设备执行第二搬运指令，从仓储设备34将需要补充的物料取出，并保存取出的物料数量以及物料规格参数；自动搬运设备将需要补充的物料运送至空货柜处进行物料补充时，可以根据取出时所保存的物料数量以及物料规格参数更新空货柜的标签中所存储的物料信息。
66.在一些示例中，仓储设备34中的stk也可以按照前述技术方案中的电子货架进行实施，在实施过程中，相较于电子货架的货柜，可以无需与工艺设备进行对应或关联，仅需要对货柜内的物料信息通过标签进行保存，从而便于服务器收集仓储设备34中所储存的物料信息，也便于自动搬运设备进行搬运。
67.可以理解地，除了对空货柜进行物料补充以外，当工艺设备对应的货柜物料存放数量超出货柜所能装载的数量上限时，即货柜已满时，需要将多余的物料搬运至下游工艺设备或者仓储设备34。在一些可能的实现方式中，参见图8，所述方法还包括：
68.s81：当工艺设备对应的所有货柜所装载的物料数量达到设定的数量上限时，服务器接收搬移请求；其中，所述搬移请求包括所述工艺设备对应的所有货柜标识；
69.s82：服务器根据所述搬移请求，按照设定的选取策略从所有货柜标识中选取需搬移物料的货柜标识；
70.s83：服务器向自动搬运设备发送第三搬运指令；
71.s84：自动搬运设备执行所述第三搬运指令，从需搬移物料的货柜中取出物料；
72.s85：自动搬运设备将取出的物料搬运至所述仓储设备中进行储存，或搬运至下游工艺设备的上料处。
73.对于上述实现方式，在一些示例中，所述自动搬运设备从需搬移物料的货柜中取出物料时，所述方法还包括：
74.所述自动搬运设备根据从所述需搬移物料的货柜中取出的物料数量以及物料规格参数更新所述需搬移物料的货柜的标签中的物料信息。
75.对于上述实现方式及其示例，具体来说，以工艺设备为抛光机为例，其对应的货柜中所装载的物料为研磨后的硅片。当抛光机对应的货柜所装载的研磨后的硅片数量超出货柜所能装载的硅片最大数量时，即货柜为满状态时，货柜所在的电子货架第一通信链路35向服务器发送搬移请求，用于请求从装载研磨后的硅片的货柜中将物料移出。在一些示例中，服务器根据这些移出物料的期望去处向自动搬运设备发送第三搬运指令，举例来说，当需要将移出物料进行加工时，可以按照存放时间的远近通过第三搬运指令将最先放置于货柜中的物料取出，并搬运至下游工艺设备(抛光机)的上料处进行加工；当需要将移出的物料进行储存时，可以按照货柜与仓储设备34之间的距离通过第三搬运指令将距仓储设备34最近的货柜中的物料取出，并搬运至仓储设备34进行储存。无论第三搬运指令所指示的移出物料搬运的目的地是哪，自动搬运设备在取出物料时，根据其所取出的物料数量以及物料规格参数更新所述需搬移物料的货柜的标签中的物料信息。
76.对于上述晶圆生产物料的调度方法，其具体方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)或processor(处理器)执行本实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(rom，read only memory)、随机存取存储器(ram，random access memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
77.因此，本实施例提供了一种计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有晶圆生产物料的调度程序，所述晶圆生产物料的调度程序被至少一个处理器执行时实现上述技术方案中所述晶圆生产物料的调度方法步骤。
78.可以理解地，前述晶圆生产物料的调度系统30的示例性技术方案，与前述晶圆生产物料的调度方法的技术方案属于同一构思，因此，上述对于晶圆生产物料的调度系统30的技术方案未详细描述的细节内容，均可以参见上述晶圆生产物料的调度方法的技术方案的描述。本发明实施例对此不做赘述。
79.需要说明的是：本发明实施例所记载的技术方案之间，在不冲突的情况下，可以任意组合。
80.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

技术特征：

1.一种晶圆生产物料的调度系统，其特征在于，所述系统包括：至少一个服务器、多个具有多个货柜的电子货架、多个自动搬运设备以及仓储设备；其中，每个货柜均对应一工艺设备，用于存放对应工艺设备加工所需的物料或者加工成品；每个货柜均对应设置有可扫描标签，所述标签中存储有对应货柜所装载的物料信息，所述物料信息包括货柜标识、货柜是否装载物料的指示信息、已装载的物料名称、剩余物料数量以及物料规格参数；所述服务器，经配置为接收上级系统的加工指令；其中，所述加工指令包括当前需要进行晶圆加工工艺的目标工艺设备以及需进行加工的物料规格参数；以及，根据电子货架中货柜与工艺设备之间的对应关系，确定所述目标工艺设备对应的候选货柜；以及，收集所述候选货柜所装载的物料规格参数；以及，根据所述需进行加工的物料规格参数从收集到的物料规格参数中选择目标货柜；以及，发出通知以将所述目标货柜中的物料搬送至所述目标工艺设备以进行相应的晶圆加工工艺。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述服务器，经配置为向所述自动搬运设备发送第一搬运指令；所述第一搬运指令包括所述目标货柜标识以及需搬运的物料数量；所述自动搬运设备，经配置为执行所述第一搬运指令以运动至所述目标货柜处，按照所述需搬运的物料数量从所述目标货柜中取出物料并搬运至所述目标工艺设备的上料处；以及，在执行所述第一搬运指令时，根据需搬运的物料数量更新所述目标货柜的剩余物料数量。3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述服务器，还经配置为接收电子货架上报空货柜标识；以及，根据空货柜标识确定空货柜对应的工艺设备所需的加工物料；以及，向自动搬运设备发送第二搬运指令；所述自动搬运设备，还经配置为执行所述第二搬运指令，从所述仓储设备中取出空货柜对应的工艺设备所需的加工物料，并搬运至所述空货柜处进行物料补充。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述自动搬运设备，还经配置为保存从所述仓储设备取出的物料数量以及物料规格参数；以及，根据补充的物料数量以及物料规格参数更新所述空货柜的标签中的物料信息。5.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述服务器，还经配置为当工艺设备对应的所有货柜所装载的物料数量达到设定的数量上限时，接收搬移请求；其中，所述搬移请求包括所述工艺设备对应的所有货柜标识；以及，根据所述搬移请求，按照设定的选取策略从所有货柜标识中选取需搬移物料的货柜标识；以及，向自动搬运设备发送第三搬运指令；所述自动搬运设备，还经配置为执行所述第三搬运指令，从需搬移物料的货柜中取出物料；
以及，将取出的物料搬运至所述仓储设备中进行储存，或搬运至下游工艺设备的上料处。6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述自动搬运设备，还经配置为根据从所述需搬移物料的货柜中取出的物料数量以及物料规格参数更新所述需搬移物料的货柜的标签中的物料信息。7.一种晶圆生产物料的调度方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1至6任一项所述的晶圆生产物料的调度系统，所述方法包括：服务器接收上级系统的加工指令；其中，所述加工指令包括当前需要进行晶圆加工工艺的目标工艺设备以及需进行加工的物料规格参数；服务器根据电子货架中货柜与工艺设备之间的对应关系，确定所述目标工艺设备对应的候选货柜；服务器收集所述候选货柜所装载的物料规格参数；服务器根据所述需进行加工的物料规格参数从收集到的物料规格参数中选择目标货柜；服务器发出通知以将所述目标货柜中的物料搬送至所述目标工艺设备以进行相应的晶圆加工工艺。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：所述服务器接收电子货架上报空货柜标识；所述服务器根据空货柜标识确定空货柜对应的工艺设备所需的加工物料；所述服务器向自动搬运设备发送第二搬运指令；所述自动搬运设备执行所述第二搬运指令，从所述仓储设备中取出空货柜对应的工艺设备所需的加工物料，并搬运至所述空货柜处进行物料补充。9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当工艺设备对应的所有货柜所装载的物料数量达到设定的数量上限时，所述服务器接收搬移请求；其中，所述搬移请求包括所述工艺设备对应的所有货柜标识；所述服务器根据所述搬移请求，按照设定的选取策略从所有货柜标识中选取需搬移物料的货柜标识；所述服务器向所述自动搬运设备发送第三搬运指令；所述自动搬运设备执行所述第三搬运指令，从需搬移物料的货柜中取出物料；所述自动搬运设备将取出的物料搬运至所述仓储设备中进行储存，或搬运至下游工艺设备的上料处。10.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质存储有晶圆生产物料的调度程序，所述晶圆生产物料的调度程序被至少一个处理器执行时实现权利要求7至9任一项所述晶圆生产物料的调度方法步骤。

技术总结

本发明实施例公开了一种晶圆生产物料的调度方法、系统及介质；该系统包括：至少一个服务器、多个具有多个货柜的电子货架、多个自动搬运设备以及仓储设备；其中，每个货柜均对应一工艺设备，用于存放对应工艺设备加工所需的物料或者加工成品；每个货柜均对应设置有可扫描标签，所述标签中存储有对应货柜所装载的物料信息，所述物料信息包括货柜标识、货柜是否装载物料的指示信息、已装载的物料名称、剩余物料数量以及物料规格参数。物料数量以及物料规格参数。物料数量以及物料规格参数。