致动器装置的制作方法

1.本发明涉及致动器装置。

背景技术：

2.已知有包括支撑体、由支撑体支撑的金属基板、和配置于金属基板所具有的主体部的振动元件的致动器装置。在这样的致动器装置中，有时金属基板还具有可动部、以可动部位于其间的方式从主体部延伸的一对延伸部、将一对延伸部与可动部连结的一对连结部、和与一对延伸部连接的一对连接部，各连接部的一部分固定于支撑体(例如，参照日本特开2020-187292号公报)。

技术实现要素：

3.在上述那样的致动器装置中，支撑体因环境温度的变化而膨胀或收缩，由此，不需要的应力经由固定于支撑体的各连接部的一部分作用于各连结部和主体部，其结果是，存在金属基板的共振频率变化等无法得到期望的驱动特性的可能。
4.本发明的目的在于提供一种即使例如环境温度发生变化，也能够稳定地获得期望的驱动特性的致动器装置。
5.本发明的一个方面的致动器装置包括：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；配置于金属基板所具有的主体部的振动元件，金属基板还具有：可动部；以可动部位于彼此之间的方式从主体部延伸的第1延伸部和第2延伸部；将第1延伸部与可动部连结的第1连结部；将第2延伸部与可动部连结的第2连结部；和与第1延伸部连接的第1连接部；与第2延伸部连接的第2连接部；和与主体部连接的第3连接部，第1连接部包含：固定于支撑体的第1固定区域；和与第1延伸部和第1固定区域连接的第1连接区域，第2连接部包含：固定于支撑体的第2固定区域；和与第2延伸部和第2固定区域连接的第2连接区域，第3连接部包含：固定于支撑体的第3固定区域；和与主体部和第3固定区域连接的第3连接区域，第1连接区域包括第1弯曲部分，第2连接区域包括第2弯曲部分，第1弯曲部分具有可动部侧的第1外缘和与可动部为相反侧的第2外缘，第2弯曲部分具有可动部侧的第3外缘和与可动部为相反侧的第4外缘，第1外缘和第2外缘分别在从金属基板的厚度方向观察的情况下向可动部侧弯曲，第3外缘和第4外缘分别在从金属基板的厚度方向观察的情况下向可动部侧弯曲。
附图说明
6.图1是一个实施方式的致动器装置的立体图。
7.图2是图1所示的致动器装置的俯视图。
8.图3是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。
9.图4是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。
10.图5是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。
11.图6是图1所示的金属基板的一部分的俯视图。
12.图7是图1所示的金属基板的一部分的俯视图。
13.图8是第1变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。
14.图9是第2变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。
15.图10是第3变形例的金属基板的的俯视图。
具体实施方式
16.以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
17.[致动器装置的结构]
[0018]
如图1和图2所示，致动器装置1包括配线基板(支撑体)2、金属基板3、第1粘接构件4、具有光学面51的光学功能部5、驱动用压电元件(振动元件)6、检测用压电元件7和第2粘接构件8。光学功能部5设置于金属基板3。致动器装置1例如容纳于封装(未图示)。作为一例，封装具有侧壁、底壁和由使光透过的材料构成的顶壁，呈箱状。例如，在致动器装置1中，当激光经由顶壁入射到封装内时，激光被通过驱动用压电元件6经由金属基板3周期性地摆动的光学功能部5的光学面51反射，并经由顶壁向外部出射。来自封装的激光的出射方向与光学面51的摆动相应地周期性且连续地变化。即，在本实施方式中，致动器装置1是光扫描装置。
[0019]
配线基板2具有载置面2a。在配线基板2形成有载置面2a和在与载置面2a为相反侧的面开口的开口2b。配线基板2例如呈矩形框状。作为配线基板2的材料的例子，可举出硅、陶瓷、石英、玻璃和塑料。作为配线基板2，例如能够使用在将玻璃布和玻璃无纺布混合而成的基材中浸渍环氧树脂而成的玻璃复合基板(cem-3)、在将玻璃纤维制的布重叠而成的材料中浸渍环氧树脂而成的玻璃环氧基板(fr-4)、以铜、铝等为基材的金属散热基板等。配线基板2的厚度只要是能够确保充分的刚性的厚度即可，例如为0.8mm以上。在本实施方式中，配线基板2的厚度为1.6mm。在以下的说明中，将配线基板2的厚度方向称为z轴方向(金属基板的厚度方向)，将与z轴方向垂直的一个方向称为x轴方向，将与z轴方向和x轴方向这两个方向垂直的方向称为y轴方向(主体部31和可动部32排列的方向)。
[0020]
在配线基板2的载置面2a配置有多个(在本实施方式中为3个)电极焊盘21、22、23。多个电极焊盘21、22、23相对于配线基板2的开口2b位于y轴方向上的一侧，沿着x轴方向排列。在载置面2a安装有连接器24。连接器24是用于对驱动用压电元件6和检测用压电元件7分别输入输出电压信号等的端口。连接器24例如相对于多个电极焊盘21、22、23位于y轴方向上的一侧。连接器24具有多个端子25。连接器24经由多个端子25和配线基板2的配线等与多个电极焊盘21、22、23电连接。
[0021]
金属基板3由配线基板2支撑。金属基板3例如由铁类、不锈钢类、铜类、坡莫合金(permalloy)类、钛类、钨类、钼类等金属构成，呈板状。金属基板3的厚度例如为50～500μm。第1粘接构件4将配线基板2与金属基板3粘接。第1粘接构件4具有导电性。作为第1粘接构件4的材料的例子，可举出含有ag颗粒的环氧树脂。
[0022]
金属基板3具有主体部31、可动部32、第1延伸部33、第2延伸部34、第1连结部35、第2连结部36、第1连接部37、第2连接部38和第3连接部39。可动部32、第1延伸部33、第2延伸部34、第1连结部35、第2连结部36、第1连接部37、第2连接部38和第3连接部39一体地形成。
[0023]
主体部31是固定(配置)有驱动用压电元件6的部分。在从z轴方向观察的情况下，主体部31位于配线基板2的开口2b内。可动部32是配置有光学功能部5的部分。可动部32相对于主体部31位于y轴方向上的另一侧。
[0024]
第1延伸部33和第2延伸部34以可动部32位于其间的方式从主体部31延伸。在本实施方式中，可动部32位于第1延伸部33和第2延伸部34的中间。第1延伸部33和第2延伸部34例如沿着y轴方向相互平行地延伸。在本实施方式中，第1延伸部33具有与第2延伸部34相同的形状。此外，第1延伸部33和第2延伸部34只要以可动部32的至少一部分位于其间的方式(即，以在x轴方向上可动部32位于第1延伸部33与第2延伸部34之间的方式)从主体部31延伸即可。
[0025]
第1连结部35在第1延伸部33与可动部32之间沿着x轴方向延伸。第1连结部35的一端部与第1延伸部33连接，第1连结部35的另一端部与可动部32连接。即，第1连结部35将第1延伸部33与可动部32连结。
[0026]
第2连结部36在第2延伸部34与可动部32之间沿着x轴方向延伸。第2连结部36的一端部与第2延伸部34连接，第2连结部36的另一端部与可动部32连接。即，第2连结部36将第2延伸部34与可动部32连结。
[0027]
在本实施方式中，第1连结部35和第2连结部36位于沿着x轴方向的单一的直线上。根据上述的第1延伸部33和第2延伸部34与可动部32的位置关系，x轴方向上的第1连结部35的长度与x轴方向上的第2连结部36的长度相同。在本实施方式中，第1连结部35具有与第2连结部36的形状相同的形状。
[0028]
在从z轴方向观察的情况下，可动部32、第1延伸部33、第2延伸部34、第1连结部35和第2连结部36位于配线基板2的开口2b内。第1连结部35和第2连结部36作为扭力杆发挥功能，该扭力杆以与第1延伸部33和第2延伸部34的变形(位移)相应地扭转的方式弹性变形。可动部32与第1连结部35和第2连结部36的弹性变形相应地，绕沿着x轴方向的轴摆动。即，可动部32经由第1连结部35和第2连结部36以能够摆动的方式支撑于第1延伸部33和第2延伸部34。
[0029]
光学功能部5配置于可动部32的与开口2b为相反侧的面。光学功能部5例如呈圆板状。光学功能部5以光学面51朝向可动部32的相反侧的方式安装于可动部32。光学面51在x轴方向上位于第1延伸部33与第2延伸部34的中间。在本实施方式中，金属基板3和光学面51分别具有相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线线对称的形状。作为一例，光学功能部5由硅等半导体材料或玻璃构成，光学面51由在光学功能部5中形成于与可动部32为相反侧的面的反射膜构成。即，光学面51是反射镜面(反射面)。另外，可以省略光学功能部5的反射膜。在该情况下，也可以将上述相反侧的面自身作为光学面51。
[0030]
第1连接部37与第1延伸部33连接。第1连接部37相对于第1延伸部33位于y轴方向上的另一侧。在第1连接部37中，y轴方向上的另一侧的部分与配线基板2的一部分相对。在第1连接部37的该另一侧的部分与配线基板2的该一部分之间配置有第1粘接构件4。此外，在配线基板2的该一部分，也可以以与电极焊盘23成为相同电位的方式配置有与电极焊盘23电连接的电极焊盘(未图示)。
[0031]
第2连接部38与第2延伸部34连接。第2连接部38相对于第2延伸部34位于y轴方向上的另一侧。在第2连接部38中，y轴方向上的另一侧的部分与配线基板2的一部分相对。在
第2连接部38的该另一侧的部分与配线基板2的该一部分之间配置有第1粘接构件4。此外，在配线基板2的该一部分，也可以以与电极焊盘23成为相同电位的方式配置有与电极焊盘23电连接的电极焊盘(未图示)。在本实施方式中，第1连接部37和第2连接部38相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线处于线对称的关系。
[0032]
第3连接部39与主体部31连接。第3连接部39相对于主体部31位于y轴方向上的一侧。在第3连接部39中，y轴方向上的一侧的部分与配线基板2的一部分(配置有电极焊盘23的部分)相对。在第3连接部39的该一侧的部分与配线基板2的该一部分之间配置有第1粘接构件4。
[0033]
驱动用压电元件6是用于使金属基板3产生板波来驱动致动器装置1的元件。驱动用压电元件6配置于主体部31的与开口2b为相反侧的载置面31a。x轴方向上的驱动用压电元件6的中心与x轴方向上的可动部32的中心(即，x轴方向上的光学面51的中心)一致。驱动用压电元件6包括驱动用压电体61、第1电极62和第2电极(未图示)。
[0034]
驱动用压电体61包括第1主面61a和第2主面(未图示)。第1主面61a是驱动用压电体61的与载置面31a为相反侧的主面。在第1主面61a配置有第1电极62。第2主面是驱动用压电体61的载置面31a侧的主面。在第2主面上配置有第2电极。第1电极62和第2电极分别例如是ni/au层。在ni/au层中，ni层配置于第1主面61a，au层配置于ni层上，ni层的厚度比au层的厚度大。驱动用压电体61、第1电极62和第2电极分别例如呈矩形板状。驱动用压电体61通过与第1电极62接合而与第1电极62电连接。驱动用压电体61通过与第2电极接合而与第2电极电连接。在第2电极与主体部31之间配置有第2粘接构件8。第2粘接构件8将驱动用压电体61与金属基板3粘接。第2粘接构件8具有导电性。作为第2粘接构件8的材料的例子，可举出含有ag颗粒的环氧树脂。
[0035]
检测用压电元件7是用于检测可动部32的动作量的元件。在本实施方式中，检测用压电元件7检测可动部32的摆动角度和相位。检测用压电元件7配置于表面62a。表面62a是第1电极62的与驱动用压电体61为相反侧的主面。x轴方向上的检测用压电元件7的中心与x轴方向上的驱动用压电元件6的中心一致。检测用压电元件7包括检测用压电体71、第3电极72和第4电极(未图示)。检测用压电体71包括第3主面71a和第4主面(未图示)。第3主面71a是检测用压电体71的与第1电极62为相反侧的主面。在第3主面71a配置有第3电极72。第4主面是检测用压电体71的第1电极62侧的主面。在第4主面上配置有第4电极。第3电极72和第4电极分别例如是ni/au层。检测用压电体71、第3电极72和第4电极分别例如呈矩形板状。检测用压电体71通过与第3电极72接合而与第3电极72电连接。检测用压电体71通过与第4电极接合而与第4电极电连接。在第4电极与第1电极62之间配置有第2粘接构件8。第2粘接构件8粘接检测用压电体71和驱动用压电体61。
[0036]
在此，对配线基板2、金属基板3、驱动用压电元件6和检测用压电元件7的电连接关系进行说明。如图2所示，驱动用压电元件6的第1电极62经由导线11与电极焊盘21电连接。电极焊盘21经由配线基板2的配线与连接器24的端子25电连接。即，驱动用压电元件6的第1电极62经由导线11、电极焊盘21和配线基板2的配线与连接器24电连接。
[0037]
驱动用压电元件6的第2电极经由配置在第2电极与主体部31之间的第2粘接构件8与金属基板3电连接。金属基板3的第3连接部39经由配置在第3连接部39与电极焊盘23之间的第1粘接构件4与电极焊盘23电连接。电极焊盘23经由配线基板2的配线与连接器24的端
子25电连接。即，驱动用压电元件6的第2电极经由第2粘接构件8、金属基板3、第1粘接构件4、电极焊盘23和配线基板2的配线与连接器24电连接。
[0038]
检测用压电体71的第3电极72经由导线12与电极焊盘22电连接。电极焊盘22经由配线基板2的配线与连接器24的端子25电连接。即，检测用压电体71的第3电极72经由导线12、电极焊盘22和配线基板2的配线与连接器24电连接。
[0039]
检测用压电元件7的第4电极经由配置在第4电极与驱动用压电元件6的第1电极62之间的第2粘接构件8与驱动用压电元件6的第1电极62电连接。即，检测用压电元件7的第4电极经由第2粘接构件8、驱动用压电元件6的第1电极62、导线11、电极焊盘21和配线基板2的配线与连接器24电连接。
[0040]
通过以上那样的电连接关系，致动器装置1例如如以下那样被驱动。具体而言，在驱动用压电元件6的第1电极62和检测用压电元件7的第4电极经由导线11、电极焊盘21、配线基板2的配线和连接器24与基准电位(例如接地电位)连接的状态下，从致动器装置1的外部经由连接器24、配线基板2的配线、电极焊盘23、第1粘接构件4、金属基板3和粘接构件8向驱动用压电元件6的第2电极输入驱动用的电压信号。由此，驱动用压电元件6变形和/或振动，在主体部31产生周期性的板波。通过该周期性的板波的产生，在第1连结部35和第2连结部36引起扭转振动(扭转共振)，可动部32和光学面51摆动。即，在致动器装置1中，第1连结部35、第2连结部36、可动部32和光学面51的扭转共振系统与驱动用压电元件6配置在分离的位置，并且采用兰姆波共振结构，从而以高的驱动效率产生扭转共振。另一方面，与由可动部32和光学面51的摆动引起的角度的变化相应的电压信号从检测用压电体71的第3电极72经由导线12、电极焊盘22、配线基板2的配线和连接器24输出到致动器装置1的外部，检测光学面51的摆动角度和相位。另外，致动器装置1包括压电单元10。压电单元10由上述的金属基板3、驱动用压电元件6、检测用压电元件7和第2粘接构件8构成。
[0041]
[配线基板、金属基板和第1粘接构件的结构]
[0042]
如图3所示，第1连接部37包括第1区域r1、第2区域r2和第3区域r3。第1区域r1是在z轴方向上与部分26相对的区域。部分26是配线基板2的一部分。第2区域r2是从第1区域r1连续的区域。第3区域r3是从第2区域r2连续且与第1延伸部33连接的区域。“与第1延伸部33连接的区域”包括第3区域r3与第1延伸部33直接(即，不经由其他部分)连接的区域、和第3区域r3与第1延伸部33间接(即，经由其他部分)连接的区域中的任一个。即，第3区域r3不限于第1连接部37中的第1延伸部33与第2区域r2之间的部分的整体，是与第2区域r2连续地连接的区域。在本实施方式中，第2区域r2和第3区域r3在z轴方向上不与配线基板2相对。
[0043]
在以下的说明中，在从z轴方向观察的情况下，将第3区域r3与第2区域r2连接的方向设为连接方向a，将与连接方向a垂直的方向设为方向b。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，连接方向a分别与x轴方向和y轴方向交叉。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，由第1区域r1和第2区域r2构成的区域呈多边形状，第2区域r2构成多边形状的一个角部k。作为一个例子，在从z轴方向观察的情况下，由第1区域r1和第2区域r2构成的区域呈大致矩形状，第1区域r1与第2区域r2的边界线以向与角部k的顶点为相反侧凸出的方式弯曲。在从z轴方向观察的情况下，第2区域r2例如呈扇状。作为一例，在从z轴方向观察的情况下，第3区域r3呈以连接方向a为长边方向的长方形状，在第2区域r2中与x轴方向上的最靠一侧且y轴方向上的最靠一侧的部分连接。
[0044]
在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第2区域r2的宽度w2比方向b上的第3区域r3的宽度w3大。“在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第2区域r2的宽度w2比方向b上的第3区域r3的宽度w3大”是指，在从z轴方向观察的情况下，除了第2区域r2与第3区域r3的边界部分之外，方向b上的第2区域r2的宽度w2的最小值比方向b上的第3区域r3的宽度w3的最大值大。
[0045]
另外，相对于在z轴方向上与配线基板2的部分26相对的第1区域r1，第2区域r2包括i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域、或者ii)z轴方向上的距配线基板2的距离比z轴方向上的第1区域r1与配线基板2的距离大的区域。在本实施方式中，第2区域r2是i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域。
[0046]
另外，第2区域r2与第3区域r3的边界包括i)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”、ii)方向b上的第1连接部37的宽度的变化率以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”、或者iii)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界超过方向b上的第1连接部37的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向b的线”。在本实施方式中，第2区域r2与第3区域r3的边界是iii)以方向b上的第1连接部37的宽度“沿着方向b的线”为边界超过方向b上的第1连接部37的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向b的线”。另外，第3区域r3是至少包含第1连接部37中的具有方向b上的第1连接部37的最小宽度的部分的区域，第1粘接构件4的第2部分(详情在后面叙述)至少不超过成为方向b上的第1连接部37的最小宽度的线。
[0047]
在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1区域r1的宽度w1比方向b上的第2区域r2的宽度w2大。“在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1区域r1的宽度w1比方向b上的第2区域r2的宽度w2大”是指，在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1区域r1的宽度w1的最大值比方向b上的第2区域r2的宽度w2的最大值大。像这样，在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1连接部37的宽度随着从第3区域r3朝向第1区域r1而阶段性地变大。
[0048]
在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积比第2区域r2的面积大，第2区域r2的面积比第3区域r3的面积大。而且，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积比第2区域r2的面积和第3区域r3的面积的总和大。第2区域r2的刚性比第3区域r3的刚性大。第1区域r1的刚性比第2区域r2的刚性大。
[0049]
第1粘接构件4(参照图2)将配线基板2的部分26与第1连接部37粘接。第1粘接构件4具有第1部分(未图示)和第2部分(未图示)。第1部分是第1粘接构件4中的配置于部分26与第1区域r1之间的部分。第2部分是第1粘接构件4中的从第1部分连续并到达第2区域r2而没有到达第3区域r3的部分。即，第2部分与第2区域r2接触，不与第3区域r3接触。作为一个例子，第2部分与第2区域r2和部分26的侧面接触，第2部分的与所述第2区域r2为相反侧的表面露出于空间。即，第1粘接构件4分别与第1区域r1和第2区域r2接触，不与第3区域r3接触。像这样，在第1连接部37中，通过在第1区域r1与第3区域r3之间设置第2区域r2，在金属基板3中，从第1区域r1伸出的第1粘接构件4停留在第2区域r2，第1粘接构件4不与连接于第1延伸部33的第3区域r3接触。
[0050]
如图4所示，第2连接部38也与第1连接部37同样地包含第1区域r1、第2区域r2和第3区域r3。第2连接部38的第1区域r1是在z轴方向上与作为配线基板2的一部分的部分27相
对的区域。第2连接部38的第2区域r2是从第1区域r1连续的区域。第2连接部38的第3区域r3是从第2区域r2连续且与第2延伸部34连接的区域。第1粘接构件4(参照图2)将配线基板2的部分27与第2连接部38粘接。粘接配线基板2的部分27和第2连接部38的第1粘接构件4也与粘接部分26和第1连接部37的第1粘接构件4同样，具有第1部分(未图示)和第2部分(未图示)。第2连接部38和第1粘接构件4的结构与第1连接部37和第1粘接构件4的结构相同(相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线呈线对称的关系)。
[0051]
如图5所示，第3连接部39包括第4区域r4、第5区域r5和第6区域r6。第4区域r4是在z轴方向上与部分28相对的区域。部分28是与配线基板2的部分26不同的一部分。第5区域r5是从第4区域r4连续的区域。第6区域r6是从第5区域r5连续且与主体部31连接的区域。“与主体部31连接的区域”包括第6区域r6与主体部31直接(即，不经由其他部分)连接的区域、和第6区域r6与主体部31间接(即，经由其他部分)连接的区域中的任一个。即，第6区域r6不限于第3连接部39中主体部31与第5区域r5之间的部分的整体，是与第5区域r5连续地连接的区域。
[0052]
在以下的说明中，在从z轴方向观察的情况下，将第6区域r6与第5区域r5连接的方向(不同的连接方向)设为连接方向c，将与连接方向c垂直的方向设为方向d。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，由第4区域r4和第5区域r5构成的区域呈多边形状，第5区域r5构成多边形状的一个边部的一部分。作为一个例子，在从z轴方向观察的情况下，由第4区域r4和第5区域r5构成的区域呈矩形状，第4区域r4与第5区域r5的边界线以向与上述边部为相反侧凸出的方式弯曲。在从z轴方向观察的情况下，第5区域r5例如呈半椭圆状。在从z轴方向观察的情况下，第6区域r6例如呈大致矩形状，在第5区域r5中与x轴方向上的中央且y轴方向上的最靠另一侧的部分连接。
[0053]
在从z轴方向观察的情况下，方向d上的第5区域r5的宽度w5比方向d上的第6区域r6的宽度w6大。“在从z轴方向观察的情况下，方向d上的第5区域r5的宽度w5比方向d上的第6区域r6的宽度w6大”是指，在从z轴方向观察的情况下，除了第5区域r5与第6区域r6的边界部分之外，方向d上的第5区域r5的宽度w5的最小值比方向d上的第6区域r6的宽度w6的最大值大。
[0054]
另外，相对于在z轴方向上与配线基板2的部分28相对的第4区域r4，第5区域r5包括i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域、或者ii)z轴方向上的距配线基板2的距离比z轴方向上的第4区域r4与配线基板2的距离大的区域。在本实施方式中，第5区域r5是i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域。
[0055]
另外，第5区域r5与第6区域r6的边界包括i)方向d上的第3连接部39的宽度以“沿着方向d的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向d的线”、ii)方向d上的第3连接部39的宽度的变化率以“沿着方向d的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向d的线”、或者iii)方向d上的第3连接部39的宽度以“沿着方向d的线”为边界超过方向d上的第3连接部39的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向d的线”。在本实施方式中，第5区域r5与第6区域r6的边界是iii)方向d上的第3连接部39的宽度以“沿着方向d的线”为边界超过方向d上的第3连接部39的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向d的线”。另外，第6区域r6是至少包含第3连接部39中的具有方向d上的第3连接部39的最小宽度的部分的区域，第1粘接构件4的第4部分(详情在后面叙述)至少不超过成为方向d上的第3连接部
39的最小宽度的线。
[0056]
在从z轴方向观察的情况下，在方向d上的第4区域r4中位于比第5区域r5靠y轴方向上的一侧的部分的宽度w4比方向d上的第5区域r5的宽度w5大。“在从z轴方向观察的情况下，在方向d上的第4区域r4中位于比第5区域r5靠y轴方向上的一侧的部分的宽度w4比方向d上的第5区域r5的宽度w5大”是指，在从z轴方向观察的情况下，方向d上的宽度w4的最大值比方向d上的第5区域r5的宽度w5的最大值大。像这样，在从z轴方向观察的情况下，方向d上的第3连接部39的宽度随着从第6区域r6朝向第4区域r4而阶段性地变大。
[0057]
在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，第4区域r4的面积比第5区域r5的面积大。而且，在从z轴方向观察的情况下，第4区域r4的面积比第5区域r5的面积和第6区域r6的面积的总和大。第5区域r5的刚性比第6区域r6的刚性大。第4区域r4的刚性比第5区域r5的刚性大。
[0058]
在本实施方式中，第5区域r5和第6区域r6在z轴方向上不与配线基板2相对。第1粘接构件4将配线基板2的部分(不同的一部分)28与第3连接部39粘接。第1粘接构件4(参照图2)具有第3部分(未图示)和第4部分(未图示)。第3部分是第1粘接构件4中的配置于部分28与第4区域r4之间的部分。第4部分是第1粘接构件4中的从第3部分连续并到达第5区域r5而没有到达第6区域r6的部分。即，第4部分与第5区域r5接触，不与第6区域r6接触。作为一个例子，第4部分与第5区域r5和部分28的侧面接触，第4部分的与第5区域r5为相反侧的表面露出于空间。即，第1粘接构件4分别与第4区域r4和第5区域r5接触，不与第6区域r6接触。像这样，在第3连接部39中，通过在第4区域r4与第6区域r6之间设置第5区域r5，在金属基板3中，从第4区域r4伸出的第1粘接构件4停留在第5区域r5，第1粘接构件4不与连接于主体部31的第6区域r6接触。
[0059]
[各连接部的结构]
[0060]
如图3和图6所示，第1连接部37还包括第1固定区域371和第1连接区域372。第1固定区域371固定于配线基板2。在本实施方式中，第1固定区域371的至少一部分固定于配线基板2。具体而言，第1固定区域371包含与配线基板2的部分26相对且由第1粘接构件4(参照图2等)固定于部分26的第1区域r1、和通过第1粘接构件4不与配线基板2相对地到达而被固定于部分26的第2区域r2。此外，第1固定区域371也可以还包括不与配线基板2的一部分相对且没有固定于配线基板2的部分。
[0061]
第1连接区域372是与第1延伸部33和第1固定区域371连接的区域。第1连接区域372与第1固定区域371的边界整体，相对于第1连接区域372与第1延伸部33的连接部位形成于x轴方向上的可动部32侧。第1连接区域372包含第3区域r3。如图6所示，第1连接区域372包含部分(第1部分)372a、部分(第3部分)372b和第1弯曲部分372c。部分372a是从第1延伸部33呈直线状延伸的部分。部分372a位于第1连接区域372中的y轴方向上的最靠一侧的位置。在本实施方式中，部分372a沿着y轴方向延伸。
[0062]
部分372b具有与部分372a交叉的位置关系，是从第1固定区域371呈直线状延伸的部分。部分372b与部分372a交叉的位置关系例如是指，部分372a和部分372b位于沿着部分372b的中心线l2的方向与沿着部分372a的中心线l1的方向交叉的位置的关系。即，部分372a的中心线l1不与部分372b的中心线l2平行。部分372b位于第1连接区域372中的y轴方向上的最靠另一侧。在本实施方式中，部分372b沿着与x轴方向和y轴方向分别交叉的方向
延伸。
[0063]
第1弯曲部分372c在第1连接区域372中向可动部32侧弯曲。在本实施方式中，第1弯曲部分372c是与部分372a和部分372b连接的部分。即，第1弯曲部分372c位于部分372a与部分372b之间。第1弯曲部分372c具有可动部32侧的第1外缘p1和与可动部32为相反侧的第2外缘p2。在从z轴方向观察的情况下，第1外缘p1和第2外缘p2分别向可动部32侧弯曲。即，第1连接区域372在第1弯曲部分372c弯曲。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，第1外缘p1和第2外缘p2分别以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲。
[0064]
在从z轴方向观察的情况下，部分372b相对于y轴方向所成的角度θ1大于0度且为90度以下。部分372b相对于y轴方向所成的角度θ1例如是部分372b的中心线l2相对于y轴方向所成的角度。即，角度θ1是表示以y轴方向为基准的情况下的部分372b向可动部32侧的倾斜的角度。作为一例，角度θ1约为45度。
[0065]
如图4和图7所示，第2连接部38还包括第2固定区域381和第2连接区域382。第2固定区域381与第1固定区域371同样地固定于配线基板2。在本实施方式中，第2固定区域381的至少一部分固定于配线基板2。具体而言，第2固定区域381与第1固定区域371同样，包含与配线基板2的部分27相对且由第1粘接构件4(参照图2等)固定于部分27的第1区域r1、和通过第1粘接构件4不与配线基板2相对地到达而被固定于部分27的第2区域r2。另外，第2固定区域381也可以还包含不与配线基板2的一部分相对且没有固定于配线基板2的部分。
[0066]
第2连接区域382与第1连接区域372同样，是与第2延伸部34和第2固定区域381连接的区域。第2连接区域382与第2固定区域381的边界整体，相对于第2连接区域382与第2延伸部34的连接部位形成于x轴方向上的可动部32侧。第2连接区域382与第1连接区域372同样地包含第3区域r3。如图7所示，第2连接区域382包含部分(第2部分)382a、部分(第4部分)382b和第2弯曲部分382c。部分382a是从第2延伸部34呈直线状延伸的部分。部分382a位于第2连接区域382中的y轴方向上的最靠一侧的位置。在本实施方式中，部分382a沿着y轴方向延伸。
[0067]
部分382b具有与部分382a交叉的位置关系，是从第2固定区域381呈直线状延伸的部分。即，部分382a的中心线l3不与部分382b的中心线l4平行。部分382b位于第2连接区域382中的y轴方向上的最靠另一侧。在本实施方式中，部分382b沿着与x轴方向和y轴方向分别交叉的方向延伸。
[0068]
第2弯曲部分382c在第2连接区域382中向可动部32侧弯曲。在本实施方式中，第2弯曲部分382c是与部分382a和部分382b连接的部分。第2弯曲部分382c具有可动部32侧的第3外缘p3和与可动部32为相反侧的第4外缘p4。在从z轴方向观察的情况下，第3外缘p3和第4外缘p4分别向可动部32侧弯曲。即，第2连接区域382在第2弯曲部分382c弯曲。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，第3外缘p3和第4外缘p4分别以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲。
[0069]
在从z轴方向观察的情况下，部分382b相对于y轴方向所成的角度θ2大于0度且为90度以下，例如约为45度。如上所述，第2固定区域381和第2连接区域382的结构与第1固定区域371和第1连接区域372的结构相同(相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线呈线对称的关系)。
[0070]
如图2所示，第1固定区域371和第2固定区域381隔着区域rh相互分离。区域rh在y
轴方向上相对于可动部32位于与主体部31为相反侧。在本实施方式中，区域rh是空间。即，在本实施方式中，第1固定区域371和第2固定区域381隔着空间相互分离。此外，区域rh也可以包含空间以外的物体。
[0071]
如图5所示，第3连接部39还包括第3固定区域391和第3连接区域392。第3固定区域391是固定于配线基板2的区域。在本实施方式中，第3固定区域391的至少一部分固定于配线基板2。具体而言，第3固定区域391包括：与配线基板2的部分28相对且由第1粘接构件4(参照图2等)固定于部分28的第4区域r4；和通过第1粘接构件4不与配线基板2相对地到达而被固定于部分28的第5区域r5。第3连接区域392是与主体部31和第3固定区域391连接的区域。第3连接区域392包括第6区域r6。此外，第3固定区域391也可以还包括不与配线基板2的一部分相对且没有固定于配线基板2的部分。作为一例，第3连接区域392从主体部31沿着y轴方向呈直线状延伸。
[0072]
[作用和效果]
[0073]
在致动器装置1中，例如即使配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩，通过在第1连接区域372中第1弯曲部分372c发生变形，且在第2连接区域382中第2弯曲部分382c发生变形，不需要的应力也难以经由固定于配线基板2的第1固定区域371和第2固定区域381作用于第1连结部35、第2连结部36和主体部31，并且不需要的应力难以经由固定于配线基板2的第3固定区域391作用于主体部31，从而抑制金属基板3的共振频率的变化。因此，根据该致动器装置1，即使环境温度变化，也能够稳定地得到期望的驱动特性。
[0074]
对致动器装置1的效果进一步进行叙述。在致动器装置1中，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，第1固定区域371沿着相对于y轴方向向可动部32的相反侧倾斜的方向移动，第2固定区域381沿着相对于y轴方向向可动部32的相反侧倾斜的方向移动。作为一个例子，在配线基板2膨胀的情况下，第1固定区域371沿着上述方向向外侧移动，第2固定区域381沿着上述方向向外侧移动。在这样的致动器装置1中，假设各连接区域372、382不包含各弯曲部分372c、382c而从各延伸部33、34到各固定区域371、381沿着y轴方向呈直线状延伸，则会产生以下的问题。即，在上述结构中，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，由于不包含各连接区域372、382变形的部分，所以不需要的应力经由各固定区域371、381作用于第1连结部35、第2连结部36和主体部31，其结果是，金属基板3的共振频率发生变化。
[0075]
另外，假设在从z轴方向观察的情况下，在第1连接区域372中，第1外缘p1和第2外缘p2分别向与可动部32为相反侧弯曲，部分372b相对于y轴方向向与可动部32为相反侧倾斜，在第2连接区域382中，第3外缘p3和第4外缘p4分别向与可动部32为相反侧弯曲，部分372b相对于y轴方向向与可动部32为相反侧倾斜，则会产生以下的问题。即，在上述结构中，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，部分372b延伸的方向与第1固定区域371移动的方向接近平行，部分382b延伸的方向与第2固定区域381移动的方向接近平行，所以各弯曲部分372c、382c难以变形。其结果是，不需要的应力经由各固定区域371、381、391作用于第1连结部35、第2连结部36和主体部31，金属基板3的共振频率发生变化。
[0076]
另外，在可动部32中用于得到期望的摆动角度的驱动电压受到金属基板3整体的共振模式(以下，称为“板簧共振模式”)下的共振频率与可动部32的共振模式下的共振频率之比的影响。因此，例如在上述各结构中，在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的
情况下，不需要的应力经由各固定区域371、381作用于第1连结部35、第2连结部36和主体部31，如果板簧共振模式下的共振频率变化，则板簧共振模式的共振频率与可动部共振模式的共振频率之比发生变化，有可能无法得到期望的驱动特性。
[0077]
与此相对，在致动器装置1中，第1连接区域372包括第1弯曲部分372c，第2连接区域382包括第2弯曲部分382c，所以在各固定区域371、381因配线基板2的变形而移动的情况下，能够在各弯曲部分372c、382c集中地产生应力。这是因为，能够将经由各固定区域371、381作用于金属基板3的拉伸应力或压缩应力转换为作用于各弯曲部分372c、382c的弯曲应力。即，通过配线基板2的变形而作用于金属基板3的应力被金属基板3中不易对共振频率的变化造成影响的第1连接区域372和第2连接区域382吸收，从而能够抑制应力作用于金属基板3中容易对共振频率的变化造成影响的第1连结部35、第2连结部36和主体部31。
[0078]
另外，假设各连接区域372、382不包含各弯曲部分372c、382c，在比第1延伸部33与第1连结部35的连接部分靠主体部31侧(y轴方向上的一侧)设置有比第1延伸部33向可动部32侧弯曲的第1弯曲部分，在比第2延伸部34与第2连结部36的连接部分靠主体部31侧(y轴方向上的一侧)设置有比第2延伸部34向可动部32侧弯曲的第2弯曲部分的例子中，可能产生以下的问题。即，在上述结构中，第1延伸部33与第1连结部35的连接部分位于比第1弯曲部分靠第1固定区域371侧的位置，第2延伸部34与第2连结部36的连接部分位于比第2弯曲部分靠第2固定区域381侧的位置。因此，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，不需要的应力容易作用于第1延伸部33与第1连结部35的连接部分、和第2延伸部34与第2连结部36的连接部分，其结果是，金属基板3的共振频率大幅变化。
[0079]
与此相对，在致动器装置1中，在位于比第1延伸部33与第1连结部35的连接部分靠与主体部31为相反侧(y轴方向上的另一侧)的第1连接区域372设置有第1弯曲部分372c，在位于比第2延伸部34与第2连结部36的连接部分靠与主体部31为相反侧(y轴方向上的另一侧)的第2连接区域382设置有第2弯曲部分382c。由此，能够在板簧共振模式和可动部共振模式的两者中抑制共振频率的大幅变动，稳定地得到期望的驱动特性。
[0080]
另外，假设在从z轴方向观察的情况下，在第1连接区域372中，与可动部32为相反侧的外缘沿着y轴方向延伸，仅可动部32侧的外缘向可动部32侧弯曲，在第2连接区域382中，与可动部32为相反侧的外缘沿着y轴方向延伸，仅可动部32侧的外缘向可动部32侧弯曲的例子中，可能产生以下的问题。即，在该例子中，各连接区域372、382不包含弯曲部分，x轴方向上的第1连接区域372的宽度随着从第1延伸部33侧接近第1固定区域371而变大，x轴方向上的第2连接区域382的宽度随着从第2延伸部34侧接近第2固定区域381而变大。因此，在配线基板2膨胀或收缩的情况下，作用于金属基板3的拉伸应力或压缩应力难以转换为弯曲应力。与此相对，在致动器装置1中，在第1连接区域372中形成有第1外缘p1和第2外缘p2这两者向可动部32侧弯曲的第1弯曲部分372c，在第2连接区域382中形成有第3外缘p3和第4外缘p4这两者向可动部32侧弯曲的第2弯曲部分382c，所以在配线基板2膨胀或收缩的情况下，能够将作用于金属基板3的拉伸应力或压缩应力有效地转换为作用于各弯曲部分372c、382c的弯曲应力。
[0081]
在致动器装置1中，从第1延伸部33呈直线状延伸的部分372a与第1弯曲部分372c连接，从第2延伸部34呈直线状延伸的部分382a与第2弯曲部分382c连接。由此，能够抑制第1弯曲部分372c的变形的影响波及到第1延伸部33与第1连结部35的连接部分。同样地，能够
抑制第2弯曲部分382c的变形的影响波及到第2延伸部34与第2连结部36的连接部分。
[0082]
在致动器装置1中，具有与部分372a交叉的位置关系且从第1固定区域371呈直线状延伸的部分372b与第1弯曲部分372c连接，具有与部分382a交叉的位置关系且从第2固定区域381呈直线状延伸的部分382b与第2弯曲部分382c连接。由此，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，能够在第1连接区域372和第2连接区域382中使第1弯曲部分372c和第2弯曲部分382c局部地变形。因此，能够进一步抑制第1弯曲部分372c的变形的影响波及到第1延伸部33与第1连结部35的连接部分。同样地，能够进一步抑制第2弯曲部分382c的变形的影响波及到第2延伸部34与第2连结部36的连接部分。另外，由于各部分372b、382b呈呈直线状延伸的形状，所以例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀的情况和配线基板2收缩的情况中的任一情况下，都能够使第1弯曲部分372c和第2弯曲部分382c适当地变形。
[0083]
在致动器装置1中，在从z轴方向观察的情况下，部分372b相对于y轴方向所成的角度大于0度且为90度以下，部分382b相对于y轴方向所成的角度大于0度且为90度以下。由此，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，能够在第1连接区域372和第2连接区域382中使第1弯曲部分372c和第2弯曲部分382c可靠地变形。具体而言，部分372b延伸的方向与第1固定区域371移动的上述方向交叉，部分382b延伸的方向与第2固定区域381移动的上述方向交叉，所以能够进行与配线基板2的变形量相应的各弯曲部分372c、382c的变形。
[0084]
在致动器装置1中，在从z轴方向观察的情况下，第1外缘p1和第2外缘p2分别以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲，第3外缘p3和第4外缘p4分别以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲。由此，例如在配线基板2因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，在第1弯曲部分372c和第2弯曲部分382c中应力的集中被缓和，所以能够防止第1弯曲部分372c和第2弯曲部分382c的破损。
[0085]
在致动器装置1中，第1固定区域371和第2固定区域381隔着在主体部31和可动部32排列的方向上相对于可动部32位于与主体部31为相反侧的区域rh而相互分离。由此，例如，在向可动部32照射光的情况下，能够降低由于该光被第1固定区域371或第2固定区域381反射而产生杂散光的风险。另外，在由于第1固定区域371与第2固定区域381分开而容易受到配线基板2的膨胀和收缩的影响的金属基板3中，第1弯曲部分372c在第1连接区域372中变形，第2弯曲部分382c在第2连接区域382中变形，其结果是，能够抑制金属基板3的共振频率的变化。
[0086]
[变形例]
[0087]
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式。例如，第1固定区域371、第2固定区域381和第3固定区域391分别是固定于配线基板2的区域即可。各固定区域371、381、391例如也可以仅包含与配线基板2的一部分相对且固定于配线基板2的区域。
[0088]
第1连接区域372和第2连接区域382的形状不限于上述实施方式的形状。例如，在从z轴方向观察的情况下，第1连接区域372的第1弯曲部分372c中的第1外缘p1和第2外缘p2也可以分别以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲成v字状。第2连接区域382的第2弯曲部分382c中的第3外缘p3和第4外缘p4也可以分别以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲成v
字状。另外，部分372b相对于y轴方向所成的角度θ1和部分382b相对于y轴方向所成的角度θ2例如也可以分别大于90度。另外，例如，第1连接区域372也可以不包含部分372b，与部分372a连接的第1弯曲部分372c与第1固定区域371直接连接。第2连接区域382也可以不包含部分382b，与部分382a连接的第2弯曲部分382c与第2固定区域381直接连接。
[0089]
另外，在图8所示的例子中，部分372a沿着y轴方向延伸，部分372b沿着x轴方向延伸。部分372b相对于y轴方向所成的角度θ1约为90度。第2连接区域382的部分382b也可以是与图8所示的部分372b同样的结构。另外，例如，第1连接区域372的部分372a也可以相对于第1延伸部33向可动部32侧倾斜，第2连接区域382的部分382a也可以相对于第2延伸部34向可动部32侧倾斜。另外，例如，也可以是，第1延伸部33相对于y轴方向向可动部32侧倾斜，部分372a相对于第1延伸部33进一步向可动部32侧倾斜，也可以是，第2延伸部34相对于y轴方向向可动部32侧倾斜，部分382b相对于第2延伸部34进一步向可动部32侧倾斜。
[0090]
另外，第1连接区域372例如也可以不包括部分372a和部分372b中的一者，另外，例如也可以不包括部分372a和部分372b两者。另外，第2连接区域382例如也可以不包含部分382a和部分382b中的一者，另外，例如也可以不包含部分382a和部分382b两者。作为一例，在图9所示的例子中，在第1连接区域372包含分别从第1延伸部33和第1固定区域371连续的第1弯曲部分372c这一点上与上述实施方式不同。第1连接区域372不包含部分372a和部分372b。第1弯曲部分372c在第1延伸部33和第1固定区域371之间以向可动部32的相反侧凸出的方式弯曲。另外，第2连接区域382也可以是与图9所示的第1连接区域372同样的结构。
[0091]
在上述实施方式中，1个第3连接部39构成与主体部连接的第3连接部，但第3连接部也可以由多个第3连接部39构成。作为一例，也可以是，第3连接部由2个第3连接部39构成，该2个第3连接部39相对于主体部31位于y轴方向上的一侧，且相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线线对称地配置。
[0092]
金属基板3的形状并不限定于上述实施方式。例如，第1固定区域371和第2固定区域381也可以相互连结。即使在该情况下，由于配线基板2的厚度相对于金属基板3的厚度压倒性地大，配线基板2与金属基板3的热膨胀系数之差大，所以对金属基板3施加拉伸应力或压缩应力，但如上所述，通过在连接区域372设置第1弯曲部分372c，在连接区域382设置第2弯曲部分382c，能够稳定地得到期望的驱动特性。
[0093]
另外，例如，金属基板3的第3固定区域391和第1固定区域371也可以相互连结，第3固定区域391和第2固定区域381也可以相互连结。在图10所示的例子中，金属基板3还具有第1中间部30a和第2中间部30b。第1中间部30a与第1固定区域371和第3固定区域391连接。第1中间部30a包括与配线基板2的一部分相对的部分。此外，在图10所示的例子中，省略了配线基板2等的图示。作为一例，第1中间部30a在从z轴方向观察的情况下，呈包围主体部31的c字状。第2中间部30b与第2固定区域381和第3固定区域391连接。第2中间部30b包括与配线基板2的一部分相对的部分。作为一例，在从z轴方向观察的情况下，第2中间部30b呈包围主体部31的c字状。根据本变形例，能够提高致动器装置1的制造时的金属基板3的操作性。此外，在本变形例中，例如，也可以在与第1中间部30a相对的配线基板2的一部分和第1中间部30a之间、以及与第2中间部30b相对的配线基板2的一部分和第2中间部30b之间分别配置第1粘接构件4，各固定区域371、381、391、第1中间部30a和第2中间部30b全部固定于配线基板2。由此，能够可靠地增大配线基板2与金属基板3的粘接强度。另外，在本变形例中，例如，
也可以仅将各固定区域371、381、391固定于配线基板2。
[0094]
配线基板2并不限定于上述实施方式的形状，例如，配线基板2也可以代替开口而具有中央部分相对于载置面2a向与金属基板3为相反侧凹陷的凹部。在该情况下，第2区域r2和第3区域r3也可以分别与配线基板2的凹部相对。另外，例如，配线基板2也可以具有多个柱部来代替开口。在该情况下，第2区域r2和第3区域r3也可以分别与配线基板2相对。另外，在上述实施方式中，例示了支撑金属基板3的配线基板2，但金属基板3例如也可以支撑于由单个或多个构件构成的支撑体。
[0095]
在上述实施方式中，在第1连结部35和第2连结部36引起扭转振动(扭转共振)，可动部32绕x轴摆动，但关于可动部32的动作的方式没有特别限定。作为一个例子，在致动器装置1中，除了上述的可动部32和光学面51摆动的模式(以下，称为“第1共振模式”)之外，或者代替第1共振模式，也可以具有通过周期性的板波的产生，第1连结部35和第2连结部36沿着z轴方向移动(平移运动)，从而可动部32沿着z轴方向移动的模式(以下，称为“第2共振模式”)。在该情况下，也可以在第1共振模式时，利用检测用压电元件7检测可动部32的摆动角度和相位，在第2共振模式时，利用检测用压电元件7检测可动部32的位移量和相位。
[0096]
在上述实施方式中，光学功能部5具有作为反射镜面的光学面51，但光学功能部5例如也可以是反射型衍射光栅、透射型衍射光栅、光学滤波器等。另外，在上述实施方式中，在金属基板3的载置面31a上配置有驱动用压电元件6，在驱动用压电元件6上配置有检测用压电元件7，但也可以在金属基板3的载置面31a上配置检测用压电元件7，在检测用压电元件7上配置驱动用压电元件6。另外，在上述实施方式中，致动器装置1包括驱动用压电元件6作为振动元件，但振动元件只要具有通过驱动信号进行振动的振动源即可，不限于压电驱动式。例如，振动元件也可以是在金属基板3的主体部31具有磁铁、在与金属基板3不同的部位具有线圈(或者，在金属基板3的主体部31具有线圈、在与金属基板3不同的部位具有磁铁)的电磁驱动式的振动元件。致动器装置1只要包括配线基板2、金属基板3、和驱动用压电元件6即可。在致动器装置1中，例如也可以不安装连接器24、导线11和导线12。另外，致动器装置1例如也可以不包括第1粘接构件4和第2粘接构件8，另外，例如也可以不包括检测用压电元件7。
[0097]
本发明的一个方面的致动器装置包括：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；配置于金属基板所具有的主体部的振动元件，金属基板还具有：可动部；以可动部位于彼此之间的方式从主体部延伸的第1延伸部和第2延伸部；将第1延伸部与可动部连结的第1连结部；将第2延伸部与可动部连结的第2连结部；和与第1延伸部连接的第1连接部；与第2延伸部连接的第2连接部；和与主体部连接的第3连接部，第1连接部包含：固定于支撑体的第1固定区域；和与第1延伸部和第1固定区域连接的第1连接区域，第2连接部包含：固定于支撑体的第2固定区域；和与第2延伸部和第2固定区域连接的第2连接区域，第3连接部包含：固定于支撑体的第3固定区域；和与主体部和第3固定区域连接的第3连接区域，第1连接区域包括第1弯曲部分，第2连接区域包括第2弯曲部分，第1弯曲部分具有可动部侧的第1外缘和与可动部为相反侧的第2外缘，第2弯曲部分具有可动部侧的第3外缘和与可动部为相反侧的第4外缘，第1外缘和第2外缘分别在从金属基板的厚度方向观察的情况下向可动部侧弯曲，第3外缘和第4外缘分别在从金属基板的厚度方向观察的情况下向可动部侧弯曲。
[0098]
在该致动器装置中，例如即使支撑体因环境温度的变化而膨胀或收缩，通过在第1
连接区域和第2连接区域中第1弯曲部分和第2弯曲部分发生变形，不需要的应力也难以经由固定于支撑体的第1固定区域和第2固定区域作用于第1连结部、第2连结部和主体部，并且不需要的应力难以经由固定于支撑体的第3固定区域作用于主体部，金属基板的共振频率的变化被抑制。因此，根据该致动器装置，例如即使环境温度变化，也能够稳定地得到期望的驱动特性。
[0099]
在本发明的致动器装置中，也可以是，第1连接区域还包括从第1延伸部以直线状延伸的第1部分，第2连接区域还包括从第2延伸部以直线状延伸的第2部分，第1部分与第1弯曲部分连接，第2部分与第2弯曲部分连接。由此，能够抑制第1弯曲部分的变形的影响波及到第1延伸部与第1连结部的连接部分。同样地，能够抑制第2弯曲部分的变形的影响波及到第2延伸部与第2连结部的连接部分。
[0100]
在本发明的致动器装置中，也可以是，第1连接区域还包括从第1固定区域呈直线状延伸的第3部分，第2连接区域还包括从第2固定区域呈直线状延伸的第4部分，第3部分具有与第1部分交叉的位置关系，并与第1弯曲部分连接，第4部分具有与第2部分交叉的位置关系，并与第2弯曲部分连接。由此，例如在支撑体因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，能够在第1连接区域和第2连接区域中使第1弯曲部分和第2弯曲部分局部地变形。
[0101]
在本发明的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第3部分相对于主体部和可动部排列的方向所成的角度大于0度且为90度以下，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第4部分相对于主体部和可动部排列的方向所成的角度大于0度且为90度以下。由此，例如在支撑体因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，能够在第1连接区域和第2连接区域中使第1弯曲部分和第2弯曲部分可靠地变形。
[0102]
在本发明的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第1外缘和第2外缘分别以向与可动部为相反侧凸出的方式弯曲，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第3外缘和第4外缘分别以向与可动部为相反侧凸出的方式弯曲。由此，例如在支撑体因环境温度的变化而膨胀或收缩的情况下，在第1弯曲部分和第2弯曲部分中应力的集中被缓和，所以能够防止第1弯曲部分和第2弯曲部分的破损。
[0103]
在本发明的致动器装置中，也可以是，第1固定区域和第2固定区域隔着在主体部和可动部排列的方向上相对于可动部位于与主体部为相反侧的区域而相互分离。由此，例如，在向可动部照射光的情况下，能够降低由于该光被第1固定区域或第2固定区域反射而产生杂散光的风险。
[0104]
在本发明的致动器装置中，也可以是，金属基板还具有：与第3固定区域和第1固定区域连接的第1中间部；和与第3固定区域和第2固定区域连接的第2中间部。由此，能够提高致动器装置的制造时的金属基板的处理性。
[0105]
根据本发明的一个方面，能够提供一种即使例如环境温度改变也能够稳定地获得期望的驱动特性的致动器装置。

技术特征：

1.一种致动器装置，其中：具备：支撑体；金属基板，其由所述支撑体支撑；振动元件，其配置于所述金属基板所具有的主体部，所述金属基板还具有：可动部；第1延伸部和第2延伸部，其以所述可动部位于彼此之间的方式从所述主体部延伸；第1连结部，其将所述第1延伸部与所述可动部连结；第2连结部，其将所述第2延伸部与所述可动部连结；和第1连接部，其与所述第1延伸部连接；第2连接部，其与所述第2延伸部连接；和第3连接部，其与所述主体部连接，所述第1连接部包括：第1固定区域，其固定于所述支撑体；和第1连接区域，其与所述第1延伸部和所述第1固定区域连接，所述第2连接部包括：第2固定区域，其固定于所述支撑体；和第2连接区域，其与所述第2延伸部和所述第2固定区域连接，所述第3连接部包括：第3固定区域，其固定于所述支撑体；和第3连接区域，其与所述主体部和所述第3固定区域连接，所述第1连接区域包括：第1弯曲部分，所述第2连接区域包括：第2弯曲部分，所述第1弯曲部分具有所述可动部侧的第1外缘和与所述可动部为相反侧的第2外缘，所述第2弯曲部分具有所述可动部侧的第3外缘和与所述可动部为相反侧的第4外缘，所述第1外缘和所述第2外缘分别在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下向所述可动部侧弯曲，所述第3外缘和所述第4外缘分别在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下向所述可动部侧弯曲。2.如权利要求1所述的致动器装置，其中：所述第1连接区域还包括：从所述第1延伸部以直线状延伸的第1部分，所述第2连接区域还包括：从所述第2延伸部以直线状延伸的第2部分，所述第1部分与所述第1弯曲部分连接，所述第2部分与所述第2弯曲部分连接。3.如权利要求2所述的致动器装置，其中：所述第1连接区域还包括：从所述第1固定区域呈直线状延伸的第3部分，所述第2连接区域还包括：从所述第2固定区域呈直线状延伸的第4部分，所述第3部分具有与所述第1部分交叉的位置关系，且与所述第1弯曲部分连接，
所述第4部分具有与所述第2部分交叉的位置关系，且与所述第2弯曲部分连接。4.如权利要求3所述的致动器装置，其中：在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下，所述第3部分相对于所述主体部和所述可动部排列的方向所成的角度大于0度且为90度以下，在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下，所述第4部分相对于所述主体部和所述可动部排列的所述方向所成的角度大于0度且为90度以下。5.如权利要求1～4中任一项所述的致动器装置，其中：在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下，所述第1外缘和所述第2外缘分别以向与所述可动部为相反侧凸出的方式弯曲，在从所述金属基板的厚度方向观察的情况下，所述第3外缘和所述第4外缘分别以向与所述可动部为相反侧凸出的方式弯曲。6.如权利要求1～5中任一项所述的致动器装置，其中：所述第1固定区域和所述第2固定区域隔着在所述主体部和所述可动部排列的方向上相对于所述可动部位于与所述主体部为相反侧的区域而相互分离。7.如权利要求1～6中任一项所述的致动器装置，其中：所述金属基板还具有：第1中间部，其与所述第3固定区域和所述第1固定区域连接；和第2中间部，其与所述第3固定区域和所述第2固定区域连接。

技术总结

一种致动器装置。由配线基板支撑的金属基板具有可动部、第1延伸部、将第1延伸部与可动部连结的第1连结部、和与第1延伸部连接的第1连接部。第1连接部包括：固定于配线基板的第1固定区域；和与第1延伸部和第1固定区域连接的第1连接区域。第1连接区域包含第1弯曲部分。第1弯曲部分具有可动部侧的第1外缘和与可动部为相反侧的第2外缘，第1外缘和第2外缘分别在从Z轴方向观察的情况下向可动部侧弯曲。从Z轴方向观察的情况下向可动部侧弯曲。从Z轴方向观察的情况下向可动部侧弯曲。