一种多通道芯片检选机的制作方法

1.本实用新型应用于芯片检选机技术领域，特别涉及一种输送效率高、易分拣的多通道芯片检选机。

背景技术：

2.芯片是现代化科技发展中不可或缺的核心部件，芯片生产的技术门槛较高，其生产环境的要求也较为严格，因此在芯片的生产中需要自动化或高度半自动化的机械进行加工，而加工完成后的芯片需要进行“分bin”操作，所谓“分bin”是对于芯片制造商而言的含led，其实就是一种筛选：通过测试设备对每颗芯片进行性能参数的测试，然后根据芯片电压值，波段值，功率值的不同进行“分bin”，再将分类好的芯片分拣到不同的载盘中，最后通过设备自动运输到指定位置。
3.常规的“分bin”工艺是从晶圆上，将已经切割好的芯片挑捡起来，放到指定的料盘上，这芯片通常会在前工艺经过测试，依据测试的结果，产出相应的mapping档案，mapping档案会标注每颗芯片的类别“bin”，在检选过程中需要配合视觉识别模块和机械臂，芯片检选机会先通过视觉识别模块来确定其mapping档案与芯片的“bin”类别是否吻合，再将芯片进行夹取，放置到同一个料盘。
4.常规的芯片检选机需要将晶圆移载到晶圆治具上，又机械手一次检选一枚类别“bin”的芯片放置到无无差别的料盘中，并且只能依靠单个料盘完成运输，完成运输后还需要再进行分拣和筛选才能区别不不同类别“bin”，由于芯片的分拣需要高度无尘，因此均采用机械设备进行分拣，分拣过后还需要进行二次的集中打包，这样既浪费检选芯片的时间，还不能完成高效的分类，因此需要高效且设计合理的芯片检选机。

技术实现要素：

5.本实用新型的技术任务是针对以上不足，提供了一种分拣效率高、配送方便、能满足多种芯片“bin”型号集中识别分拣再转送的多通道芯片检选机，来解决现有芯片检选机的tray盘轨道系统分拣效率低、无法完成不同“bin”型号芯片集中识别并分拣的问题。
6.本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：本实用新型包括基台、晶圆组件、定位分拣组件和多通道料盘轨道组件，所述晶圆组件包括晶圆提篮、晶圆移载组件和晶圆治具，所述晶圆提篮、所述晶圆移载组件和所述晶圆治具均设置在所述基台上，所述定位分拣组件包括多轴组件、芯片分类定位组件、芯片夹爪和料盘定位组件，所述多轴组件包括多轴机架、z轴组件、第一yz轴组件和第二yz轴组件，所述多轴机架设置在所述基台上，所述z轴组件、第一yz轴组件和第二yz轴组件均设置所述多轴机架上，所述芯片分类定位组件设置在所述z轴组件的活动端，所述芯片夹爪设置在所述第一yz轴组件的活动端，所述料盘定位组件设置在所述第二yz轴组件的活动端，所述多通道料盘轨道组件包括第一支撑架、副支撑架、进出料组件、缓存组件和四工位料盘组件，所述第一支撑架和所述副支撑架均设置在所述基台上，所述进出料组件设置在所述副支撑架上，所述缓存组件和所述四工位料
盘组件均设置在所述第一支撑架上，所述缓存组件分别与所述进出料组件和所述四工位料盘组件相配合，所述芯片夹爪与所述四工位料盘组件相配合。
7.一个优选方案是，所述晶圆移载组件包括支撑座、x轴直线组件以及夹爪组件，所述x轴直线组件设置在所述支撑座上，所述夹爪组件设置在所述x轴直线组件的活动端，所述夹爪组件位于所述晶圆治具的上方。
8.一个优选方案是，所述进出料组件包括送料组件和出料组件，所述送料组件包括推料组件、两个送料仓和两个送料台，所述出料组件包括出料顶升座和四个出料仓，所述推料组件、所述出料顶升座、两个所述送料仓、两个所述送料台和四个所述出料仓均设置在所述副支撑架上，所述送料台与所述送料仓相配合，所述推料组件与两个所述送料台相配合，所述出料顶升座与四个所述出料仓相配合，所述缓存组件包括出料缓存组件和两个送料缓存组件，所述第一支撑架设置有第一滑轨和第二滑轨，所述出料缓存组件和两个所述送料缓存组件均滑动设置在所述第一滑轨上，所述送料缓存组件与所述送料台相配合，所述出料缓存组件与所述出料顶升座相配合，所述四工位料盘组件滑动设置在所述第二滑轨上，所述四工位料盘组件分别与所述送料缓存组件和所述出料缓存组件相配合。
9.一个优选方案是，所述四工位料盘组件包括料盘底座和四组料盘组件，所述料盘底座设置在所述第二滑轨的活动端，所述料盘组件设置在所述料盘底座上，所述料盘组件包括料盘槽和四个料盘气缸，所述料盘气缸分别配合设置在所述料盘槽一侧，所述料盘槽分别与所述送料缓存组件和所述出料缓存组件相配合。
10.本实用新型的有益效果是：
11.本实用新型采用的方式，是将轨道系统放置在晶圆台上方，减少取放头的移动距离，所述多轴组件、所述芯片分类定位组件、所述芯片夹爪和所述料盘定位组件进行配合，可以快速分拣出目标芯片到达目标所述料盘，从而实现提升产出速度，另外将轨道系统搭配了所述四工位料盘组件，分别可以搭载四个所述料盘，并且所述进出料组件，则是由两个独立的所述送料仓和四个所述出料仓组成，主要目的是要放置不同颜的所述料盘，方便后续工艺的辨别，四个所述出料仓，可以做到多种分类。在进出料组件和四工位料盘组件中间，设置有所述缓存组件，分别做进料与出料的缓存，减少进出料的等待时间，由此看出本实用新型拣效率高、配送方便，还能满足先分类再定位，准确将不同“bin”型的芯片放置到同一个所述料盘中，再集中转送出料，不仅提高了分拣的效率，还高效利用了料盘的空间，并且利于出料后的直接封装，精简了工作流程。
附图说明
12.图1是本实用新型的立体结构示意图；
13.图2是所述晶圆组件的立体结构示意图；
14.图3是所述定位分拣组件的立体结构示意图；
15.图4是所述第一支撑架的立体结构示意图；
16.图5是所述进出料组件的立体结构示意图；
17.图6是所述推料组件的立体结构示意图；
18.图7是所述送料缓存组件的立体结构示意图；
19.图8是所述四工位料盘组件的立体结构示意图；
20.图9是所述出料缓存组件的立体结构示意图；
21.图10是所述出料组件的立体结构示意图。
具体实施方式
22.为了更清楚的理解本实用新型的特征和优点，下面通过实例并结合附图1至附图9对本实用新型进行进一步的说明。在本实施例中，本实用新型包括基台1、晶圆组件2、定位分拣组件3和多通道料盘轨道组件4，所述晶圆组件2包括晶圆提篮21、晶圆移载组件22和晶圆治具23，所述晶圆提篮21、所述晶圆移载组件22和所述晶圆治具23均设置在所述基台1上，所述定位分拣组件3包括多轴组件31、芯片分类定位组件32、芯片夹爪33和料盘定位组件34，所述多轴组件31包括多轴机架311、z轴组件312、第一yz轴组件313和第二yz轴组件314，所述多轴机架311设置在所述基台1上，所述z轴组件312、第一yz轴组件313和第二yz轴组件314均设置所述多轴机架311上，所述芯片分类定位组件32设置在所述z轴组件312的活动端，所述芯片夹爪33设置在所述第一yz轴组件313的活动端，所述料盘定位组件34设置在所述第二yz轴组件314的活动端，所述多通道料盘轨道组件4包括第一支撑架41、副支撑架42、进出料组件43、缓存组件44和四工位料盘组件45，所述第一支撑架41和所述副支撑架42均设置在所述基台1上，所述进出料组件43设置在所述副支撑架42上，所述缓存组件44和所述四工位料盘组件45均设置在所述第一支撑架上，所述缓存组件44分别与所述进出料组件43和所述四工位料盘组件45相配合，所述芯片夹爪33与所述四工位料盘组件45相配合。
23.在本实施例中，所述晶圆移载组件22包括支撑座221、x轴直线组件222以及夹爪组件223，所述x轴直线组件222设置在所述支撑座221上，所述夹爪组件223设置在所述x轴直线组件222的活动端，所述夹爪组件223位于所述晶圆治具23的上方。
24.在本实施例中，所述进出料组件43包括送料组件431和出料组件432，所述送料组件431包括推料组件4311、两个送料仓4312和两个送料台4313，所述出料组件432包括出料顶升座4321和四个出料仓4322，所述推料组件4311、所述出料顶升座4321、两个所述送料仓4312、两个所述送料台4313和四个所述出料仓4322均设置在所述副支撑架42上，所述送料台4313与所述送料仓4312相配合，所述推料组件4311与两个所述送料台4313相配合，所述出料顶升座4321与四个所述出料仓4322相配合，所述缓存组件44包括出料缓存组件441和两个送料缓存组件442，所述第一支撑架41设置有第一滑轨43111和第二滑轨43112，所述出料缓存组件441和两个所述送料缓存组件442均滑动设置在所述第一滑轨43111上，所述送料缓存组件442与所述送料台4313相配合，所述出料缓存组件441与所述出料顶升座4321相配合，所述四工位料盘组件45滑动设置在所述第二滑轨43112上，所述四工位料盘组件45分别与所述送料缓存组件442和所述出料缓存组件441相配合。
25.在本实施例中，所述四工位料盘组件45包括料盘底座451和四组料盘组件，所述料盘底座451设置在所述第二滑轨43112的活动端，所述料盘组件设置在所述料盘底座451上，所述料盘组件包括料盘槽452和四个料盘气缸453，所述料盘气缸453分别配合设置在所述料盘槽452一侧，所述料盘槽452分别与所述送料缓存组件442和所述出料缓存组件441相配合。
26.在本实施例中，所述出料顶升座4321包括出料直线模组43211、出料气缸43212和出料平台43213，所述出料直线模组43211设置在所述副支撑架42上，所述出料气缸43212设
置在所述出料直线模组43211的活动端，所述出料平台43213设置在所述出料气缸43212的活动端，所述出料平台43213与所述出料仓4322相配合。
27.进一步，所述出料直线模组43211的轨道上设置有若干第四位置传感器432111，所述出料气缸43212设置有与所述第四位置传感器432111相配合的第四挡片432121。
28.在本实施例中，所述送料缓存组件442包括送料缓存板4421、y轴送料移动组件4422和z轴送料移动组件4423，所述送料缓存板4421滑动设置在所述第一滑轨43111上，所述y轴送料移动组件4422设置在所述送料缓存板4421上，所述z轴送料移动组件4423设置在所述y轴送料移动组件4422的活动端。
29.进一步，所述y轴送料移动组件4422包括第一y轴电机44221、第一y轴齿轮44222和第一y轴齿轮板44223，所述第一y轴电机44221设置在所述送料缓存板4421上，所述第一y轴齿轮44222传动设置在所述第一y轴电机44221的输出端，所述第一y轴齿轮板44223滑动设置在所述送料缓存板4421上，所述第一y轴齿轮板44223上的齿牙与所述第一y轴齿轮44222上的齿牙相啮合，所述z轴送料移动组件4423包括第一z轴电机44231、第一z轴齿轮44232、第一z轴齿轮板44233和送料推块44234，所述第一z轴电机44231设置在所述第一y轴齿轮板44223上，所述第一z轴齿轮44232传动设置在所述第一z轴电机44231输出端，所述第一z轴齿轮板44233滑动设置在所述第一y轴齿轮板44223上，所述第一z轴齿轮板44233上的齿牙与所述第一z轴齿轮44232的齿牙相啮合，所述送料推块44234设置在所述第一z轴齿轮板44233上，所述第一y轴齿轮板44223上设置有第二位置传感器442231，所述第一z轴齿轮板44233上设置有与所述第二位置传感器442231相配合的第二挡片442331。
30.在本实施例中，所述出料缓存组件441包括出料缓存板4411、y轴出料移动组件4412、z轴出料移动组件4413，所述出料缓存板4411滑动设置在所述第一滑轨43111上，所述y轴出料移动组件4412设置在所述出料缓存板4411上，所述z轴出料移动组件4413设置在所述y轴出料移动组件4412。
31.进一步，所述y轴出料移动组件4412包括第二y轴电机44121、第二y轴齿轮44122和第二y轴齿轮板44123，所述第二y轴电机44121设置在所述出料缓存板4411上，所述第二y轴齿轮44122传动设置在所述第二y轴电机44121的输出端，所述第二y轴齿轮板44123滑动设置在所述出料缓存板4411上，所述第二y轴齿轮板44123上的齿牙与所述第二y轴齿轮44122上的齿牙相啮合，所述z轴出料移动组件4413包括第二z轴电机44131、第二z轴齿轮44132、第二z轴齿轮板44133、出料推块44134、取料气缸44135和取料推杆44136，所述第二z轴电机44131设置在所述第二y轴齿轮板44123上，所述第二z轴齿轮44132传动设置在所述第二z轴电机44131输出端，所述第二z轴齿轮板44133滑动设置在所述第二y轴齿轮板44123上，所述第二z轴齿轮板44133上的齿牙与所述第二z轴齿轮44132的齿牙相啮合，所述出料推块44134设置在所述第二z轴齿轮板44133上，所述出料推块44134与所述出料顶升座4321相配合，所述取料气缸44135设置在所述第二z轴齿轮板44133上，所述取料推杆44136设置在所述取料气缸44135的活动端，所述取料推杆44136与所述四工位料盘组件45相配合，所述第二y轴齿轮板44123上设置有第三位置传感器441231，所述出料推块44134上设置有与所述第三位置传感器441231相配合第三挡片441341。
32.在本实施例中，所述推料组件4311包括推料气缸43111、推料滑块43112和两个送料推杆43113，所述推料气缸43111设置在所述副支撑架42上，所述推料滑块43112设置在所
述推料气缸43111的活动端，所述送料推杆43113设置在所述推料滑块43112上。
33.进一步，所述推料滑块43112上设置有前限位块43114、后限位块43115和第一位置传感器43116，所述送料推杆43113位于所述前限位块43114和所述后限位块43115之间，所述送料推杆43113上设置有与所述第一位置传感器43116相配合的第一挡片4131，所述送料推杆43113与所述前限位块43114之间设置有弹簧，所述送料推杆43113与所述后限位块43115之间设置有垫块。
34.在本实施例中，所述送料台4313包括送料气缸43131和进料盘43132，所述送料气缸43131设置在所述副支撑架42上，所述进料盘43132设置在所述送料气缸43131的活动端，所述进料盘43132与所述送料仓4312相配合，所述进料盘43132上设置有与所述送料推杆43113相配合推料滑槽。
35.本实用新型工作原理：
36.本实用新型在工作时，首先所述晶圆移载组件22从所述晶圆提篮21上将晶圆移载到所述晶圆治具23上，再由所述多轴组件31带动所述芯片分类定位组件32对芯片进行定位识别并分类，接着所述料盘定位组件34对所述四工位料盘组件45进行定位，接着所述芯片夹爪33将晶圆上已经进行过识别分类的芯片夹爪到所述四工位料盘组件45上不同颜的所述料盘中，所述四工位料盘组件45上的所述料盘则是通过所述送料台4313抬升将放置在所述送料仓4312中的一个所述料盘取出，然后所述送料台4313下降到与所述送料缓存板4421相同高度，再由所述推料气缸43111带动所述送料推杆43113沿着所述推料滑槽将所述料盘推入所述送料缓存板4421，再通过所述送料推块44234将所述料盘推入所述料盘槽452中，经过检选设备从晶园上取下芯片放入到合适的所述料盘后，先由所述第二y轴电机44121的输出端带动所述第二y轴齿轮44122转动，再由所述第二y轴齿轮44122带动所述第二y轴齿轮板44123向所述料盘底座451靠近，接着所述取料气缸44135带动所述取料推杆44136将放置在所述料盘槽452中所述料盘拉出到所述出料缓存板4411上，再通过所述出料推块44134将所述料盘推入至所述出料平台43213中，再由所述出料直线模组43211和所述出料气缸43212依次带动所出料平台43213将所述料盘放置到所述出料仓4322中，从而完成整个检选过程。
37.虽然本实用新型的实施例是以实际方案来描述的，但是并不构成对本实用新型含义的限制，需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合，对于本领域的技术人员，根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。

技术特征：

1.一种多通道芯片检选机，其特征在于，它包括基台（1）、晶圆组件（2）、定位分拣组件（3）和多通道料盘轨道组件（4），所述晶圆组件（2）包括晶圆提篮（21）、晶圆移载组件（22）和晶圆治具（23），所述晶圆提篮（21）、所述晶圆移载组件（22）和所述晶圆治具（23）均设置在所述基台（1）上，所述定位分拣组件（3）包括多轴组件（31）、芯片分类定位组件（32）、芯片夹爪（33）和料盘定位组件（34），所述多轴组件（31）包括多轴机架（311）、z轴组件（312）、第一yz轴组件（313）和第二yz轴组件（314），所述多轴机架（311）设置在所述基台（1）上，所述z轴组件（312）、第一yz轴组件（313）和第二yz轴组件（314）均设置所述多轴机架（311）上，所述芯片分类定位组件（32）设置在所述z轴组件（312）的活动端，所述芯片夹爪（33）设置在所述第一yz轴组件（313）的活动端，所述料盘定位组件（34）设置在所述第二yz轴组件（314）的活动端，所述多通道料盘轨道组件（4）包括第一支撑架（41）、副支撑架（42）、进出料组件（43）、缓存组件（44）和四工位料盘组件（45），所述第一支撑架（41）和所述副支撑架（42）均设置在所述基台（1）上，所述进出料组件（43）设置在所述副支撑架（42）上，所述缓存组件（44）和所述四工位料盘组件（45）均设置在所述第一支撑架上，所述缓存组件（44）分别与所述进出料组件（43）和所述四工位料盘组件（45）相配合，所述芯片夹爪（33）与所述四工位料盘组件（45）相配合。2.根据权利要求1所述的一种多通道芯片检选机，其特征在于，所述晶圆移载组件（22）包括支撑座（221）、x轴直线组件（222）以及夹爪组件（223），所述x轴直线组件（222）设置在所述支撑座（221）上，所述夹爪组件（223）设置在所述x轴直线组件（222）的活动端，所述夹爪组件（223）位于所述晶圆治具（23）的上方。3.根据权利要求1所述的一种多通道芯片检选机，其特征在于，所述进出料组件（43）包括送料组件（431）和出料组件（432），所述送料组件（431）包括推料组件（4311）、两个送料仓（4312）和两个送料台（4313），所述出料组件（432）包括出料顶升座（4321）和四个出料仓（4322），所述推料组件（4311）、所述出料顶升座（4321）、两个所述送料仓（4312）、两个所述送料台（4313）和四个所述出料仓（4322）均设置在所述副支撑架（42）上，所述送料台（4313）与所述送料仓（4312）相配合，所述推料组件（4311）与两个所述送料台（4313）相配合，所述出料顶升座（4321）与四个所述出料仓（4322）相配合，所述缓存组件（44）包括出料缓存组件（441）和两个送料缓存组件（442），所述第一支撑架（41）设置有第一滑轨（43111）和第二滑轨（43112），所述出料缓存组件（441）和两个所述送料缓存组件（442）均滑动设置在所述第一滑轨（43111）上，所述送料缓存组件（442）与所述送料台（4313）相配合，所述出料缓存组件（441）与所述出料顶升座（4321）相配合，所述四工位料盘组件（45）滑动设置在所述第二滑轨（43112）上，所述四工位料盘组件（45）分别与所述送料缓存组件（442）和所述出料缓存组件（441）相配合。4.根据权利要求3所述的一种多通道芯片检选机，其特征在于，所述四工位料盘组件（45）包括料盘底座（451）和四组料盘组件，所述料盘底座（451）设置在所述第二滑轨（43112）的活动端，所述料盘组件设置在所述料盘底座（451）上，所述料盘组件包括料盘槽（452）和四个料盘气缸（453），所述料盘气缸（453）分别配合设置在所述料盘槽（452）一侧，所述料盘槽（452）分别与所述送料缓存组件（442）和所述出料缓存组件（441）相配合。

技术总结

本实用新型旨在提供了一种多通道芯片检选机。本实用新型包括基台、晶圆组件、定位分拣组件和多通道料盘轨道组件，晶圆组件包括晶圆提篮、晶圆移载组件和晶圆治具，定位分拣组件包括多轴组件、芯片分类定位组件、芯片夹爪和料盘定位组件，多轴组件包括多轴机架、Z轴组件、第一YZ轴组件和第二YZ轴组件，多轴机架设置在基台上，Z轴组件、第一YZ轴组件和第二YZ轴组件均设置多轴机架上，芯片夹爪设置在第一YZ轴组件的活动端，料盘定位组件设置在第二YZ轴组件的活动端，多通道料盘轨道组件包括第一支撑架、第二支撑架、进出料组件、缓存组件和四工位料盘组件。本实用新型可应用于芯片检选机输送轨道技术领域。送轨道技术领域。送轨道技术领域。