一种准垂直结构GaN肖特基二极管及其制备方法与流程

一种准垂直结构gan肖特基二极管及其制备方法
技术领域
1.本发明涉及肖特基二极管技术领域，尤其涉及一种准垂直结构gan肖特基二极管及其制备方法。

背景技术：

2.gan是宽禁带半导体材料的一种，由于优良的电学特性。它具有大的禁带宽度，能够达到高的击穿电场强度，高的热导率，强的抗腐蚀能力和强的抗辐照能力等得天独厚的优势，使其在功率电子器件等方面的性能远远超过以si材料为代表的第一代及以gaas为代表的第二代半导体材料。
3.准垂直结构gan sbd（肖特基二极管）成本低、导通电阻小，但反向耐压较小，如何增加准垂直器件的耐压是业界的研究课题。准垂直结构的常规gan sbd如图1所示，用mocvd设备在衬底上依次生长重掺杂的n型gan（n+gan）和轻掺杂的n型gan（n-gan），然后制作肖特基电极和欧姆电极。为了提升器件的反向耐压，有人提出在结边缘处制作保护环，可以减弱结周围的边缘电场，如图2所示。在n-gan的两边开出凹槽，然后填充p型gan(p-gan)，利用p-gan与n-gan之间的耗尽作用，减小了肖特基结的边缘电场，提升了耐压。但是这种方式无法产业化，因为n-gan两边开出凹槽后，需要将晶圆重新放入mocvd设备中，重新生长p-gan。对mocvd来讲，重新生长p-gan是难以实现的，因为n-gan生长完，拿出mocvd后，其表面接触空气后会发生变化，即使用最优的化学处理方式，也不能使表面回到原始的状态。最终制作的器件，由于n-gan和p-gan的界面质量很差，达不到提升耐压的要求。

技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种准垂直结构gan肖特基二极管及其制备方法，既能实现降低肖特基结边缘电场的作用，又能保证肖特基结的质量，所制作的gan sbd工艺简单，反向耐压高，具有很好的产业化前景。
5.为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：
6.本发明提供了一种准垂直结构gan肖特基二极管的制备方法，包括以下步骤：将衬底放入mocvd设备中，在所述衬底上依次外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层；
7.在需要制作肖特基接触的区域，刻蚀p-gan直至暴露出n-gan表面，其他区域的p-gan保留，形成刻蚀凹槽和p-gan台面；
8.采用原子层沉积设备在所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽沉积aln薄膜；所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽相连；所述aln薄膜的厚度在4nm以内；
9.在需要制作欧姆接触的区域，刻蚀p-gan层及n-gan层，直至暴露出n+gan层为止；
10.在暴露出n+gan层的位置制作欧姆电极，在所述aln薄膜表面制作肖特基电极，所述aln薄膜将p-gan和n-gan与肖特基电极隔开，得到准垂直结构gan肖特基二极管。
11.优选的，所述衬底为蓝宝石衬底。
12.优选的，所述aln薄膜中al和n的原子比为1:1。
13.本发明提供了上述方案所述制备方法制备得到的准垂直结构gan肖特基二极管。
14.本发明提供了一种准垂直结构gan肖特基二极管的制备方法，包括以下步骤：将衬底放入mocvd设备中，在所述衬底上依次外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层；在需要制作肖特基接触的区域，刻蚀p-gan直至暴露出n-gan表面，其他区域的p-gan保留，形成刻蚀凹槽和p-gan台面；采用原子层沉积设备在所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽沉积aln薄膜；所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽相连；所述aln薄膜的厚度在4nm以内；在需要制作欧姆接触的区域，刻蚀p-gan层及n-gan层，直至暴露出n+gan层为止；在暴露出n+gan层的位置制作欧姆电极，在所述aln薄膜表面制作肖特基电极，所述aln薄膜将p-gan和n-gan与肖特基电极隔开，得到准垂直结构gan肖特基二极管。
15.本发明采用一次性生长p-gan的方式，可以实现产业化。在p-gan刻蚀过程，n-gan暴露出来的表面会受到刻蚀损伤，导致其与后续的肖特基金属接触的界面质量变差，从而会导致器件的反向漏电增加，反向耐压降低，本发明通过覆盖一层薄的aln薄膜，由于ald沉积（原子层沉积）的aln具有晶体结构，与gan的晶格常数能较好地匹配，因此可以修复刻蚀后n-gan表面的刻蚀损伤。本发明将aln薄膜的厚度控制在4nm以内，薄的aln层在器件加正向电压时，电子会通过隧穿的方式从n-gan进入到肖特基电极，形成电流，从而不影响开启电压。
附图说明
16.图1为准垂直结构的常规gan肖特基二极管的结构示意图；
17.图2为背景技术中提及的在结边缘处制作保护环的gan肖特基二极管的结构示意图；
18.图3为在衬底上依次外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层后晶圆的结构示意图；
19.图4为形成刻蚀凹槽和p-gan台面后晶圆的结构示意图；
20.图5为沉积aln薄膜后晶圆的结构示意图；
21.图6为刻蚀p-gan层及n-gan层后晶圆的结构示意图；
22.图7为本发明制备的准垂直结构gan肖特基二极管的结构示意图；
23.图1-图7中：1-衬底、2
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n+gan层、3
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n-gan层、4-肖特基电极、5-欧姆电极、6
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p-gan层、7-aln薄膜。
具体实施方式
24.本发明提供了一种准垂直结构gan肖特基二极管的制备方法，包括以下步骤：将衬底放入mocvd设备中，在所述衬底上依次外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层；
25.在需要制作肖特基接触的区域，刻蚀p-gan直至暴露出n-gan表面，其他区域的p-gan保留，形成刻蚀凹槽和p-gan台面；
26.采用原子层沉积设备在所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽沉积aln薄膜；所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽相连；所述aln薄膜的厚度在4nm以内；
27.在需要制作欧姆接触的区域，刻蚀p-gan层及n-gan层，直至暴露出n+gan层为止；
28.在暴露出n+gan层的位置制作欧姆电极，在所述aln薄膜表面制作肖特基电极，所述aln薄膜将p-gan和n-gan与肖特基电极隔开，得到准垂直结构gan肖特基二极管。
29.本发明将衬底放入mocvd设备中，在所述衬底上依次外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层，如图3所示。
30.在本发明中，所述衬底优选为蓝宝石衬底。本发明对所述外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层的条件没有特殊要求，采用本领域熟知的生长条件即可。本发明对n+gan层、n-gan层和p-gan层的厚度没有特殊要求，本领域熟知的厚度均可。在本发明的实施例中，所述n+gan层的厚度具体为3μm；所述n-gan层的厚度具体为6μm；所述p-gan层的厚度具体为100nm。
31.形成p-gan层后，本发明在需要制作肖特基接触的区域，刻蚀p-gan直至暴露出n-gan表面，其他区域的p-gan保留，形成刻蚀凹槽和p-gan台面，如图4所示。
32.本发明对所述刻蚀p-gan的实施方式没有特殊要求，采用本领域熟知刻蚀方式即可。在本发明中，所述刻蚀凹槽的尺寸优选小于欧姆电极的尺寸。
33.形成刻蚀凹槽和p-gan台面后，本发明采用原子层沉积设备在所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽沉积aln薄膜；所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽相连；所述aln薄膜的厚度在4nm以内，如图5所示。
34.本发明采用原子层沉积的方法沉积aln薄膜，使得aln具有晶体结构，与gan的晶格常数能较好地匹配，因此可以修复刻蚀后n-gan表面的刻蚀损伤。
35.在本发明中，所述aln薄膜的厚度优选为1~4nm，更优选为2~3nm。本发明将aln薄膜的厚度控制在上述范围，一方面可以防止aln太厚导致晶体结构发生变形，向非晶方向转变；另一方面，如果aln太厚的话，会增加器件的正向开启电压。薄的aln层在器件加正向电压时，电子会通过隧穿的方式从n-gan进入到肖特基电极，形成电流，从而不影响开启电压。
36.在本发明中，所述aln薄膜中al和n的原子比优选为1:1。
37.本发明在需要制作欧姆接触的区域，刻蚀p-gan层及n-gan层，直至暴露出n+gan层为止，如图6所示。
38.本发明对刻蚀p-gan层及n-gan层的过程没有特殊要求，采用本领域熟知的刻蚀过程即可。
39.暴露出n+gan层后，本发明在暴露出n+gan层的位置制作欧姆电极，在所述aln薄膜表面制作肖特基电极，所述aln薄膜将p-gan和n-gan与肖特基电极隔开，得到准垂直结构gan肖特基二极管，如图7所示。
40.本发明对所述欧姆电极和肖特基电极的制备过程没有特殊要求，采用本领域熟知的制备过程即可。
41.在本发明中，所述aln薄膜的表面与肖特基电极的底面相匹配。
42.本发明提供了上述方案所述制备方法制备得到的准垂直结构gan肖特基二极管。本发明的准垂直结构gan肖特基二极管既能实现降低肖特基结边缘电场的作用，又能保证肖特基结的质量。
43.下面结合实施例对本发明提供的准垂直结构gan肖特基二极管及其制备方法进行详细的说明，但是不能把它们理解为对本发明保护范围的限定。
44.实施例1
45.将衬底放入mocvd设备中，在所述衬底上依次外延生长n+gan层（厚度为3μm，具体为n型掺杂gan，掺杂浓度为1
×
10
19
/cm3）、n-gan层（厚度为6μm，具体为n型掺杂gan，掺杂浓
度为1
×
10
16
/cm3）和p-gan层（厚度为100nm，具体为p型掺杂gan，掺杂浓度为4
×
10
17
/cm3）；
46.在需要制作肖特基接触的区域，刻蚀p-gan直至暴露出n-gan表面，其他区域的p-gan保留，形成刻蚀凹槽和p-gan台面；
47.采用原子层沉积设备在所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽沉积aln薄膜；所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽相连；所述aln薄膜的厚度为2nm；
48.在需要制作欧姆接触的区域，刻蚀p-gan层及n-gan层，直至暴露出n+gan层为止；
49.在暴露出n+gan层的位置制作欧姆电极（具体为ti/al），在所述aln薄膜表面制作肖特基电极（具体为ni/au），所述aln薄膜将p-gan和n-gan与肖特基电极隔开，得到准垂直结构gan肖特基二极管。
50.本发明制备的准垂直结构gan肖特基二极管既实现了降低肖特基结边缘电场的作用，又能保证肖特基结的质量，所制作的gan sbd工艺简单，反向耐压高，具有很好的产业化前景。
51.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

技术特征：

1.一种准垂直结构gan肖特基二极管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将衬底放入mocvd设备中，在所述衬底上依次外延生长n+gan层、n-gan层和p-gan层；在需要制作肖特基接触的区域，刻蚀p-gan直至暴露出n-gan表面，其他区域的p-gan保留，形成刻蚀凹槽和p-gan台面；采用原子层沉积设备在所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽沉积aln薄膜；所述p-gan台面的部分区域和所述刻蚀凹槽相连；所述aln薄膜的厚度在4nm以内；在需要制作欧姆接触的区域，刻蚀p-gan层及n-gan层，直至暴露出n+gan层为止；在暴露出n+gan层的位置制作欧姆电极，在所述aln薄膜表面制作肖特基电极，所述aln薄膜将p-gan和n-gan与肖特基电极隔开，得到准垂直结构gan肖特基二极管。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述衬底为蓝宝石衬底。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述aln薄膜中al和n的原子比为1:1。4.权利要求1~3任一项所述制备方法制备得到的准垂直结构gan肖特基二极管。

技术总结

本发明提供了一种准垂直结构GaN肖特基二极管的制备方法，涉及肖特基二极管技术领域。本发明采用一次性生长P-GaN的方式，可以实现产业化。在P-GaN刻蚀过程，N-GaN暴露出来的表面会受到刻蚀损伤，导致其与后续的肖特基金属接触的界面质量变差，从而会导致器件的反向漏电增加，反向耐压降低，本发明通过覆盖一层薄的AlN薄膜，由于ALD沉积（原子层沉积）的AlN具有晶体结构，与GaN的晶格常数能较好地匹配，因此可以修复刻蚀后N-GaN表面的刻蚀损伤。本发明将AlN薄膜的厚度控制在4nm以内，薄的AlN层在器件加正向电压时，电子会通过隧穿的方式从N-GaN进入到肖特基电极，形成电流，从而不影响开启电压。开启电压。开启电压。