一种气体输送装置的制作方法

1.本发明涉及气体输送装置相关技术领域，尤其是指一种气体输送装置。

背景技术：

2.随着半导体制程的日趋复杂，半导体厂所使用的制程气体种类越来越多。半导体制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响。此外气体供应的安全性则攸关操作人员的健康与工厂运作的安全。一般的大宗气体n2、o2、ar常用的供应方式是以固定式的大型桶槽为主，将桶槽安置于厂区附近，架构独立的供应区，以槽车定期进行填灌，高压得液氮气体经蒸发器蒸发为氮态后，供应现场使用。至于特殊气体（specialty gases），如sih4、ash3、ph3... 等，目前来说几乎皆是以钢瓶的方式来供应。一般常用的为高压钢瓶，但依钢瓶中填充的气体特性又可分为气态与液态钢瓶。针对特殊气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜（gas cabinet）内，再透过管件将气体供应至现场附近的阀箱（vmb、valve manifold box），而后再进入制程机台的使用点（pou、point of use）。气体在进入机台箱体之前，利用独立的气体控制盘（gb、gas box）与制程控制模组连线，并以质流控制器（mfc，mass flow controller）进行流量之控制与进气的混合比例控制。
3.中国专利申请号为cn201310013461.8，授权公告日为2016年04月06日，公开了一种用于等离子体处理腔室的气体输送装置，所述气体输送装置包括：至少一气体源，其提供制程气体并输送至气体分流装置；气体分流装置，其串联于所述气体源，将制程气体分别按照比例分离成至少两路输送至至少两路气体通道；压力计，其并联于所述两路气路通道的其中之一；其中，在每路气体通道上串联一流量限制器，所述流量限制器位于所述腔室的上游，所述气体通道连接于所述腔室的气体喷淋头。
4.上述专利是现有技术中气体的输送装置，目前y型气体钢瓶以普遍应用在大用量特殊气体的供应系统中（例如sih4、nh3、nf3...），然而y型气体钢瓶体积庞大（350l~440l），且重量接近1000公斤，因此无法将钢瓶与气体盘面同时置于气瓶柜中，目前的做法是在原有基础上在钢瓶接头处包覆一阀箱，以预防气体泄漏。图1是已知的一种气体输送装置中之阀箱装置示意图，阀箱100连接于钢瓶（未绘示）以及使用端（未绘示）之间。阀箱100下设置有支撑架110，用来支撑阀箱100。管件120、122、124、126、128连通至阀箱100内。管件124负责将经由阀箱100的制程气体传送到使用端。且管件124位于阀箱100中具有可挠性的接头部124a。此接头部124a与钢瓶的接头连接。固定架130则用来固定管件120、122、124、126、128。因为厂商所提供之钢瓶的尺寸不同，所以将钢瓶安装至阀箱100的高度也有所差异。然而，由于支撑架110的高度固定，使得阀箱100的位置是固定的，因此在安装钢瓶时将造成极大的不便。而阀箱100为了配合钢瓶高度，必须对于阀箱100中的管件124的可挠性的接头部124a作调整。但因阀箱100大小有限，故管件124位于阀箱100中的可挠性的接头部的接头部124a弹性较小，一旦可挠性的接头部124a没有妥善的安装在钢瓶的接头，就容易有气体外泄的情况发生。

技术实现要素：

5.本发明是为了克服现有技术中阀箱对于不同原物料商提供的钢瓶尺寸不同及个别钢瓶的尺寸不同难以一体适用的不足，提供了一种能提高适用性的气体输送装置。
6.为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种气体输送装置，用于配送制程气体至使用端，它包括阀箱本体、升降台、固定架和存放制程气体的钢瓶，所述阀箱本体位于升降台上且与升降台可拆卸连接，所述固定架上设有若干根管件，所述管件的一端与固定架可拆卸连接，所述管件的另一端与阀箱本体连接，所述管件上设有缓冲部，所述阀箱本体的侧面设有与钢瓶相匹配的入口，所述入口处设有阀箱门，所述阀箱门与入动连接，所述钢瓶上设有接头，所述接头贯穿入口位于阀箱本体内且与相应的管件可拆卸连接。
7.包括阀箱本体、升降台、固定架和存放制程气体的钢瓶，所述阀箱本体位于升降台上且与升降台可拆卸连接，所述固定架上设有若干根管件，所述管件的一端与固定架可拆卸连接，所述管件的另一端与阀箱本体连接，所述管件上设有缓冲部，所述阀箱本体的侧面设有与钢瓶相匹配的入口，所述入口处设有阀箱门，所述阀箱门与入动连接，所述钢瓶上设有接头，所述接头贯穿入口位于阀箱本体内且与相应的管件可拆卸连接。阀箱本体连接于钢瓶以及使用端（未绘示）之间，通过相应的管件将钢瓶所供应的制程气体传送到使用端；升降台可以是千斤顶，也可以是任何具有升降阀箱本体功能的装置，升降台可使得阀箱本体上升或下降，用来调整阀箱本体的高度位置；管件上的缓冲部主要用于配合阀箱本体的升降高度而做成伸缩或弯曲的动作；故根据不同型号的钢瓶与管件之间的距离，升降台带动阀箱本体上升或下降，可调整钢瓶与管件的相对位置，便于钢瓶能与管件进行连接，达到了能提高适用性的目的。
8.作为优选，所述管件包括管件一、管件二和若干根管件三，所述管件一的一端与固定架可拆卸连接，所述管件一的另一端贯穿阀箱本体的顶部与钢瓶上的接头可拆卸连接，所述钢瓶内的制程气体通过管件一传送至使用端。钢瓶为y型气体钢瓶；阀箱门用于打开或关闭阀箱本体；入口使得钢瓶上的接头以及部分钢瓶可进入到阀箱本体内，以便于钢瓶通过接头与管件一连接，实现制程气体的输送。
9.作为优选，所述固定架位于阀箱本体的顶部上方，所述阀箱本体的顶部设有排气口，所述管件二的一端与固定架可拆卸连接，所述管件二的另一端与排气口可拆卸连接。管件二构成了阀箱本体的排气通道，用以排放阀箱本体内的废气。
10.作为优选，所述阀箱本体内设有管道系统，所述管件三的一端与固定架可拆卸连接，所述管件三的另一端贯穿阀箱本体的顶部与阀箱本体内的管道系统相连通。阀箱本体内设置有由阀与管路构成的管道系统（未绘示）以控制配送至使用端制程气体的量，使用端例如是蚀刻机台或是沉积机台等制程机台；管件三主要用于供应气体如空气、氦气、氮气等至阀箱本体内的管道系统（未绘示），管道系统（未绘示）以控制配送至使用端的制程气体的流量和混合比例等。
11.作为优选，所述管件二的缓冲部由可伸缩、弯曲的可挠性管构成。便以使得管件二配合阀箱本体的高度做相应的伸缩、弯曲，利于钢瓶与管件一的连接；同时也降低原本阀箱本体内的管件因弹性不足而造成制程气体外泄的机会。
12.作为优选，所述管件二的缓冲部由蝮蛇管构成。更进一步地，蝮蛇管作为可挠性
管，可以实现管件二配合阀箱本体的高度做出相应的伸缩、弯曲动作，利于钢瓶与管件一的连接；同时也降低原本阀箱本体内的管件因弹性不足而造成制程气体外泄的机会。
13.作为优选，所述管件二的内径大于管件一和管件三的内径。便于阀箱本体内的废气能够得到快速的排除。
14.作为优选，所述管件一和管件三的缓冲部均由弯曲、缠绕成弹簧状的可挠性管构成。便于管件一和管件三能够上下伸缩，利于钢瓶与管件一的连接；同时也降低原本阀箱本体内的管件因弹性不足而造成制程气体外泄的机会。
15.作为优选，所述管件一、管件二和管件三均由不锈钢制成。不锈钢具有良好的耐腐蚀性，防止气体对其产生腐蚀，利于延长管件一、管件二和管件三的使用寿命。
16.作为优选，所述钢瓶上设有若干个均匀分布的底架，所述底架与钢瓶固定连接。底架对钢瓶起到良好的支撑效果。
17.本发明的有益效果是：根据不同型号的钢瓶与管件之间的距离，升降台带动阀箱本体上升或下降，可调整钢瓶与管件的相对位置，便于钢瓶能与管件进行连接，达到了能提高适用性的目的；降低原本阀箱本体内的管件因弹性不足而造成制程气体外泄的机会；利于延长管件一、管件二和管件三的使用寿命；底架对钢瓶起到良好的支撑效果。
附图说明
18.图1是已知的一种气体输送装置中的阀箱装置示意图；图2是依照本发明较佳实例之气体输送装置的示意图；图3是依照本发明较佳实例之安装有钢瓶之气体输送装置的示意图。
19.图中：100. 阀箱，110. 支撑架，120、122、124、126、128. 管件，130. 固定架，124a. 接头部，200. 阀箱本体，210. 升降台，230. 固定架， 220a、222a、224a、226a、228a. 缓冲部，250. 钢瓶，200b. 入口，200a. 阀箱门，254. 接头，224. 管件一，220. 管件二，222、226、228. 管件三，200c. 排气口，252. 底架。
具体实施方式
20.下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的描述。
21.如图2和图3所述的实施例中，一种气体输送装置，它包括阀箱本体200、升降台210、固定架230和存放制程气体的钢瓶250，阀箱本体200位于升降台210上且与升降台210可拆卸连接，固定架230上设有若干根管件，管件的一端与固定架230可拆卸连接，管件的另一端与阀箱本体200连接，管件上设有缓冲部220a、222a、224a、226a、228a，阀箱本体200的侧面设有与钢瓶250相匹配的入口200b，入口200b处设有阀箱门200a，阀箱门200a与入口200b活动连接，钢瓶250上设有接头254，接头254贯穿入口200b位于阀箱本体200内且与相应的管件可拆卸连接。
22.如图3所示，管件包括管件一224、管件二220和若干根管件三222、226、228，管件一224的一端与固定架230可拆卸连接，管件一224的另一端贯穿阀箱本体200的顶部与钢瓶250上的接头254可拆卸连接，钢瓶250内的制程气体通过管件一224传送至使用端。
23.固定架230位于阀箱本体200的顶部上方，阀箱本体200的顶部设有排气口200c，管件二220的一端与固定架230可拆卸连接，管件二220的另一端与排气口200c可拆卸连接。
24.阀箱本体200内设有管道系统，管件三222、226、228的一端与固定架230可拆卸连接，管件三222、226、228的另一端贯穿阀箱本体200的顶部与阀箱本体200内的管道系统相连通。
25.管件二220的缓冲部220a由可伸缩、弯曲的可挠性管构成。
26.管件二220的缓冲部220a由蝮蛇管构成。
27.管件二220的内径大于管件一224和管件三222、226、228的内径。
28.管件一224和管件三222、226、228的缓冲部224a、222a、226a、228a均由弯曲、缠绕成弹簧状的可挠性管构成。
29.管件一224、管件二220和管件三222、226、228均由不锈钢制成。
30.钢瓶250上设有若干个均匀分布的底架252，底架252与钢瓶250固定连接。
31.当要更换钢瓶250时，将阀箱本体200的阀箱门200a打开，并将管件一224从钢瓶250的接头254取下移除此旧的钢瓶250。由于新的钢瓶250可能会因制造厂商不同、钢瓶250本身尺寸不同及底架252尺寸不同而造成钢瓶250的接头254与地面的距离不同。因此将新的钢瓶250接头254移入阀箱本体200内时，新的钢瓶250的接头254与管件一224可能相距一段距离，而无法接在一起。此时，借由升降台210使阀箱本体200上升或下降，可调整钢瓶250的接口254与管件224的相对位置，缩短钢瓶250的接口254与管件224距离，而可以使钢瓶250的接口254与管件一224良好的接在一起。而且，当升降台210上升或下降时，由于管件二220、管件三222、226、228分别具有缓冲部220a、222a、226a、228a，此缓冲部220a、222a、226a、228a如弹簧一样可以承受向上或向下的作用力，而使管件二220、管件三222、226、228不会因升降台210上升或下降而断裂。因此，本发明中的气体输送装置可以解决阀箱本体200对于不同原物料商提供的钢瓶250的尺寸不同及个别钢瓶250的尺寸不同难以一体适用的问题。
32.综上所述，本发明中的气体输送装置，利用升降台210以调整阀箱本体200的高度，因此，即使钢瓶250本身的高度尺寸有所差异，阀箱本体200亦可相对应的调整至适当高度，解决了已知中因阀箱本体200为固定式，难以适用于各种高度或尺寸不同钢瓶250的问题。而且，在本发明的气体输送装置中，由于在与阀箱本体200相连通的各管件上设置有可配合阀箱本体200的位置作伸缩的缓冲部220a、222a、224a、226a、228a，因此可便于与各种规格尺寸不同的钢瓶250搭配使用，增加使用上的便利性。同时也降低原本阀箱本体200内的管件因弹性不足而造成制程气体外泄的机会。
33.虽然本发明以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明；所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明之精神和范围内，当可作些许知更动与润饰，因此本发明知保护范围当视后附之申请专利范围所界定者为准。

技术特征：

1.一种气体输送装置，用于配送制程气体至使用端，其特征是，包括阀箱本体（200）、升降台（210）、固定架（230）和存放制程气体的钢瓶（250），所述阀箱本体（200）位于升降台（210）上且与升降台（210）可拆卸连接，所述固定架（230）上设有若干根管件，所述管件的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件的另一端与阀箱本体（200）连接，所述管件上设有缓冲部（220a、222a、224a、226a、228a），所述阀箱本体（200）的侧面设有与钢瓶（250）相匹配的入口（200b），所述入口（200b）处设有阀箱门（200a），所述阀箱门（200a）与入口（200b）活动连接，所述钢瓶（250）上设有接头（254），所述接头（254）贯穿入口（200b）位于阀箱本体（200）内且与相应的管件可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件包括管件一（224）、管件二（220）和若干根管件三（222、226、228），所述管件一（224）的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件一（224）的另一端贯穿阀箱本体（200）的顶部与钢瓶（250）上的接头（254）可拆卸连接，所述钢瓶（250）内的制程气体通过管件一（224）传送至使用端。3.根据权利要求2所述的一种气体输送装置，其特征是，所述固定架（230）位于阀箱本体（200）的顶部上方，所述阀箱本体（200）的顶部设有排气口（200c），所述管件二（220）的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件二（220）的另一端与排气口（200c）可拆卸连接。4.根据权利要求2所述的一种气体输送装置，其特征是，所述阀箱本体（200）内设有管道系统，所述管件三（222、226、228）的一端与固定架（230）可拆卸连接，所述管件三（222、226、228）的另一端贯穿阀箱本体（200）的顶部与阀箱本体（200）内的管道系统相连通。5.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件二（220）的缓冲部（220a）由可伸缩、弯曲的可挠性管构成。6.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件二（220）的缓冲部（220a）由蝮蛇管构成。7.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件二（220）的内径大于管件一（224）和管件三（222、226、228）的内径。8.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件一（224）和管件三（222、226、228）的缓冲部（224a、222a、226a、228a）均由弯曲、缠绕成弹簧状的可挠性管构成。9.根据权利要求2或3或4所述的一种气体输送装置，其特征是，所述管件一（224）、管件二（220）和管件三（222、226、228）均由不锈钢制成。10.根据权利要求1所述的一种气体输送装置，其特征是，所述钢瓶（250）上设有若干个均匀分布的底架（252），所述底架（252）与钢瓶（250）固定连接。

技术总结

本发明公开了一种气体输送装置，旨在提供一种能提高适用性的气体输送装置，用于配送制程气体至使用端，它包括阀箱本体、升降台和固定架，阀箱本体位于升降台上且与升降台可拆卸连接，固定架上设有若干根管件，管件的一端与固定架可拆卸连接，管件的另一端与阀箱本体连接，管件上设有缓冲部。本发明的有益效果是：根据不同型号的钢瓶与管件之间的距离，升降台带动阀箱本体上升或下降，可调整钢瓶与管件的相对位置，便于钢瓶能与管件进行连接，达到了能提高适用性的目的；利于延长管件一、管件二和管件三的使用寿命；底架对钢瓶起到良好的支撑效果。效果。效果。