一种单面数字光刻机的制作方法

一种单面数字光刻机
1.【技术领域】
2.本实用新型涉及数字光刻技术领域，尤其涉及一种pcb板的单面数字光刻机。
3.

背景技术：

4.光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程通常为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应，再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶)，使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上，最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。集成电路制造中，会使用光刻技术将电路图形传递到单晶表面或介质层上，以形成有效图形窗口或功能图形的线路板。
5.光刻装置在对线路板进行光刻时，通常在光刻装置的一侧进行上料，前一块线路板光刻完成后，需要等待下一块线路板上料，以实现下一块线路板进行光刻。现有的光刻装置的结构单一，进行线路板上料、光刻及线路板下料的时间不能重叠利用，光刻效率低下。
6.鉴于此，实有必要提供一种新型的单面数字光刻机以克服上述缺陷。
7.

技术实现要素：

8.本实用新型的目的是提供一种单面数字光刻机，光刻主体能够对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。
9.为了实现上述目的，本实用新型提供一种单面数字光刻机，包括第一平台、第二平台、光刻主体及传动组件；所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述传动组件承载所述第一平台及所述第二平台；所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板，所述待光刻线路板包括一待光刻表面，所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，以实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。
10.在一个优选实施方式中，所述第一平台及所述第二平台的表面设置有吸附件，所述吸附件用于吸附所述待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面。
11.在一个优选实施方式中，所述第一平台及所述第二平台上设置有压板组件，所述压板组件用于将所述待光刻线路板的边缘压平。
12.在一个优选实施方式中，所述压板组件包括边缘压板件，所述边缘压板件设置于所述第一平台及所述第二平台的边缘位置。
13.在一个优选实施方式中，所述压板组件还包括中间压板件，所述中间压板件设置于所述第一平台及所述第二平台的中部位置。
14.在一个优选实施方式中，所述光刻主体包括曝光镜筒及曝光光源，所述曝光镜筒连接所述曝光光源，所述曝光光源用于为数字光刻处理提供曝光光线。
15.在一个优选实施方式中，所述曝光光源连接有液冷管道组件。
16.在一个优选实施方式中，还包括支撑台，所述支撑台用于承载所述第一平台、第二平台、光刻主体及传动组件。
17.相比于现有技术，本实用新型提供的单面数字光刻机，所述第一平台及所述第二
平台分别位于光刻主体的两侧，所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板，所述传动组件能够带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，以实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。
18.为使实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举本实用新型较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
19.【附图说明】
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
21.图1为本实用新型提供的单面数字光刻机的立体结构图。
22.【具体实施方式】
23.下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1，本实用新型提供一种单面数字光刻机100，包括第一平台10、第二平台20、光刻主体30及传动组件40。
25.光刻主体30位于所述第一平台10及所述第二平台20之间，传动组件40承载所述第一平台10及所述第二平台20。具体的，所述第一平台10及所述第二平台20均用于承载待光刻线路板（图未示），所述待光刻线路板包括一待光刻表面，所述传动组件40用于带动所述第一平台10或所述第二平台20向靠近所述光刻主体30的方向移动，具体使所述待光刻线路板的待光刻表面朝向所述光刻主体30内的曝光镜筒31，以实现所述光刻主体30对所述第一平台10及所述第二平台20上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。
26.可以理解地，所述第一平台10及所述第二平台20分别位于光刻主体30的两侧，且所述第一平台10及所述第二平台20均用于承载待光刻线路板，实际应用时，所述传动组件40能够带动所述第一平台10及其上的待光刻线路板向靠近所述光刻主体30的方向移动，以实现所述光刻主体30对所述第一平台10上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，而在第一平台10上的待光刻线路板进行数字光刻的过程中，传动组件40能够带动所述第二平台20及其上的待光刻线路板向靠近所述光刻主体30的方向移动，当第一平台10上的待光刻线路板数字光刻完成后，第一平台10上进行数字光刻处理后的光刻线路板出料，而第二平台20及其上的待光刻线路板移动至光刻主体30的下方，以实现所述光刻主体30对所述第二平台20上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，如此，实现对所述第一
平台10及所述第二平台20上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，完成两个平台上的待光刻线路板的单面光刻。也即，对第一平台10上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第二平台20上的待光刻线路板进行上料，而对第二平台20上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第一平台10上的待光刻线路板进行上料，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体30对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。
27.因此，本实用新型提供的单面数字光刻机100，所述第一平台10及所述第二平台20分别位于光刻主体30的两侧，所述第一平台10及所述第二平台20均用于承载待光刻线路板，所述传动组件40能够带动所述第一平台10或所述第二平台20向靠近所述光刻主体30的方向移动，以实现所述光刻主体30对所述第一平台10及所述第二平台20上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体30对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。
28.可以理解地，所述传动组件40还能够带动所述第一平台10或所述第二平台20向远离所述光刻主体30的方向移动，以实现进行数字光刻处理后的光刻线路板出料。具体的，传动组件40例如可以为传送带，能够带动第一平台10及第二平台20运动。可以理解地，光刻主体30对所述第一平台10或所述第二平台20上的待光刻线路板进行数字光刻处理后，传动组件40带动所述第一平台10或所述第二平台20向远离所述光刻主体30的方向移动，以实现进行数字光刻处理后的光刻线路板的出料，例如，所述第一平台10上的进行数字光刻处理后的光刻线路板移动至第一汇流台上，所述第二平台10上的进行数字光刻处理后的光刻线路板移动至第二汇流台上，第一汇流台及第二汇流台上的光刻线路板可以通过输送件进行输送出料。
29.本实施方式中，所述第一平台10及所述第二平台20的表面设置有吸附件120，所述吸附件120用于吸附所述待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面。可以理解地，待光刻线路板传送至第一平台10或第二平台20上时，待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面（即此次不进行光刻的表面）通过吸附件120固定于第一平台10或第二平台20上，吸附件120能够将待光刻线路板稳定地固定于第一平台10或第二平台20上，防止待光刻线路板在第一平台10或第二平台20上的位置发生偏移，避免影响光刻的精度。
30.进一步地，所述第一平台10及所述第二平台20上设置有压板组件50，所述压板组件50用于将所述待光刻线路板的边缘压平，压板组件50能够防止所述待光刻线路板的边缘翘起，提高待光刻线路板的位置精度，进而能够提高光刻精度。
31.本实施方式中，所述第一平台10及所述第二平台20均能够同时承载两块线路板，则对应的，所述压板组件50包括边缘压板件51及中间压板件52，所述边缘压板件51设置于所述第一平台10及所述第二平台20的边缘位置，边缘压板件51能够将两个线路板的与平台边缘相对的位置压平，所述中间压板件52设置于所述第一平台10及所述第二平台20的中部位置，中间压板件52能够将两个线路板拼接处的与平台中部相对的位置压平。
32.光刻主体30包括曝光镜筒31，所述曝光镜筒31连接有曝光光源32，所述曝光光源32用于为数字光刻处理提供曝光光线。可以理解地，曝光光源32的光线经过曝光镜筒31后，能够实现对待光刻线路板的曝光处理。具体的，所述光刻主体30还包括曝光头控制单元33，
所述曝光头控制单元33用于控制所述曝光光源32进行曝光，曝光光源32具体可以为led光源或激光光源。
33.进一步地，所述曝光光源32连接有液冷管道组件34，液冷管道组件可以包括多个并排分布的液冷管，液冷管内填充有冷却液，冷却液在液冷管内流动，能够带走所述曝光光源32、所述曝光头控制单元33工作产生的热量，防止温度过高。
34.本实施方式中，光刻主体30的两侧还设置有靶点相机60，靶点相机60位于第一平台10及第二平台20的上方，靶点相机60能够对第一平台10及第二平台20上的待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，使得光刻主体30能够根据该图像信息对线路板进行数字光刻处理。具体的，所述靶点相机60的数量为多个，光刻主体30的两侧设置有相机平移组件61，多个靶点相机60固定于所述相机平移组件61上，所述相机平移组件61用于驱动所述靶点相机60进行平移，以获取待光刻线路板的不同位置的图像信息。通过设置靶点相机60，能够在待光刻线路板进行数字光刻处理之前，对待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，以实现待光刻线路板的靶点定位，进而提高光刻的精度。
35.本实用新型提供的单面数字光刻机100还包括支撑台70，所述支撑台70用于承载所述第一平台10、第二平台20、光刻主体30及传动组件40。支撑台70可以为大理石平台，以保证装置的结构稳定性。
36.综上，本实用新型提供的单面数字光刻机100，所述第一平台10及所述第二平台20分别位于光刻主体30的两侧，所述第一平台10及所述第二平台20均用于承载待光刻线路板，所述传动组件40能够带动所述第一平台10或所述第二平台20向靠近所述光刻主体30的方向移动，以实现所述光刻主体30对所述第一平台10及所述第二平台20上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体30对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。
37.以上所述仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种单面数字光刻机，其特征在于，包括第一平台、第二平台、光刻主体及传动组件；所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述传动组件承载所述第一平台及所述第二平台；所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板，所述待光刻线路板包括一待光刻表面，所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，以实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。2.如权利要求1所述的单面数字光刻机，其特征在于，所述第一平台及所述第二平台的表面设置有吸附件，所述吸附件用于吸附所述待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面。3.如权利要求1所述的单面数字光刻机，其特征在于，所述第一平台及所述第二平台上设置有压板组件，所述压板组件用于将所述待光刻线路板的边缘压平。4.如权利要求3所述的单面数字光刻机，其特征在于，所述压板组件包括边缘压板件，所述边缘压板件设置于所述第一平台及所述第二平台的边缘位置。5.如权利要求4所述的单面数字光刻机，其特征在于，所述压板组件还包括中间压板件，所述中间压板件设置于所述第一平台及所述第二平台的中部位置。6.如权利要求1所述的单面数字光刻机，其特征在于，所述光刻主体包括曝光镜筒及曝光光源，所述曝光镜筒连接所述曝光光源，所述曝光光源用于为数字光刻处理提供曝光光线。7.如权利要求6所述的单面数字光刻机，其特征在于，所述曝光光源连接有液冷管道组件。8.如权利要求1所述的单面数字光刻机，其特征在于，还包括支撑台，所述支撑台用于承载所述第一平台、第二平台、光刻主体及传动组件。

技术总结

本实用新型提供一种单面数字光刻机，包括第一平台、第二平台、光刻主体及传动组件；所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述传动组件承载所述第一平台及所述第二平台；所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板，所述待光刻线路板包括一待光刻表面，所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，以实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。本实用新型提供的单面数字光刻机，光刻主体能够对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。提高了光刻效率。提高了光刻效率。