一种阴极遮板装置及电镀设备的制作方法



1.本实用新型涉及电镀设备技术领域,尤其涉及一种阴极遮板装置及电镀设备。


背景技术:



2.通常电镀设备中均设置有阴极遮板装置,用于改善预电镀板料的电镀效果。阴极遮板装置与预电镀板料之间的距离是保证电镀效果的重要指标。两者之间的距离过小时,会导致所电镀的膜层的厚度降低;当两者的距离过大时,则会导致所电镀的膜层的厚度增加。
3.现有技术中的阴极遮板装置会导致所电镀的膜层产生严重的边缘效应,即板料边缘处的膜层厚度较厚,中间膜层厚度较薄,降低板料膜层的均匀性,影响电镀质量,增加成本。
4.因此,亟需设计一种阴极遮板装置及电镀设备,来解决以上技术问题。


技术实现要素:



5.本实用新型的第一目的在于提出一种阴极遮板装置,该阴极遮板装置结构简单,能够提高电镀膜层的均匀性,提高电镀质量。
6.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
7.本实用新型提供一种阴极遮板装置,包括:
8.壳体,所述壳体内设置有电镀缸,所述壳体上开设有供板料进出的槽口;
9.第一遮板和第二遮板,所述第一遮板和所述第二遮板均设置在所述电镀缸内,且沿所述电镀缸的高度方向,所述第一遮板与所述第二遮板正对设置,所述第一遮板和所述第二遮板之间限定出供所述板料流通的容置空间,所述容置空间连通于所述槽口;
10.所述第一遮板或所述第二遮板中的一者上开设有通孔,所述第二遮板或所述第一遮板中的一者上设置有弯折部,所述弯折部朝向所述板料方向弯折。
11.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述第一遮板上开设有通孔,所述第二遮板包括竖直部和弯折部。
12.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述竖直部和所述弯折部一体成型。
13.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述弯折部和所述竖直部呈直角设置。
14.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述阴极遮板装置包括第一调节装置,所述第一调节装置与所述第一遮板连接,所述第一调节装置被配置为调节所述第一遮板的高度。
15.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述第一调节装置包括第一调节杆,所述第一遮板上设置有第一连接部,所述第一调节杆与所述第一连接部连接。
16.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述阴极遮板装置包括第二调节装置,所述第二调节装置与所述第二遮板连接,所述第二调节装置被配置为调节所述第二遮板的高度。
17.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述第二调节装置包括第二调节杆,所述第二遮板上设置有第二连接部,所述第二调节杆与所述第二连接部连接。
18.作为一种阴极遮板装置的可选技术方案,所述第一遮板和所述第二遮板均设置为两个,且两个所述第一遮板正对设置,两个所述第二遮板正对设置。
19.本实用新型的第二目的在于提出一种电镀设备,该电镀设备能够提高电镀膜层膜厚的均匀性,消除板料的边缘效应,提高电镀质量。
20.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
21.本实用新型提供一种电镀设备,所述电镀设备包括以上所述的阴极遮板装置。
22.本实用新型的有益效果至少包括:
23.本实用新型提供一种阴极遮板装置,该阴极遮板装置主要包括壳体,第一遮板和第二遮板。其中,壳体内设置有电镀缸,壳体上开设有供板料进出的槽口。第一遮板和第二遮板均设置在电镀缸内,且沿电镀缸的高度方向,第一遮板与第二遮板正对设置,第一遮板和第二遮板之间限定出供板料流通的容置空间,容置空间连通于槽口。第一遮板或第二遮板中的一者上开设有通孔,第二遮板或第一遮板中的一者上设置有弯折部,弯折部朝向板料方向弯折。通过第一遮板和第二遮板的设置能够消除板料的边缘效应,提高电镀膜层膜厚的均匀性,进而改善电镀质量,达到节约成本的目的。
24.本实用新型还提供一种电镀设备,该电镀设备包括以上阴极遮板装置。该电镀设备能够提高电镀膜层膜厚的均匀性,消除板料的边缘效应,提高电镀质量,节约成本。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
26.图1为本实用新型实施例提供的阴极遮板装置的结构示意图;
27.图2为本实用新型实施例提供的阴极遮板装置的侧视图;
28.图3为图2中a处的局部放大图;
29.图4为图2中b-b处的剖视图。
30.附图标记
31.100、壳体;110、槽口;200、第一遮板;210、通孔;300、第二遮板;310、弯折部;320、竖直部;400、第一调节装置;410、第一调节杆;500、第二调节装置;510、第二调节杆。
具体实施方式
32.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
33.在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理
解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.在本实施例的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化操作,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分,并没有特殊的含义。
36.如图1-图4所示,本实施例提供一种阴极遮板装置,该阴极遮板装置主要包括壳体100,第一遮板200和第二遮板300。其中,壳体100内设置有电镀缸,壳体100上开设有供板料(图中未示出)进出的槽口110。第一遮板200和第二遮板300均设置在电镀缸内,且沿电镀缸的高度方向,第一遮板200与第二遮板300正对设置,第一遮板200和第二遮板300之间限定出供板料流通的容置空间,容置空间连通于槽口110。第一遮板200或第二遮板300中的一者上开设有通孔210,第二遮板300或第一遮板200中的一者上设置有弯折部310,弯折部310朝向板料方向弯折。
37.基于以上设计,本实施例中的板料可以为陶瓷板,也可以为pcb板,或者其他板料,本实施例对此不作具体的限定。壳体100上设置有两个槽口110,电镀缸内盛放有电解药水溶液,板料在夹具(图中未示出)的带动下,从其中一个槽口110进入容置空间,并浸没在电镀缸的电解药水溶液中,进行电镀工艺。夹具在电机的带动下朝向另一个槽口110的方向进行运动,进而使得板料能够从一个槽口110进入电镀缸中进行电镀工艺,并从另一个槽口110中运动出去。示例性地,本实施例中的电镀膜层可以为铜膜。
38.在本实施例中,第一遮板200和第二遮板300均设置为两个,且两个第一遮板200正对设置,两个第二遮板300正对设置。本实施例中的板料在第一遮板200和第二遮板300之间进行运动,且板料通常为矩形或者正方形形状,这样板料的上边缘处于两个第一遮板200之间,板料的下边缘处于两个第二遮板300之间,进而使得第一遮板200和第二遮板300能够遮挡部分电力线,避免增加板料的上边缘和下边缘的电镀膜层的厚度,提高板料的膜厚的均匀性。作业人员能够通过调节两个第一遮板200和两个第二遮板300之间的间隙,进而靠近或远离板料实现对板料膜厚的调节。需要指出的是,由于在实际生产过程中,板料是连续的,因此板料的左边缘和右边缘无需设置阴极遮板,且板料的左边缘和右边缘也不会产生边缘效应。
39.如图4所示,本实施例以第一遮板200上开设有通孔210,第二遮板300包括竖直部320和弯折部310为例进行说明。竖直部320和弯折部310一体成型,进而提高加工效率,提升第二遮板300的强度和使用寿命。具体地,本实施例中的弯折部310与竖直部320呈直角设置,这样使得在电镀的过程中,能够减少绕过弯折部310的电力线,进而可以有效避免板料的下边缘膜厚增加的现象,也就是说,通过弯折部310的设置,能够降低板料下边缘的膜厚,消除板料的下边缘效应,提高电镀膜厚的均匀性。
40.进一步地,本实施例中在第一遮板200上设置通孔210,这样有利于电力线的穿过,进而提高电镀效率。通孔210的设置有利于第一遮板200的调整,进而提高第一遮板200对上边缘膜厚调节的流畅性和有效性。也就是说,通过通孔210的开设使得更多的电力线能够穿过通孔210,这样在改变一定的电镀膜层厚度时,需要对第一遮板200进行更大距离的调节,进而有利于作业人员对第一遮板200进行调节,降低调节难度。需要强调的是,以上对第一遮板200的调节属于微调,例如调节5mm-20mm等数值。相比于没有通孔210的情况,本实施例中通过在第一遮板200设置通孔210,降低对第一遮板200调节所需要的精确度,提高操作效率和膜厚的均匀性。
41.如图4所示,在本实施例中,阴极遮板装置包括第一调节装置400,第一调节装置400与第一遮板200连接,第一调节装置400被配置为调节第一遮板200的高度。第一调节装置400包括第一调节杆410,第一遮板200上设置有第一连接部,第一调节杆410与第一连接部连接。
42.进一步地,阴极遮板装置包括第二调节装置500,第二调节装置500与第二遮板300连接,第二调节装置500被配置为调节第二遮板300的高度。第二调节装置500包括第二调节杆510,第二遮板300上设置有第二连接部,第二调节杆510与第二连接部连接。第一调节装置400和第二调节装置500均可以设置为驱动电机,第一调节杆410和第二调节杆510均可以设置为螺杆。第一调节装置400和第二调节装置500独立工作,进而使得作业人员能够分别单独控制第一遮板200或第二遮板300进行调节其高度,以使该阴极遮板装置能够调节控制板料的膜厚,提高板料膜厚的均匀性,消除边缘效应,同时也能够使得该阴极遮板装置可适用于其他不同尺寸的板料,提高普适性。
43.本实施例还提供一种电镀设备,该电镀设备包括以上阴极遮板装置。该电镀设备能够提高电镀膜层膜厚的均匀性,消除板料的边缘效应,提高电镀质量,节约成本。
44.显然,上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本实用新型不限于这里的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明,但是本实用新型不仅仅限于以上实施例,在不脱离本实用新型构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。
45.注意,在本说明书的描述中,参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指接合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式接合。

技术特征:


1.一种阴极遮板装置,其特征在于,包括:壳体(100),所述壳体(100)内设置有电镀缸,所述壳体(100)上开设有供板料进出的槽口(110);第一遮板(200)和第二遮板(300),所述第一遮板(200)和所述第二遮板(300)均设置在所述电镀缸内,且沿所述电镀缸的高度方向,所述第一遮板(200)与所述第二遮板(300)正对设置,所述第一遮板(200)和所述第二遮板(300)之间限定出供所述板料流通的容置空间,所述容置空间连通于所述槽口(110);所述第一遮板(200)或所述第二遮板(300)中的一者上开设有通孔(210),所述第二遮板(300)或所述第一遮板(200)中的一者上设置有弯折部(310),所述弯折部(310)朝向所述板料方向弯折。2.根据权利要求1所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述第一遮板(200)上开设有通孔(210),所述第二遮板(300)包括竖直部(320)和弯折部(310)。3.根据权利要求2所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述竖直部(320)和所述弯折部(310)一体成型。4.根据权利要求2所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述弯折部(310)和所述竖直部(320)呈直角设置。5.根据权利要求1所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述阴极遮板装置包括第一调节装置(400),所述第一调节装置(400)与所述第一遮板(200)连接,所述第一调节装置(400)被配置为调节所述第一遮板(200)的高度。6.根据权利要求5所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述第一调节装置(400)包括第一调节杆(410),所述第一遮板(200)上设置有第一连接部,所述第一调节杆(410)与所述第一连接部连接。7.根据权利要求1所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述阴极遮板装置包括第二调节装置(500),所述第二调节装置(500)与所述第二遮板(300)连接,所述第二调节装置(500)被配置为调节所述第二遮板(300)的高度。8.根据权利要求7所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述第二调节装置(500)包括第二调节杆(510),所述第二遮板(300)上设置有第二连接部,所述第二调节杆(510)与所述第二连接部连接。9.根据权利要求1-8中任一项所述的阴极遮板装置,其特征在于,所述第一遮板(200)和所述第二遮板(300)均设置为两个,且两个所述第一遮板(200)正对设置,两个所述第二遮板(300)正对设置。10.一种电镀设备,其特征在于,所述电镀设备包括权利要求1-9中任一项所述的阴极遮板装置。

技术总结


本实用新型涉及电镀设备技术领域,尤其涉及一种阴极遮板装置及电镀设备。该阴极遮板装置主要包括壳体,第一遮板和第二遮板。其中,壳体内设置有电镀缸,壳体上开设有供板料进出的槽口。第一遮板和第二遮板均设置在电镀缸内,且沿电镀缸的高度方向,第一遮板与第二遮板正对设置,第一遮板和第二遮板之间限定出供板料流通的容置空间,容置空间连通于槽口。第一遮板或第二遮板中的一者上开设有通孔,第二遮板或第一遮板中的一者上设置有弯折部,弯折部朝向板料方向弯折。该阴极遮板装置能够提高电镀膜层膜厚的均匀性,进而改善电镀质量,达到节约成本的目的。约成本的目的。约成本的目的。


技术研发人员:

袁晓波 殷玲飞

受保护的技术使用者:

昆山东威科技股份有限公司

技术研发日:

2022.11.30

技术公布日:

2023/3/28

本文发布于:2024-09-22 15:27:24,感谢您对本站的认可!

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