一种水冷臭氧发生器的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体为一种水冷臭氧发生器。

背景技术：

2.多晶硅生产过程中，需要使用到臭氧作为氧化原料进行加工，而臭氧由于易分解，因此需要在加工场地中进行临时制备，所以需要用到相应的臭氧发生器，其中水冷式的臭氧发生器最为常见。根据现有技术如中国专利文件cn202022320491.1所述的一种壁挂式水冷臭氧发生器，所公开的技术方案，其通过对臭氧发生器进行快速拆卸和安装，可以大大提高对臭氧发生器检修时的速度，节省时间，减少工作量提高工作效率，同时进行臭氧制备时，此时通过进液管和出液管可以将冷却水输送至臭氧发生器外壳的内部，可以使得臭氧发生器本体内部的温度较低，防止臭氧的分解，大大提高臭氧的制备效率。
3.根据其公开的技术方案来看，现有技术中直接通过将冷却液统一排放到放电室的外侧进行冷却散热处理，但是由于冷却液注入到内部后的流动状态不可控，因此冷却液与放电室表面的接触区域也难以控制，该状态下会导致部分放电室无法直接与冷却液接触的位置，散热效果不佳，进而使放电室不同位置的温度产生差异，另一方面，常规的臭氧发生器通过持续排出的方式输送臭氧，该方案无法对臭氧的排出浓度进行调节和控制。

技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种水冷臭氧发生器，以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型提高了放电室部分的散热效果以及均匀性，能够控制生产臭氧的具体浓度，且提供了暂时存储的功能。
5.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，所述发生器本体包括外壳、放电室、排出组件和冷却罐，所述外壳的顶部设置有进气管道，所述外壳的侧边连接有进水管道和出水管道，所述出水管道的另一端与冷却罐相连通，所述进水管道的另一端设置有水泵，所述水泵和冷却罐的顶部相连接，所述放电室设置在外壳的内部，所述外壳的底端安装有排出组件，所述排出组件的中间安装有连通组件。
6.进一步的，所述排出组件包括缓存罐和电动推杆，所述缓存罐的底端安装有连通组件，所述缓存罐的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的顶部安装有活塞板。
7.进一步的，所述连通组件的底端安装有导出通道，所述导出通道的底端连接有出气管道，所述出气管道的表面安装有电磁阀，所述导出通道整体呈倒锥形结构。
8.进一步的，所述活塞板的侧边贴装有密封层，所述活塞板的表面开设有通气孔，所述活塞板通过侧边的密封层与缓存罐的内壁相贴合，所述缓存罐的内部通过顶部的管道结构与外壳的内部空间相连通。
9.进一步的，所述连通组件的内侧设置有进气口，所述连通组件的底端设置有出气口，所述连通组件的底部设置有底板。
10.进一步的，所述电动推杆的底端安装有固定板，所述固定板通过使用螺丝固定安装在底板的表面，所述连通组件内侧位于底板上方的空间与缓存罐的内部相连通，所述连通组件内部处于底板下方的空间与导出通道的内部相连通。
11.进一步的，所述外壳的内侧设置有多个隔板，每个所述隔板之间均设置有冷却夹层，所述进水管道和出水管道插入到外壳内部的一端均安装有环形管道，所述环形管道表面的开口分别与每个冷却夹层部分相连通。
12.进一步的，所述隔板的两端分别与外壳的内壁、放电室的表面焊接为整体，所述冷却夹层内部的空间与排出组件的内部空间相隔开。
13.本实用新型的有益效果：本实用新型的一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，所述发生器本体包括外壳、进气管道、排出组件、电磁阀、出气管道、冷却罐、水泵、进水管道、出水管道、缓存罐、电动推杆、固定板、活塞板、密封层、通气孔、连通组件、导出通道、进气口、出气口、底板、放电室、隔板、冷却夹层、环形管道。
14.1.该水冷臭氧发生器通过在放电室的内侧设置有环形管道，将环形管道分别与每个冷却夹层的内部相连通，即可将外部的冷却液均匀的输送到每个冷却夹层的内部，避免不同位置温度差异过大的情况。
15.2.该水冷臭氧发生器在放电室的底部设置与排出组件，通过该组件内部的缓存罐即可将制造的臭氧进行暂时存储，并在存储的过程中始终与顶部臭氧发生空间保持连通，通过该结构能够控制臭氧的浓度。
16.3.该水冷臭氧发生器通过缓存罐内部的电动推杆即可周期性的将缓存的臭氧向外统一排出，并在将该部分臭氧向外排出的过程中自动将外部的氧气抽入到内部，简化了结构，自动化程度更高。
附图说明
17.图1为本实用新型一种水冷臭氧发生器的外形的结构示意图；
18.图2为本实用新型一种水冷臭氧发生器排出组件内部的结构示意图；
19.图3为本实用新型一种水冷臭氧发生器连通组件部分的结构示意图；
20.图4为本实用新型一种水冷臭氧发生器外壳内部的剖面图；
21.图中：1、外壳；2、进气管道；3、排出组件；4、电磁阀；5、出气管道；6、冷却罐；7、水泵；8、进水管道；9、出水管道；10、缓存罐；11、电动推杆；12、固定板；13、活塞板；14、密封层；15、通气孔；16、连通组件；17、导出通道；18、进气口；19、出气口；20、底板；21、放电室；22、隔板；23、冷却夹层；24、环形管道。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，所述发生器本体包括外壳1、放电室21、排出组件3和冷却罐6，所述外壳1的顶部设置有进气管道2，所述外壳1的侧边连接有进水管道8和出水管道9，所述出水管道9的另一端与冷却罐6相连通，所述进水管道8的另一端设置有水泵7，所述水泵7和冷却罐6的顶部相连
接，所述放电室21设置在外壳1的内部，所述外壳1的底端安装有排出组件3，所述排出组件3的中间安装有连通组件16，该水冷臭氧发生器通过外壳1顶部的进气管道2将外部的供氧设备与该水冷臭氧发生器进行连接，并持续将氧气输送到外壳1的内侧，通过内部的放电室21产生高压电流后，即可将输送到内部的氧气进行转换成臭氧气体，然后积存在底部的排出组件3中，通过控制末端出气管道5上的电磁阀4，即可实现对排出组件3内生成的臭氧仅排出使用，同时通过水泵7驱动整个冷却系统，将冷却罐6内部的冷却液输送到外壳1的内部对放电室21的表面进行散热处理。
24.本实施例，所述排出组件3包括缓存罐10和电动推杆11，所述缓存罐10的底端安装有连通组件16，所述缓存罐10的的内部设置有电动推杆11，所述电动推杆11的顶部安装有活塞板13，所述连通组件16的底端安装有导出通道17，所述导出通道17的底端连接有出气管道5，所述出气管道5的表面安装有电磁阀4，所述导出通道17整体呈倒锥形结构，所述活塞板13的侧边贴装有密封层14，所述活塞板13的表面开设有通气孔15，所述活塞板13通过侧边的密封层14与缓存罐10的内壁相贴合，所述缓存罐10的内部通过顶部的管道结构与外壳1的内部空间相连通，通过缓存罐10内部的电动推杆11即可周期性的将缓存的臭氧向外统一排出，并在将该部分臭氧向外排出的过程中自动将外部的氧气抽入到内部，简化了结构，自动化程度更高，且能够将制造的臭氧和氧气原材料进行分离，避免排气的过程中发生污染，具体的，在生成臭氧时，会将生成的臭氧积存在缓存罐10的内部，由于在密封空间内，臭氧的重量大于氧气，因此随着长时间的生成，导致缓存罐10内部的臭氧浓度逐渐增加，此时通过开启底部的电磁阀4，同时控制电动推杆11下移，即可将缓存罐10内部的臭氧向下推动，从连通组件16的内部穿过后即可进入到导出通道17的内部，最终从出气管道5处排出，排出该部分的臭氧后，关闭电磁阀4，并复位电动推杆11，由于电动推杆11上的微小的通气孔15，即可逐渐将后续生产的臭氧流动到底部的缓存罐10内进行后续的缓存和排出工作。
25.本实施例，所述连通组件16的内侧设置有进气口18，所述连通组件16的底端设置有出气口19，所述连通组件16的底部设置有底板20，所述电动推杆11的底端安装有固定板12，所述固定板12通过使用螺丝固定安装在底板20的表面，所述连通组件16内侧位于底板20上方的空间与缓存罐10的内部相连通，所述连通组件16内部处于底板20下方的空间与导出通道17的内部相连通，在放电室21的底部设置与排出组件3，通过该组件内部的缓存罐10即可将制造的臭氧进行暂时存储，并在存储的过程中始终与顶部臭氧发生空间保持连通，从而能够随着缓存时间的增加使制造的臭氧浓度比例增加，通过该结构能够控制臭氧的浓度，该过程中，臭氧会从进气口18流动到出气口19处，最终进入到底部的导出通道17中。
26.本实施例，所述外壳1的内侧设置有多个隔板22，每个所述隔板22之间均设置有冷却夹层23，所述进水管道8和出水管道9插入到外壳1内部的一端均安装有环形管道24，所述环形管道24表面的开口分别与每个冷却夹层23部分相连通，所述隔板22的两端分别与外壳1的内壁、放电室21的表面焊接为整体，所述冷却夹层23内部的空间与排出组件3的内部空间相隔开，通过在放电室21的内侧设置有环形管道24，将环形管道24分别与每个冷却夹层23的内部相连通，即可将外部的冷却液均匀的输送到每个冷却夹层23的内部，通过该结构确保放电室21的侧边能够等效的进行水冷散热处理，避免不同位置温度差异过大的情况，冷却液通过水泵7从冷却罐6的内部抽出后即可通过进水管道8流入到外壳1内部，通过冷却夹层23将冷却液进行均分，使放电室21的表面均能够与等量的冷却液接触，即可实现均匀
散热的效果。
27.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
28.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，其特征在于：所述发生器本体包括外壳(1)、放电室(21)、排出组件(3)和冷却罐(6)，所述外壳(1)的顶部设置有进气管道(2)，所述外壳(1)的侧边连接有进水管道(8)和出水管道(9)，所述出水管道(9)的另一端与冷却罐(6)相连通，所述进水管道(8)的另一端设置有水泵(7)，所述水泵(7)和冷却罐(6)的顶部相连接，所述放电室(21)设置在外壳(1)的内部，所述外壳(1)的底端安装有排出组件(3)，所述排出组件(3)的中间安装有连通组件(16)。2.根据权利要求1所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述排出组件(3)包括缓存罐(10)和电动推杆(11)，所述缓存罐(10)的底端安装有连通组件(16)，所述缓存罐(10)的内部设置有电动推杆(11)，所述电动推杆(11)的顶部安装有活塞板(13)。3.根据权利要求2所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述连通组件(16)的底端安装有导出通道(17)，所述导出通道(17)的底端连接有出气管道(5)，所述出气管道(5)的表面安装有电磁阀(4)，所述导出通道(17)整体呈倒锥形结构。4.根据权利要求3所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述活塞板(13)的侧边贴装有密封层(14)，所述活塞板(13)的表面开设有通气孔(15)，所述活塞板(13)通过侧边的密封层(14)与缓存罐(10)的内壁相贴合，所述缓存罐(10)的内部通过顶部的管道结构与外壳(1)的内部空间相连通。5.根据权利要求2所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述连通组件(16)的内侧设置有进气口(18)，所述连通组件(16)的底端设置有出气口(19)，所述连通组件(16)的底部设置有底板(20)。6.根据权利要求5所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述电动推杆(11)的底端安装有固定板(12)，所述固定板(12)通过使用螺丝固定安装在底板(20)的表面，所述连通组件(16)内侧位于底板(20)上方的空间与缓存罐(10)的内部相连通，所述连通组件(16)内部处于底板(20)下方的空间与导出通道(17)的内部相连通。7.根据权利要求1所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述外壳(1)的内侧设置有多个隔板(22)，每个所述隔板(22)之间均设置有冷却夹层(23)，所述进水管道(8)和出水管道(9)插入到外壳(1)内部的一端均安装有环形管道(24)，所述环形管道(24)表面的开口分别与每个冷却夹层(23)部分相连通。8.根据权利要求7所述的一种水冷臭氧发生器，其特征在于：所述隔板(22)的两端分别与外壳(1)的内壁、放电室(21)的表面焊接为整体，所述冷却夹层(23)内部的空间与排出组件(3)的内部空间相隔开。

技术总结

本实用新型提供一种水冷臭氧发生器，包括发生器本体，所述发生器本体包括外壳、放电室、排出组件和冷却罐，所述外壳的顶部设置有进气管道，所述外壳的侧边连接有进水管道和出水管道，所述出水管道的另一端与冷却罐相连通，所述进水管道的另一端设置有水泵，所述水泵和冷却罐的顶部相连接，所述放电室设置在外壳的内部，所述外壳的底端安装有排出组件，该水冷臭氧发生器通过在放电室的内侧设置有环形管道，将将外部的冷却液均匀的输送到每个冷却夹层的内部，可以避免不同位置温度差异过大的情况，放电室的底部设置与排出组件，通过该组件内部的缓存罐即可将制造的臭氧进行暂时存储，并能够控制臭氧的浓度。并能够控制臭氧的浓度。并能够控制臭氧的浓度。