一种晶棒定位工装的制作方法

1.本实用新型涉及蓝宝石切片粘接技术领域，特别涉及一种晶棒定位工装。

背景技术：

2.蓝宝石衬底片是加工蓝光二极管的重要材料，在半导体领域具有举足轻重的地位，蓝宝石衬底片是通过金刚线切割工艺，将蓝宝石晶棒切割成片状的片，在切割前，晶棒需粘结树脂或玻璃垫条，一般每个料板需要粘结3-5根晶棒，每根晶棒均需按照不同晶棒长度来截取对应长度的树脂条，树脂条主要使用切割机切割，首先用铅笔划线对应长度，使用切割机进行切割，然后独立与对应垫条粘结。
3.现有技术中，在粘接时，垫条需要用普通纸板间隔调整摆放在普通工作台上，然后将晶棒粘接在纸板间隔的垫条上，胶水固化时间在5min左右，在没有精准定位治具的情况下，会出现晶棒粘接倾斜与垫条不平行的情况，当晶棒倾斜大于垫条中心线5mm时，在后续线切割工艺会造成晶棒切割后掉片崩角的情况，而现有的这种靠纸板辅助定位粘接的方式会出现5％-9％的返工率，为了提高蓝宝石衬底片的生产效率，需要进一步提高晶棒粘接的产品合格率。

技术实现要素：

4.基于此，本实用新型的目的是提供一种晶棒定位工装，旨在解决现有技术中的晶棒在与垫条粘接时会出现晶棒与垫条不平行，导致晶棒粘接需要返工的问题。
5.本实用新型提出的晶棒定位工装，包括工作台，设置在所述工作台上的定位组件和安装组件；所述定位组件包括定位座和料板，所述定位座上设有与所述料板外轮廓适配的定位槽，所述料板顶部至少部分突出所述定位槽用于放置垫条；所述安装组件包括设置在所述定位座一侧的安装座，和固定在所述安装座上的安装器，所述安装器底部设有夹具以使晶棒悬置在所述垫条的正上方；所述安装器使所述夹具上下移动，以使所述晶棒胶粘在所述垫条上。
6.上述晶棒定位工装，通过将定位组件中的料板与定位座的配合，使得料板上的垫条准确的固定在特定位置，再通过安装器的夹具对晶棒进行夹紧并定位使得晶棒悬置在垫条的正上方，然后启动安装器，使得安装器向下移动将晶棒压紧在垫条上，然后松开夹具，完成晶棒与垫条之间的粘接。由于晶棒通过安装器的夹具进行夹紧固定的，所以晶棒的位置一定处于料板顶部的正中间；垫条设置在料板顶部，通过将料板顶部的尺寸进行限定，使得垫条只要不超出料板顶部就不会与晶棒的轴线偏移超过5mm，从而完美解决晶棒粘接返工的问题。因此本实用新型解决了现有技术中的晶棒在与垫条粘接时会出现晶棒与垫条不平行，导致晶棒粘接需要返工的问题。
7.另外，根据本实用新型提出的晶棒定位工装，还可以具有如下的附加技术特征：
8.优选地，所述料板包括用于放置垫条的顶部，与所述定位槽适配的底部，以及连接所述顶部和所述底部的连接部，所述连接部侧面与所述定位槽贴靠，所述底部的顶面和侧
面与所述定位槽贴靠。
9.优选地，所述工作台上还设有用于将所述垫条压紧在所述料板上的压紧组件，所述压紧组件包括固定板，设置在所述固定板上的侧座，以及设置在所述侧座上的快速压紧器。
10.优选地，所述固定板上设有定位凸台，所述料板底部开设有与所述定位凸台适配的凹槽。
11.优选地，所述定位工装还包括螺杆，所述侧座侧面设有与所述螺杆适配螺纹孔，所述螺杆设于所述螺纹孔内且至少部分突出所述螺纹孔，构成辅助定位柱；所述辅助定位柱用于辅助所述垫条准确固定在所述料板上。
12.优选地，多个所述螺纹孔沿所述侧座长度方向等距分布在所述侧座上。
13.优选地，多个所述快速压紧器沿所述侧座长度方向等距分布在所述侧座顶部。
14.优选地，所述料板一端设有辅助定位板，所述辅助定位板至少部分突出所述料板端面。
15.优选地，所述辅助定位板上设有把手。
附图说明
16.图1为本实用新型一实施例中提出的晶棒定位工装的结构示意图；
17.图2为本实用新型一实施例中提出的料板装配在压紧组件上的装配示意图；
18.图3为本实用新型一实施例中提出的压紧组件上的结构示意图；
19.图4为本实用新型一实施例中提出的料板的主视图；
20.主要元件符号说明：
21.[0022][0023]
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
[0024]
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
[0025]
需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0026]
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0027]
请参阅图1至4，所示为本实用新型一实施例中的晶棒定位工装，包括工作台10，设置在工作台10上的定位组件20和安装组件30；其中：
[0028]
定位组件20包括定位座21和料板22，定位座21上设有与料板22外轮廓适配的定位槽211，料板22顶部至少部分突出定位槽211用于放置垫条40；安装组件30包括设置在定位座21一侧的安装座31，和固定在安装座31上的安装器32，安装器32底部设有夹具33以使晶棒50悬置在垫条40的正上方；安装器32使夹具33上下移动，以使晶棒50胶粘在垫条40上。
[0029]
可以理解的，通过将定位组件20中的料板22与定位座21的配合，使得料板22上的垫条40准确的固定在特定位置，再通过安装器32的夹具33对晶棒 50进行夹紧并定位使得晶棒50悬置在垫条40的正上方，然后启动安装器32，使得安装器32向下移动将晶棒50压紧
在垫条40上，然后松开夹具33，完成晶棒50与垫条40之间的粘接。由于晶棒50通过安装器32的夹具33进行夹紧固定的，所以晶棒50的位置一定处于料板22顶部的正中间；垫条40设置在料板 22顶部，通过将料板22顶部的尺寸进行限定，使得垫条40只要不超出料板22 顶部就不会与晶棒50的轴线偏移超过5mm，从而完美解决晶棒50粘接返工的问题。因此本实用新型解决了现有技术中的晶棒50在与垫条40粘接时会出现晶棒50与垫条40不平行，导致晶棒50粘接需要返工的问题。
[0030]
需要说明的，在具体实施时，可以在料板22顶部设置刻线，使得垫条40 位于料板22顶部的位置更加准确；此外，安装器32为现有的夹紧下压装置，安装器32通过导线与电源连通，并通过控制按键或控制器，控制安装器32的夹具33的夹持和升降功能；具体的，在一些可选的实施例中，安装器32通过伺服电机控制丝杆上升下降，以每秒0.5mm速度下降至接触底部树脂版涂胶层产生10n压力缓慢下降，以每秒0.2mm速度下降，下降压力达到25n时停机下降；安装器32开合通过气缸装载实现锁紧，将蓝宝石晶棒放置未涂胶树脂版上，安装器32下降过程中左右丝杆松开直径达到130mm，安装器下降到感应器接触到蓝宝石晶棒产生10n压力停止下降，左右丝杆进行闭合产生25n压力闭合完成。垫条通常采用树脂垫条或玻璃垫条。
[0031]
示例而非限定的，在一些可选的实施例中，料板22包括用于放置垫条40 的顶部221，与定位槽211适配的底部222，以及连接顶部221和底部222的连接部223，连接部223侧面与定位槽211贴靠，底部222的顶面和侧面与定位槽 211贴靠。料板22呈台阶状的，料板22的底部222与定位槽211配合用于对料板22进行定位，连接部223与定位槽211配合起到导向作用，并使顶部221突出定位槽211，使得垫条40便于与晶棒50胶粘。
[0032]
另外的，工作台10上还设有用于将垫条40压紧在料板22上的压紧组件60，压紧组件60包括固定板61，设置在固定板61上的侧座62，以及设置在侧座62 上的快速压紧器63。具体的，将料板22设置在固定板61上侧座62的一侧，使得快速压紧器63可以对料板22顶部的垫条40进行压紧，从而减少垫条40与料板22之间的气泡，保证垫条40与料板22之间的粘接效果。此外，快速压紧器63为常见夹具具体的可以采用“大力士”垂直式快速夹具。
[0033]
具体的，固定板61上设有定位凸台611，料板22底部开设有与定位凸台 611适配的凹槽224。通过定位凸台611与凹槽224的配合，使得料板22固定在固定板61的特定位置，从而使得快速压紧器63可以准确的对垫条40进行压紧。
[0034]
具体的，晶棒定位工装还包括螺杆70，侧座62侧面设有与螺杆70适配螺纹孔621，螺杆70设于螺纹孔621内且至少部分突出螺纹孔621，构成辅助定位柱；辅助定位柱用于辅助垫条40准确固定在料板50上。在实际使用过程中，将料板22固定在固定板61的指定位置上后，工作人员通过将垫条40侧面贴靠螺杆70端头放置在料板22顶部，使得垫条40在料板22上的位置更加笔直准确。
[0035]
进一步的，多个螺纹孔621沿侧座62长度方向等距分布在侧座62上。通过多个等距分布的螺纹孔621以及设置在螺纹孔621内的螺杆70，使得垫条40 长度方向上各个位置均有定位参照，从而使得垫条40设置的位置更加准确。更进一步的，多个快速压紧器63沿侧座62长度方向等距分布在侧座62顶部。多个快速压紧器对垫条进行挤压压紧，使得垫条与料板之间没有气泡，两者之间胶粘得更加牢固。
[0036]
另外的，料板22一端设有辅助定位板80，辅助定位板80至少部分突出料板22端面。
具体的，料板22安装在定位座21上时，料板22顺着定位槽211，向定位槽211内滑动；当辅助定位板80与定位座21端面贴靠时，料板22移动到定位座21的准确位置上。此外，辅助定位板80上设有把手90。便于工作人员搬运或转移料板22。
[0037]
综上所述，本实用新型上述实施例当中的晶棒定位工装，通过将定位组件 20中的料板22与定位座21的配合，使得料板22上的垫条40准确的固定在特定位置，再通过安装器32的夹具33对晶棒50进行夹紧并定位使得晶棒50悬置在垫条40的正上方，然后启动安装器32，使得安装器32向下移动将晶棒50 压紧在垫条40上，然后松开夹具33，完成晶棒50与垫条40之间的粘接。由于晶棒50通过安装器32的夹具33进行夹紧固定的，所以晶棒50的位置一定处于料板22顶部的正中间；垫条40设置在料板22顶部，通过将料板22顶部的尺寸进行限定，使得垫条40只要不超出料板22顶部就不会与晶棒50的轴线偏移超过5mm，从而完美解决晶棒50粘接返工的问题。因此本实用新型解决了现有技术中的晶棒50在与垫条40粘接时会出现晶棒50与垫条40不平行，导致晶棒50粘接需要返工的问题。
[0038]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0039]
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：

1.一种晶棒定位工装，其特征在于，包括工作台，设置在所述工作台上的定位组件和安装组件；所述定位组件包括定位座和料板，所述定位座上设有与所述料板外轮廓适配的定位槽，所述料板顶部至少部分突出所述定位槽用于放置垫条；所述安装组件包括设置在所述定位座一侧的安装座，和固定在所述安装座上的安装器，所述安装器底部设有夹具以使晶棒悬置在所述垫条的正上方；所述安装器使所述夹具上下移动，以使所述晶棒胶粘在所述垫条上。2.根据权利要求1所述的晶棒定位工装，其特征在于，所述料板包括用于放置垫条的顶部，与所述定位槽适配的底部，以及连接所述顶部和所述底部的连接部，所述连接部侧面与所述定位槽贴靠，所述底部的顶面和侧面与所述定位槽贴靠。3.根据权利要求1所述的晶棒定位工装，其特征在于，所述工作台上还设有用于将所述垫条压紧在所述料板上的压紧组件，所述压紧组件包括固定板，设置在所述固定板上的侧座，以及设置在所述侧座上的快速压紧器。4.根据权利要求3所述的晶棒定位工装，其特征在于，所述固定板上设有定位凸台，所述料板底部开设有与所述定位凸台适配的凹槽。5.根据权利要求3所述的晶棒定位工装，其特征在于，所述晶棒定位工装还包括螺杆，所述侧座侧面设有与所述螺杆适配螺纹孔，所述螺杆设于所述螺纹孔内且至少部分突出所述螺纹孔，构成辅助定位柱；所述辅助定位柱用于辅助所述垫条准确固定在所述料板上。6.根据权利要求5所述的晶棒定位工装，其特征在于，多个所述螺纹孔沿所述侧座长度方向等距分布在所述侧座上。7.根据权利要求3所述的晶棒定位工装，其特征在于，多个所述快速压紧器沿所述侧座长度方向等距分布在所述侧座顶部。8.根据权利要求1所述的晶棒定位工装，其特征在于，所述料板一端设有辅助定位板，所述辅助定位板至少部分突出所述料板端面。9.根据权利要求8所述的晶棒定位工装，其特征在于，所述辅助定位板上设有把手。

技术总结

本实用新型提供一种晶棒定位工装，该晶棒定位工装包括工作台，设置在所述工作台上的定位组件和安装组件；所述定位组件包括定位座和料板，所述定位座上设有与所述料板外轮廓适配的定位槽，所述料板顶部至少部分突出所述定位槽用于放置垫条；所述安装组件包括设置在所述定位座一侧的安装座，和固定在所述安装座上的安装器，所述安装器底部设有夹具以使所述晶棒悬置在所述垫条的正上方；所述安装器使所述夹具上下移动，以使所述晶棒胶粘在所述垫条上。本实用新型中的晶棒定位工装，解决了现有技术中的晶棒在与垫条粘接时会出现晶棒与垫条不平行，导致晶棒粘接需要返工的问题。导致晶棒粘接需要返工的问题。导致晶棒粘接需要返工的问题。