一种准分子激光光路调整模块的制作方法

一种准分子激光光路调整模块
【技术领域】
1.本实用新型涉及一种准分子激光光路调整模块。

背景技术：

2.准分子激光器在运行过程中，电极放电会不断从金属电极中剥离金属尘埃出来，这些金属尘埃通过循环风机带动，会传播到激光腔内各个地方，当然这些金属尘埃可能会附着在镜片的内表面上，这样会降低激光的能量。
3.本实用新型正是基于上述不足研发而产生的。

技术实现要素：

4.本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够减少金属尘埃附着在镜片的内表面上的准分子激光光路调整模块。
5.本实用新型是通过以下技术方案实现的：
6.一种准分子激光光路调整模块，包括激光器本体1，所述的激光器本体1内具有的激光反应腔11，所述的激光器本体1上设有端盖 13，所述的端盖13上设有与激光反应腔11连通并能供准分子激光射出的出光口12，所述的端盖13上连接调整架底座2，所述的调整架底座2上连接有能够相对其前后滑动而调节相对调整架底座2位置的调整架3，所述的调整架3上设有能够跟随其前后移动的镜片组件4，所述的调整架3与调整架底座2之间还设有能够将二者连通使得出光口12与镜片组件4之间形成封闭腔500的连接组件5，所述的连接组件5包括能够伸缩的连接管51，所述的连接管51上还设有在其伸长或缩短时能够跟随展开或压缩的多个凹腔511，所述的调整架底座 2上并位于封闭腔500内还设有能供激光通过的光阑组件6。
7.所述的调整架底座2包括能够连接至端盖13上的座体21，所述的座体21上设有向外凸出的连接架22，所述的调整架3连接于连接架22上，所述的连接管51连接于座体21与调整架3之间，所述的座体21上设有与出光口12位置对应的出光孔211。
8.所述的调整架底座2与端盖13之间设有密封圈7。
9.所述的连接组件5还包括能够连接至调整架底座2上的第一连接座52和连接至调整架3上的第二连接座53，所述的第一连接座52 上并位于出光口12处设有能供激光通过的第一通光孔521，所述的第二连接座53上并与镜片组件4对应位置设有能供激光通过的第二通光孔531，所述的连接管51设于第一连接座52和第二连接座53 之间，且所述的第一连接座52、第二连接座53及连接管51配合形成所述的封闭腔500。
10.所述的光阑组件6包括多个间隔设置的光阑片61，且相邻之间的光阑片61通过隔柱62间隔设置，与调整架底座2相邻的所述的隔柱62通过连接部件连接固定于调整架底座2上，所述的光阑片61上设有透光孔611。
11.所述的调整架3上设有第三通光孔31，所述的镜片组件4包括可拆卸连接的第一镜片夹具41和第二镜片夹具42，所述的第一镜片夹具41和第二镜片夹具42之间形成有安装腔
43，所述的镜片组件4 还包括夹装于安装腔43内并能供激光通过的镜片44，所述的第一镜片夹具41和第二镜片夹具42上并与镜片44相对应的位置设有能供激光通过的第一通孔411和第二通孔421，所述的第一镜片夹具41 和第二镜片夹具42能够通过连接件连可拆卸地连接至调整架3上。
12.所述的调整架底座2与调整架3之间还设有调节组件8。
13.所述的调整架底座2与调整架3之间通过连接螺栓9连接固定，所述的调节组件8包括多个连接螺栓9上并位于调整架底座2与调整架3之间的弹性片81，相邻所述的弹性片81前后堆叠设置且设置的方向相反。
14.所述的弹性片81呈蝶形。
15.所述的连接管51为柔性波纹管。
16.与现有技术相比，本实用新型有如下优点：本实用新型种准分子激光光路调整模块在使用时先将调整架底座、调整架、镜片组件、连接组件和光阑组件安装至激光器本体上，当激光器本体内的电极对激光器本体内的工作气体放电而生成激光时，激光器本体内的电极会不断剥离出金属尘埃，激光器内的循环风机启动后金属尘埃会散布在激光器本体内，而金属尘埃会从出光口逐渐进入至封闭腔内，连接管上的多个凹腔会配合光阑组件上的通孔形成扰流，在扰流作用下，带有金属尘埃的工作气体无法直接穿过光阑组件上的通孔而到达镜片表面，金属尘埃将落入连接管上的多个凹腔内，这样就能够避免镜片的内表面附着金属尘埃而降低能量，使用方便，而且连接组件能从调整架与调整架底座之间拆除下来，便于将连接管凹腔内的灰尘进行清扫，使用更方便。
【附图说明】
17.图1是本实用新型准分子激光光路调整模块的立体图；
18.图2是图1中a区域的放大图。
【具体实施方式】
19.下面结合附图对本实用新型作进一步描述：
20.如图1至2所示，本实用新型提供一种准分子激光光路调整模块，包括激光器本体1，所述的激光器本体1内具有激光反应腔11，所述的激光器本体1上设有与激光反应腔11连通并能供准分子激光射出的出光口12，所述的激光器本体1上并位于出光口12处设有端盖13，所述的端盖13上连接调整架底座2，所述的调整架底座2上连接有能够相对其前后滑动而调节相对调整架底座2位置的调整架3，所述的调整架3上设有能够跟随其前后移动的镜片组件4，所述的调整架 3与调整架底座2之间还设有能够将二者连通使得出光口12与镜片组件4之间形成封闭腔500的连接组件5，所述的连接组件5包括能够伸缩的连接管51，所述的连接管51上还设有在其伸长或缩短时能够跟随展开或压缩的多个凹腔511，所述的调整架底座2上并位于封闭腔500内还设有能供激光通过的光阑组件6。本实用新型种准分子激光光路调整模块在使用时先将调整架底座2、调整架3、镜片组件 4、连接组件5和光阑组件6安装至激光器本体1上，当激光器本体 1内的电极对激光器本体1内的工作气体电离而而生成激光时，激光器本体1内的电极会不断剥离出金属尘埃，激光器内的循环风机启动后金属尘埃会散布在激光器本体1内，而金属尘埃会从出光口12逐渐进入至封闭腔500内，连接管
51上的多个凹腔511会配合光阑组件6上的通孔形成扰流，在扰流作用下，带有金属尘埃的工作气体无法直接穿过光阑组件6上的通孔而到达镜片表面，金属尘埃将落入连接管51上的多个凹腔511内，这样就能够避免镜片的内表面附着金属尘埃而降低能量，使用方便，而且连接组件5能从调整架3与调整架底座2之间拆除下来，便于将连接管51凹腔511内的灰尘进行清扫，使用更方便。
21.所述的调整架底座2包括能够连接至端盖13上的座体21，所述的座体21上设有向外凸出的连接架22，所述的调整架3连接于连接架22上，所述的连接管51连接于座体21与调整架3之间，所述的座体21上设有与出光口12位置对应的出光孔211。座体21通过螺钉等部件连接至端盖13上，连接架22用于固定调整架3，使得调整架3与座体21之间间隔设置。
22.所述的调整架底座2与端盖13之间设有密封圈7。密封圈7能够使得调整架底座2与端盖13之间的密封性能更好，避免激光器本体1内的工作气体从调整架底座2与端盖13之间的缝隙露出。
23.所述的连接组件5还包括能够连接至调整架底座2上的第一连接座52和连接至调整架3上的第二连接座53，所述的第一连接座52 上并位于出光口12处设有能供激光通过的第一通光孔521，所述的第二连接座53上并与镜片组件4对应位置设有能供激光通过的第二通光孔531，所述的连接管51设于第一连接座52和第二连接座53 之间，且所述的第一连接座52、第二连接座53及连接管51配合形成所述的封闭腔500。第一连接座52和第二连接座53配合用于快速安装连接管51，同时三者配合形成的封闭腔500能够避免外部大气进入至连接管51内而使得工作气体内参入杂质。
24.所述的调整架3上设有第三通光孔31，所述的镜片组件4包括可拆卸连接的第一镜片夹具41和第二镜片夹具42，所述的第一镜片夹具41和第二镜片夹具42之间形成有安装腔43，所述的镜片组件4 还包括夹装于安装腔43内并能供激光通过的镜片44，所述的第一镜片夹具41和第二镜片夹具42上并与镜片44相对应的位置设有能供激光通过的第一通孔411和第二通孔421，所述的第一镜片夹具41 和第二镜片夹具42能够通过连接件45连可拆卸地连接至调整架3 上。通过第一镜片夹具41和第二镜片夹具42的装夹能够使得镜片 44固定在安装腔43内，固定的更稳固，而且第一镜片夹具41和第二镜片夹具42能够通过连接件45快速的安装至调整架3上，安装更方便。镜片44可以是扩束镜或集束镜等镜片，以应对各种场景。当然为了能够快速的进行安装更换，可以设置多个镜片组件4，根据场景不同快速的安装更换，使用更方便。
25.所述的光阑组件6包括多个间隔设置的光阑片61，且相邻之间的光阑片61通过隔柱62间隔设置，与调整架底座2相邻的所述的隔柱62通过连接部件连接固定于调整架底座2上，所述的光阑片61上设有透光孔611。光阑片61间隔设置，使得激光器本体1中的工作气体经过透光孔611时产生扰流，同时进入至封闭腔500内的工作气体在连接管51上的多个凹腔511配合下产生扰流，在扰流作用下，带有金属尘埃的工作气体无法直接穿过光阑片61的透光孔611到达镜片44内表面，金属尘埃将落入波纹管的凹槽内，从而避免镜片的内表面附着金属尘埃而降低能量。隔柱62能够连接相邻的光阑片61，使得光阑片61间隔的距离相同。透光孔611用于供激光通过。
26.所述的连接管51为柔性波纹管。获取容易，而且方便根据需求进行剪裁，加工容易。
27.所述的调整架底座2与调整架3之间还设有调节组件7。调节组件7用于调节调整架3相对调整架底座2的位置，从而改变镜片组件4相对调整架底座2的位置。
28.所述的调整架底座2与调整架3之间通过连接螺栓8连接固定，所述的调节组件7包括多个连接螺栓8上并位于调整架底座2与调整架3之间的弹性片81，相邻所述的弹性片81前后堆叠设置且设置的方向相反。当松开连接螺栓8时，多个弹性片81由压缩状态向原始状态移动，此时会提供反向的力顶推调整架3向后滑动，同时在连接螺栓8拧紧的过程中调整架3会向前滑动，便于调整架3进行微调。
29.所述的弹性片81呈蝶形。

技术特征：

1.一种准分子激光光路调整模块，其特征在于：包括激光器本体(1)，所述的激光器本体(1)内具有的激光反应腔(11)，所述的激光器本体(1)上设有端盖(13)，所述的端盖(13)上设有与激光反应腔(11)连通并能供准分子激光射出的出光口(12)，所述的端盖(13)上连接调整架底座(2)，所述的调整架底座(2)上连接有能够相对其前后滑动而调节相对调整架底座(2)位置的调整架(3)，所述的调整架(3)上设有能够跟随其前后移动的镜片组件(4)，所述的调整架(3)与调整架底座(2)之间还设有能够将二者连通使得出光口(12)与镜片组件(4)之间形成封闭腔(500)的连接组件(5)，所述的连接组件(5)包括能够伸缩的连接管(51)，所述的连接管(51)上还设有在其伸长或缩短时能够跟随展开或压缩的多个凹腔(511)，所述的调整架底座(2)上并位于封闭腔(500)内还设有能供激光通过的光阑组件(6)。2.根据权利要求1所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的调整架底座(2)包括能够连接至端盖(13)上的座体(21)，所述的座体(21)上设有向外凸出的连接架(22)，所述的调整架(3)连接于连接架(22)上，所述的连接管(51)连接于座体(21)与调整架(3)之间，所述的座体(21)上设有与出光口(12)位置对应的出光孔(211)。3.根据权利要求1所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的调整架底座(2)与端盖(13)之间设有密封圈(7)。4.根据权利要求1所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的连接组件(5)还包括能够连接至调整架底座(2)上的第一连接座(52)和连接至调整架(3)上的第二连接座(53)，所述的第一连接座(52)上并位于出光口(12)处设有能供激光通过的第一通光孔(521)，所述的第二连接座(53)上并与镜片组件(4)对应位置设有能供激光通过的第二通光孔(531)，所述的连接管(51)设于第一连接座(52)和第二连接座(53)之间，且所述的第一连接座(52)、第二连接座(53)及连接管(51)配合形成所述的封闭腔(500)。5.根据权利要求1所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的光阑组件(6)包括多个间隔设置的光阑片(61)，且相邻之间的光阑片(61)通过隔柱(62)间隔设置，与调整架底座(2)相邻的所述的隔柱(62)通过连接部件连接固定于调整架底座(2)上，所述的光阑片(61)上设有透光孔(611)。6.根据权利要求1所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的调整架(3)上设有第三通光孔(31)，所述的镜片组件(4)包括可拆卸连接的第一镜片夹具(41)和第二镜片夹具(42)，所述的第一镜片夹具(41)和第二镜片夹具(42)之间形成有安装腔(43)，所述的镜片组件(4)还包括夹装于安装腔(43)内并能供激光通过的镜片(44)，所述的第一镜片夹具(41)和第二镜片夹具(42)上并与镜片(44)相对应的位置设有能供激光通过的第一通孔(411) 和第二通孔(421)，所述的第一镜片夹具(41)和第二镜片夹具(42)能够通过连接件连可拆卸地连接至调整架(3)上。7.根据权利要求1所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的调整架底座(2)与调整架(3)之间还设有调节组件(8)。8.根据权利要求7所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的调整架底座(2)与调整架(3)之间通过连接螺栓(9)连接固定，所述的调节组件(8)包括多个连接螺栓(9)上并位于调整架底座(2)与调整架(3)之间的弹性片(81)，相邻所述的弹性片(81)前后堆叠设置且设置的方向相反。
9.根据权利要求8所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的弹性片(81)呈蝶形。10.根据权利要求1或4所述的准分子激光光路调整模块，其特征在于：所述的连接管(51)为柔性波纹管。

技术总结

本实用新型公开了一种准分子激光光路调整模块，包括激光器本体，激光器本体内具有的激光反应腔，激光器本体上设有端盖，端盖上设有出光口，端盖上连接调整架底座，调整架底座上连接有调整架，调整架上设有能够跟随其前后移动的镜片组件，调整架与调整架底座之间还设有能够将二者连通使得出光口与镜片组件之间形成封闭腔的连接组件，连接组件包括能够伸缩的连接管，连接管上还设有在其伸长或缩短时能够跟随展开或压缩的多个凹腔，调整架底座上并位于封闭腔内还设有能供激光通过的光阑组件。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够减少金属尘埃附着在镜片的内表面上的准分子激光光路调整模块。的准分子激光光路调整模块。的准分子激光光路调整模块。