一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体的制作方法

1.本发明属于电化学技术领域，具体涉及一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体。

背景技术：

2.阳极氧化，是一种金属或合金在相应的电解液和特定的工艺条件下，由于外加电流的作用，在其表面(阳极)上形成一层氧化膜的过程。金属氧化物薄膜改变了表面状态和性能，如表面着，提高耐腐蚀性、增强耐磨性及硬度，保护金属表面等。
3.电镀是指在含有欲镀金属的盐类溶液中，以被镀基体金属为阴极，通过电解作用，使镀液中欲镀金属的阳离子在基体金属表面沉积出来，形成镀层的一种表面加工方法。镀层性能不同于基体金属，具有新的特征。电镀是一种电化学过程，电镀的基本过程是将基体浸在金属盐的溶液中作为阴极，金属板作为阳极，接电源后，在零件上沉积出所需的镀层。
4.目前，单独用于阳极氧化或电镀的槽体有很多，但是晶圆级的既可用于阳极氧化又可用于电镀的槽体还没有。

技术实现要素：

5.针对现有技术中的上述不足，本发明提供一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体。
6.为了达到上述发明目的，本发明采用的技术方案为：
7.提供一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，包括开口朝上的容纳腔体，容纳腔体内竖向设有第一极板和第二极板，且第一极板和第二极板相对设置，第一极板和第二极板连接电源的正极和负极；
8.第一极板包括相连的第一面板和第二面板，第一面板上设有竖向滑槽，滑槽内设有金属板，金属板的上端伸出滑槽，第二面板上设有第一开口，露出部分金属板；
9.第二极板包括相连的第三面板和第四面板，第三面板上设有第二开口和与第二开相匹配的金属导电片，金属导电片的上端伸出第三面板，第四面板内设有凹槽，凹槽内可放置2-8英寸待氧化或金属电镀的晶圆片；第四面板上开设有与金属导电片相匹配的容纳槽，容纳槽与凹槽连通。
10.当第一极板中的金属板连接电源的负极，第二极板中的金属导电片连接电源的正极时，该槽体用于金属阳极氧化；
11.当第一极板中的金属板连接电源的正极，第二极板中的金属导电片连接电源的负极时，该槽体用于电镀金属。
12.进一步地：第一极板中的金属板为钛铂金或其它钛合金，第二极板中的金属导电片为表面镀金的钛金属或其它导电性好的金属，金属板和金属导电片均通过夹具及电源线连接电源正负极。
13.进一步地：第一面板和第二面板、第三面板和第四面板均通过螺丝相连。
14.进一步地：槽体内侧壁竖向设有两组插槽，两组插槽内分别设有第一极板和第二极板。
15.进一步地：槽体为亚克力玻璃板制成的槽体。
16.进一步地：晶圆片为2-8英寸表面金属待氧化或待电镀的晶圆片。
17.进一步地：该槽体用于金属阳极氧化时，可进行阳极氧化的金属包括al、nb和ti等。
18.进一步地：该槽体用于电镀金属时，可进行电镀的金属包括au、bi、cu等。
19.本发明的有益效果为：
20.本技术提供了一种既可用于金属阳极氧化又可用于电镀的槽体，该槽体适用于2-8英寸表面金属待氧化或电镀金属的晶圆片，其金属薄膜性能均匀稳定，重复性好。
附图说明
21.图1为本发明实施例提供的槽体整体结构示意图；
22.图2为本发明实施例1提供的槽体的第一极板结构示意图；
23.图3为本发明实施例1提供的槽体的第二极板结构示意图；
24.图4为本发明实施例2提供的槽体的第一极板结构示意图；
25.图5为本发明实施例2提供的槽体的第二极板结构示意图。
26.其中：1、容纳腔体；2、第一极板；3、第二极板；4、第一面板；5、第二面板；6、金属板；7、第一开口；8、第三面板；9、第四面板；10、第二开口；11、金属导电片；12、凹槽；13、容纳槽；14、滑槽；15、插槽。
具体实施方式
27.下面对本发明的具体实施方式进行描述，以便于本技术领域的技术人员理解本发明，但应该清楚，本发明不限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本发明的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本发明构思的发明创造均在保护之列。
28.实施例1
29.一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，包括开口朝上的容纳腔体1，在本实施例中，容纳腔体1为亚克力玻璃板制成的方形槽体。容纳腔体1内侧壁竖向设有两组插槽15，两组插槽15内分别设有第一极板2和第二极板3，且第一极板2和第二极板3相对设置，第一极板2和第二极板3均通过夹具及电源线连接电源的正极或负极。
30.具体地说，第一极板2包括第一面板4和第二面板5，第一面板4上设有竖向滑槽14，滑槽14内设有金属板6，金属板6的上端伸出滑槽14，第一面板4和第二面板5通过螺丝相连，第二面板5上设有第一开口7，露出部分金属板6，在本实施例中，第一开口7为方形。
31.第二极板3包括第三面板8和第四面板9，第三面板8上设有第二开口10和与第二开口10相匹配的金属导电片11，金属导电片11的上端伸出第三面板8，第四面板9内设有凹槽12，凹槽12内设有晶圆片，优选的，晶圆片为2-8英寸表面金属待氧化或电镀的晶圆片。第三面板8和第四面板9通过螺丝相连，且第四面板9上开设有与金属导电片11相匹配的容纳槽13，容纳槽13与凹槽12连通。在本实施例中，第二开口10为方形，相应的，金属导电片11的下端为方形。
32.当第一极板2中的金属板6连接电源的负极，第二极板3中的金属导电片11连接电
源的正极时，在第四面板9的凹槽12放入待氧化的晶圆片，该槽体可用于金属阳极氧化；在槽体1内配制溶液，通过电源控制系统输入设定的电流即可进行阳极氧化。可进行阳极氧化的金属包括al、nb和ti等。
33.当第一极板2中的金属板6连接电源的正极，第二极板3中的金属导电片11连接电源的负极时，在第四面板9的凹槽12放入待电镀金属的晶圆片，该槽体可用于电镀金属。在槽体1内配制电镀溶液，通过电源控制系统输入设定的电流即可进行金属电镀。可电镀的金属包括au、bi、cu等。
34.实施例2
35.在本实施例中，第一开口7、第二开口10均为圆形，相应的，金属导电片11的下端为圆形。其它结构均与实施例1一样。
36.本技术提供了一种既可用于金属阳极氧化又可用于电镀的槽体，该槽体适用于2-8英寸表面金属待氧化或电镀金属的晶圆片，其金属薄膜性能均匀稳定，重复性好。
37.于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
38.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：包括开口朝上的容纳腔体(1)，所述容纳腔体(1)内竖向设有第一极板(2)和第二极板(3)，所述第一极板(2)和第二极板(3)连接电源的正极和负极；所述第一极板(2)包括相连的第一面板(4)和第二面板(5)，所述第一面板(4)上设有竖向滑槽(14)，所述滑槽(14)内设有金属板(6)，所述金属板(6)的上端伸出滑槽(14)，所述第二面板(5)上设有第一开口(7)，露出部分金属板(6)；所述第二极板(3)包括相连的第三面板(8)和第四面板(9)，所述第三面板(8)上设有第二开口(10)和与第二开口(10)相匹配的金属导电片(11)，所述金属导电片(11)的上端伸出第三面板(8)，所述第四面板(9)内设有凹槽(12)，所述凹槽(12)内设有待氧化或金属电镀的晶圆片；所述第四面板(9)上开设有与金属导电片(11)相匹配的容纳槽(13)，所述容纳槽(13)与凹槽(12)连通；当第一极板(2)中的金属板(6)连接电源的负极，第二极板(3)中的金属导电片(11)连接电源的正极时，该槽体用于金属阳极氧化；当第一极板(2)中的金属板(6)连接电源的正极，第二极板(3)中的金属导电片(11)连接电源的负极时，该槽体用于电镀金属。2.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：所述金属板(6)为钛铂金制成的金属板，金属导电片(11)为表面镀金的钛金属制成的导电片，金属板(6)和金属导电片(11)均通过夹具及电源线连接电源正负极。3.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：所述第一面板(4)和第二面板(5)、第三面板(8)和第四面板(9)均通过螺丝相连。4.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：所述槽体(1)内侧壁竖向设有两组插槽(15)，两组插槽(15)内分别设有第一极板(2)和第二极板(3)。5.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：所述槽体(1)为亚克力玻璃板制成的槽体。6.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：所述晶圆片为2-8英寸表面金属待氧化或待电镀的晶圆片。7.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：该槽体用于金属阳极氧化时，进行阳极氧化的金属包括al、nb、ti。8.根据权利要求1所述的一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，其特征在于：该槽体用于电镀金属时，进行电镀的金属包括au、bi、cu。

技术总结

本发明公开了一种用于金属阳极氧化及电镀的槽体，包括开口朝上的容纳腔体，容纳腔体内竖向设有第一极板和第二极板，第一极板和第二极板连接电源的正极和负极；当第一极板中的金属板连接电源的负极，第二极板中的金属导电片连接电源的正极时，该槽体用于金属阳极氧化；当第一极板中的金属板连接电源的正极，第二极板中的金属导电片连接电源的负极时，该槽体用于电镀金属。本申请提供了一种既可用于金属阳极氧化又可用于电镀的槽体，该槽体适用于2-8英寸表面金属待氧化或电镀金属的晶圆片，其金属薄膜性能均匀稳定，重复性好。重复性好。重复性好。