流体泵送装置及电子血压计的制作方法

1.本技术涉及流体控制技术领域，特别是涉及流体泵送装置及电子血压计。

背景技术：

2.流体泵送装置例如微型气泵可以用于抽气、打气、增压、气体采样等，可以应用于一般的电子血压计或按摩的气泵中。传统的微型气泵一般分为电机隔膜式、电磁式、叶轮式、活塞式、压电陶瓷式等，其中，压电陶瓷式都是采用压电陶瓷和振动板作为致动器进行致动，然而，使用压电陶瓷加振动板的组合会使得气泵的体积较大，且使用寿命短，难于封装。

技术实现要素：

3.本技术主要解决的技术问题是提供流体泵送装置，具有小体积、易于装配的特点。
4.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供流体泵送装置，包括基板组件、振动薄膜以及阀盖组件。基板组件包括层叠设置的可挠板及基板，基板上设有第一通孔，可挠板上设有第二通孔，第二通孔通过第一通孔连通外部空间。振动薄膜靠近可挠板一侧设置，振动薄膜与可挠板之间形成第一泵室，振动薄膜上设有第三通孔，第二通孔与第三通孔错位设置。阀盖组件设置于振动薄膜远离基板组件一侧，振动薄膜与阀盖组件之间形成第二泵室，阀盖组件上设有第四通孔，第四通孔连接外部气囊。其中，振动薄膜驱动时，外部空间的气体经由第一通孔、第二通孔、第一泵室、第三通孔、第二泵室、第四通孔进入气囊。
5.为解决上述技术问题，本技术采用的另一个技术方案是：提供一种电子血压计，包括流体泵送装置、气囊、及气体传感器。气囊与流体泵送装置的第四通孔连接，气体传感器连通第四通孔和气囊。
6.本技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本技术使用振动薄膜作为致动器，振动薄膜可以进行振动驱动流体泵送装置对气囊进行打气。并且省去了传统压电泵的振动板，本技术流体泵送装置重量轻、体积小，易于装配。
附图说明
7.图1是本技术电子血压计实施例结构示意图；
8.图2是本技术流体泵送装置一实施例爆炸结构示意图；
9.图3是本技术流体泵送装置一实施例进气时的剖面结构示意图；
10.图4是本技术流体泵送装置另一实施例爆炸结构示意图；
11.图5是本技术流体泵送装置另一实施例放气时的剖面结构示意图；
12.图6是本技术流体泵送装置另一实施例进气时的剖面结构示意图。
具体实施方式
13.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
14.本技术中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
15.在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
16.本技术提供流体泵送装置和电子血压计，流体泵送装置一般用于对流体进流体输送，例如抽水抽气。而电子血压计是用于测量血压的一种医疗设备，由气泵、气囊、及气体传感器组成，一般的电子血压计分为臂式、腕式等。
17.请参阅图1，图1是电子血压计实施例的结构示意图，电子血压计1000包括流体泵送装置1、气囊2、气体传感器3。流体泵送装置1与气囊2连接，可以用于对气囊2进行充气，气体传感器3与流体泵送装置1和气囊2连通，用于检测流体泵送装置1或气囊2的气压大小。可选地，气囊2可以设置成腕带状，以方便使用者佩戴，测量血压。
18.当血压开始测量时，流体泵送装置1对气囊2进行充气，气体传感器3检测流体泵送装置1和气囊2的气压大小，以检测血压。在停止检测血压时，流体泵送装置1也可以对气囊2进行放气。
19.关于本技术流体泵送装置1，请参阅以下对流体泵送装置1的描述。
20.请参阅图2，图2是流体泵送装置一实施例的爆炸结构示意图，流体泵送装置1包括基板组件10、振动薄膜20、阀盖组件30、绝缘板40、以及热溶胶膜50，阀盖组件30、绝缘板40、振动薄膜20、热溶胶膜50、基板组件10依次层叠设置。其中基板组件10包括层叠设置的基板11和可挠板12，可挠板12位于靠近热溶胶膜50的一侧，与热溶胶膜50连接。阀盖组件包括层叠设置的阀盖上壳31、隔膜32和阀盖下壳33，阀盖下壳33位于靠近绝缘板40的一侧，与绝缘板40连接。
21.可选地，为了对以上部件进行固定及定位，在基板组件10上可以设有第一定位孔114，可挠板12设有第二定位孔123，热溶胶膜50设有第三定位孔502，振动薄膜20设有第四定位孔203，绝缘板40设有第五定位孔402，其中，第一定位孔114、第二定位孔123、第三定位孔502、第四定位孔203、第五定位孔402的孔径大小相等、数量相同且位置相互对应，在阀盖下壳33朝向振动薄膜20的一侧设有第一定位柱334。第一定位柱334与第一定位孔114、第二定位孔123、第三定位孔502、第四定位孔203、第五定位孔402相对应，第一定位柱334可以依次插入第五定位孔402、第四定位孔203、第三定位孔502、第二定位孔123、第一定位孔114，对阀盖下壳33、绝缘板40、振动薄膜20、热溶胶膜50、可挠板12、以及基板11进行固定定位。
第一定位孔114、第二定位孔123、第三定位孔502、第四定位孔203、第五定位孔402的数量可选为2个、4个或6个或更多。阀盖上壳31设有第六定位孔312，隔膜32设有第七定位孔322，阀盖下壳33朝向隔膜32的一侧设有第二定位柱333，第六定位孔312与第七定位孔322的大小相等、数量相同且位置相互对应，第二定位柱333与第六定位孔312、第七定位孔322相对应，第二定位柱333可以依次插入第七定位孔322及第六定位孔312，对阀盖下壳33、隔膜32、阀盖上壳31进行固定定位。当然，在其他实施例中，以上所述的部件还可以采用粘接、卡扣等方式连接，再次不做限定。
22.本技术通过上述方式层叠设置其部件，使得流体泵送装置1结构紧凑，便于封装，提高了密封性。
23.在本实施例中，振动薄膜20用作流体泵送装置1的致动器，振动薄膜20可以通过振动的方式进行驱动进气。具体地，振动薄膜20包括固定部202及振动部201，固定部202用于对振动薄膜20进行固定，第四定位孔203可设于固定部202。振动部201用于振动，在通电下可以振动工作，因此，在固定部202可设有第一电极端子204和第二电极端子205，使得第一电极端子204和第二电极端子205可以向振动部201提供驱动振动部201振动的电能。
24.可选地，振动薄膜20可以是压电薄膜。压电薄膜是一种压电材料，在通电的情况下可以发生形变。相对于压电陶瓷加振动板的致动器而言，压电薄膜具有轻薄、耐用的特点，可以经受数百万次的弯曲和振动。因此，压电薄膜作为流体泵送装置1的致动器，相对于现有技术的压电陶瓷加振动板的结构，减小了安装体积和安装重量，使用寿命较高，延长了流体泵送装置1的使用寿命。
25.在其他实施例中，振动薄膜20也可选为例如电致伸缩材料、压磁材料等。
26.为了使振动薄膜20在安装时留有足够的振动空间，位于振动薄膜20两侧的绝缘板40和热溶胶膜50分别设有第一让位圈401和第二让位圈501，以供振动薄膜20进行振动。具体地，第一让位圈401和第二让位圈501与振动部201相对应，用于向振动部201提供振动空间。同时，绝缘板40和热溶胶膜50的厚度影响第一让位圈401和第二让位圈501的厚度，进而直接影响振动薄膜20的振动空间。
27.本实施例通过利用振动薄膜20作为流体泵送装置1的致动器，相对于现有技术的压电陶瓷加振动板的结构，减小了安装体积，提高了装配效率。
28.请一并参阅图2、图3，图3为流体泵送装置一实施例进气时的剖面结构示意图，在图3实施例中，流体泵送装置1为已组装状态。基板11设有第一通孔111和集气腔112，第一通孔111连通外部空间及集气腔112，第一通孔111可以将外部空间的气体引入集气腔112。此处的外部空间，指的是相对于流体泵送装置1的外界。可选地，第一通孔111的数量可以为多个，以增大气体流入集气腔112的效率。集气腔112与设于可挠板12上的第二通孔121连通，集气腔112中气体可流入第二通孔121。可挠板12具有挠性，可以受振动薄膜20的挤压产生形变。
29.可选地，基板11及可挠板12可以设有第一散热口113以及第二散热口122。第一散热口113与第二散热口122相互对应设置，并连通振动薄膜20，对振动薄膜20进行散热，防止振动薄膜20工作温度升高。而热溶胶膜50的一侧与振动薄膜20连接，一侧与可挠板12连接，热溶胶膜50可以把振动薄膜20工作产生的热量传导至第一散热口113和第二散热口122。基板11可选为导热性良好的金属材料，进一步增强散热。第一散热口113与第二散热口122的
数量为多个，形状可设为如图1所示的弧形结构，以进一步增大散热面积。
30.进一步地，振动薄膜20设有第三通孔206，第三通孔206设于振动部201，且位于振动部201靠近固定部202的位置。可挠板12与振动薄膜20形成第一泵室ⅰ，第三通孔206与第二通孔121错位设置，即第三通孔206与第二通孔121互不相对，当振动薄膜20驱动、进行振动时，振动薄膜20依靠振动可以往抵接第二通孔121方向或远离第二通孔121方向驱动，以将集气腔112的气体运输至第一泵室ⅰ。当振动薄膜20向远离第二通孔121的一侧驱动时，可以使第二通孔121和第三通孔206通过第一泵室ⅰ连通，振动薄膜20驱动第二通孔121的气体经第一泵室ⅰ流入第三通孔206。具体地，振动薄膜20通电工作时，振动部201向下振动封堵第二通孔121，然后向上振动将外部流体送入第一泵室ⅰ，如此往复，形成连续的泵送动作。
31.第二让位圈501位于第一泵室ⅰ，同时，第二让位圈501的存在也为形成第一泵室ⅰ提供了空间。可选地，第三通孔206的数量可以是多个，依次间隔设置于振动部201靠近固定部202的边缘。第一泵室ⅰ中的气体可以通过振动薄膜20振动运输至阀盖组件30，并从阀盖组件30的第四通孔311运输至外部气囊，例如图1中的气囊2。关于阀盖组件30，请进一步参阅以下阀盖组件30实施例的描述。
32.继续参阅图2、图3，阀盖组件30与振动薄膜20、基板组件10层叠设置。具体地，在本实施例中，阀盖组件30中的阀盖下壳33通过绝缘板40与振动薄膜20间接连接。绝缘板40用于阻隔振动薄膜20及阀盖组件30之间的电流流通。阀盖下壳33与振动薄膜20形成第二泵室ⅱ，第一泵室ⅰ通过第三通孔206连通第二泵室ⅱ。绝缘板40的第一让位圈401位于第二泵室ⅱ，第一让位圈401也为第二泵室ⅱ的形成提供了空间。振动薄膜20的振动部201可以在第一泵室ⅰ及第二泵室ⅱ间振动，以将第一泵室ⅰ中气体运输至第二泵室ⅱ。
33.进一步地，阀盖下壳33与隔膜32形成第一气室ⅲ，隔膜32与阀盖上壳31形成第二气室ⅳ，第四通孔311位于阀盖上壳31，并连通第二气室ⅳ。阀盖下壳33设有第一凸出部331，第一凸出部331自阀盖下壳33起，朝隔膜32方向突出，最终抵接隔膜32。
34.可选地，隔膜32可以为弹性材料，使得隔膜32可以受阀盖组件30的内部气压的影响产生形变，而在气压恢复正常时，隔膜32恢复至正常状态。
35.可选地，第一凸出部331可以设为如图1所示的弧性结构，以充分增加第一凸出部331与隔膜32的接触面积。
36.第一凸出部331与隔膜32抵接处设有第五通孔332，第五通孔332连通第二泵室ⅱ，第二泵室ⅱ的气体可以流入第五通孔332。为了让第二泵室ⅱ的气体从第五通孔332输入至第四通孔311，隔膜32与阀盖下壳33的抵接处，可设有第六通孔321，第六通孔321连通第二气室ⅳ。在本实施例中，第六通孔321与第五通孔332直接连接，第二泵室ⅱ中的气体可以通过振动薄膜20驱动，经第五通孔332、第六通孔321、第二气室ⅳ到达第四通孔311，向外部气囊充气。
37.此外，在其他实施例中，第六通孔321也可以与第五通孔332错位设置与隔膜32上，第六通孔321连通第一气室ⅲ。在振动薄膜20处于未工作状态时，隔膜32封堵第五通孔332，当振动薄膜20驱动工作导致第二泵室ⅱ中的气压增大时，第二泵室ⅱ的气流会进入第五通孔332吹开隔膜32，导通第五通孔332，第五通孔332连通第一气室ⅲ，第二泵室ⅱ的气体经第五通孔332、第一气室ⅲ、第六通孔321、第二气室ⅳ到达第四通孔311，向外部气囊充气。
38.关于本技术全文中使用的“进气”，指的是流体泵送装置1利用振动薄膜20进行驱
动，吸引外界空气进入第一通孔111并从第四通孔311输出至外部气囊，对气囊进行充气。
39.以上描述了本实施例流体泵送装置1的进气过程，结合图3，本实施例流体泵送装置1通过振动薄膜20的振动部201致动，将外部气体经第一通孔111、集气腔112、第二通孔121、第一泵室ⅰ、第三通孔206、第二泵室ⅱ、第四通孔311对需要充气的外部器件进行充气。并且流体泵送装置1的整体重量轻、体积小、使用寿命长。另外，振动薄膜20向下致动与可挠板12抵接时，对第二通孔121的封堵密封性更加，同时对可挠板12形成柔性抵压，进一步延长了流体泵送装置1的使用寿命。
40.而在通常情况下，一般的流体泵送装置不仅能对气囊进行充气，也可以进行放气，请参阅图3，例如本技术流体泵送装置的另一实施例中，阀盖上壳31还设有与外部空间连通的第七通孔314，第七通孔314在连通第二气室ⅳ时，可以对连通第四通孔311的外部气囊进行放气，外部气囊可以是图1中的气囊2。
41.在本实施例中，基板组件10、振动薄膜20、绝缘板40、及热溶胶膜50与上述实施例结构及功能类似，在此不再赘述。
42.请一并参阅图3、图4，图4为流体泵送装置另一实施例排气时的剖面结构示意图。在本实施例中，阀盖上壳31还设有第二凸出部313，第二凸出部313自阀盖上壳31起，朝隔膜32方向突出，直到与隔膜32抵接。
43.可选地，第二凸出部313可以设为如图3所示的弧性结构，以充分增加第二凸出部313与隔膜32的接触面积。
44.进一步地，第七通孔314位于第二凸出部313与隔膜32抵接处，在进气或者不工作的情况下，隔膜32继续抵接第七通孔314，阻隔第七通孔314与第二气室ⅳ。而本实施例中第五通孔332与第六通孔321错位，即第五通孔332不设于阀盖下壳33与隔膜32的抵接处，在排气时，由于第四通孔311内输入气流，导致第二气室ⅳ的气压增大，隔膜32继续抵接第一凸出部331，第一凸出部331阻隔第六通孔321与第一气室ⅲ的连通，故第二气室ⅳ的气体不会进入第一气室ⅲ。而隔膜32与第二凸出部313抵接处由于第二气室ⅳ内气压增大的原因，会被气流所吹开，隔膜32与第二凸出部313相互分离，使得第七通孔314与第二气室ⅳ连通，进而使得外部气囊的气体依次经过第四通孔311、第二气室ⅳ、第七通孔314排放至外部空间。通过以上描述，在本实施例中，实现了对外部气囊的放气。
45.请一并参阅图3、图5，图5为流体泵送装置另一实施例进气时的剖面结构示意图。在进气时与上一实施例部分类似，流体泵送装置1通过振动薄膜20的振动部201致动，将外部气体经第一通孔111、集气腔112、第二通孔121、第一泵室ⅰ进入到第二泵室ⅱ。不同的是，在本实施例中，第五通孔332与第六通孔321错位设置，即第五通孔332不设于阀盖下壳33与隔膜32的抵接处，在振动薄膜20处于未工作状态时，隔膜32封堵第五通孔332。第五通孔332连通第一气室ⅲ，第二泵室ⅱ中的气体可以通过第五通孔332进入第一气室ⅲ，从而使得第一气室ⅲ的气压增大。第一气室ⅲ气压增大时，第一气室ⅲ的气流会吹开隔膜32与第一凸出部331的抵接处，导通第六通孔321与第一气室ⅲ，进而导通第二气室ⅳ与第一气室ⅲ，最终使得第二泵室ⅱ中气体经第五通孔332、第一气室ⅲ、第六通孔321、第二气室ⅳ到达第四通孔311，向外部气囊充气。同时第七通孔314与第五通孔332相对设置，第七通孔314与第五通孔332被隔膜32所隔离，在进气的过程中，第五通孔332的气流吹向隔膜32与第二凸出部313的抵接处，使得隔膜32抵接第七通孔314，第二气室ⅳ的气体只能进入第四通孔311，不
会从第七通孔314处泄露。
46.在本实施例中，流体泵送装置1不仅可以对外部器件的气体依次经过第四通孔311、第二气室ⅳ、第七通孔314进行放气，还可以通过振动薄膜20的振动部201驱动，将外部气体经第一通孔111、集气腔112、第二通孔121、第一泵室ⅰ、第三通孔206、第二泵室ⅱ、第五通孔332、第一气室ⅲ、第六通孔321、第二气室ⅳ、第四通孔311对需要充气的外部器件进行充气。并且在进气时，内部气体不会从第七通孔314流出，在放气时，也不会让内部气体从第六通孔321流出。
47.此外，本技术提供的流体泵送装置不仅限于应用在电子血压计中，例如按摩仪，或者还可以用于一些家电、仪器仪表、医疗器械、气体采样需要增压、抽气、打气等应用或场所。同时，以上流体泵送装置实施例仅对气体的充放进行的部分描述，流体泵送装置还可以对不限于气体的其他流体进行流体控制。
48.以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种流体泵送装置，其特征在于，包括：基板组件，包括层叠设置的可挠板及基板，所述基板上设有第一通孔，所述可挠板上设有第二通孔，所述第二通孔通过所述第一通孔连通外部空间；振动薄膜，所述振动薄膜靠近所述可挠板一侧设置，所述振动薄膜与所述可挠板之间形成第一泵室，所述振动薄膜上设有第三通孔，所述第二通孔与所述第三通孔错位设置；阀盖组件，所述阀盖组件设置于所述振动薄膜远离所述基板组件一侧，所述振动薄膜与所述阀盖组件之间形成第二泵室，所述阀盖组件上设有第四通孔，所述第四通孔连接外部气囊；其中，所述振动薄膜驱动时，所述外部空间的气体经由所述第一通孔、所述第二通孔、所述第一泵室、所述第三通孔、所述第二泵室、所述第四通孔进入所述气囊；所述振动薄膜为压电薄膜。2.根据权利要求1所述的流体泵送装置，其特征在于，所述振动薄膜向远离所述第二通孔的一侧驱动时，所述第二通孔和所述第三通孔通过所述第一泵室连通，以使所述外部空间的气体经由所述第一通孔、所述第二通孔、所述第一泵室、所述第三通孔、所述第二泵室、所述第四通孔进入所述气囊。3.根据权利要求1所述的流体泵送装置，其特征在于，所述阀盖组件包括依次层叠设置的阀盖上壳、隔膜以及阀盖下壳，所述阀盖下壳靠近所述振动薄膜设置，所述阀盖下壳与所述振动薄膜形成所述第二泵室，所述第四通孔设于所述阀盖上壳，所述阀盖下壳设有第五通孔，所述隔膜设有第六通孔，所述隔膜与所述阀盖下壳形成第一气室，所述隔膜与所述阀盖上壳形成第二气室，所述第四通孔和所述第六通孔连通所述第二气室；其中，所述振动薄膜驱动时，所述第五通孔与所述第六通孔连通，以将所述外部空间的气体经由所述第一通孔、所述第二通孔、所述第一泵室、所述第三通孔、所述第二泵室、所述第五通孔、所述第六通孔、所述第二气室、所述第四通孔进入所述气囊。4.根据权利要求3所述的流体泵送装置，其特征在于，所述阀盖下壳设有第一凸出部，所述第一凸出部朝所述隔膜一侧突出，抵接所述隔膜；所述第六通孔位于所述隔膜与所述第一凸出部的抵接处，在所述振动薄膜驱动时，所述第六通孔与所述第五通孔连通。5.根据权利要求4所述的流体泵送装置，其特征在于，所述第五通孔位于所述第一凸出部与所述隔膜抵接处，所述第五通孔连通第六通孔。6.根据权利要求4所述的流体泵送装置，其特征在于，所述第五通孔位于所述阀盖下壳不与所述隔膜抵接处，所述振动薄膜驱动时，所述第一气室的气压增大，所述第一气室产生的气流将所述第一凸出部与所述第六通孔分离，所述第一气室连通所述第六通孔和所述第二气室。7.根据权利要求6所述的流体泵送装置，其特征在于，所述阀盖上壳与所述隔膜形成第二气室，所述阀盖上壳设有与所述外部空间连通的第七通孔；在排气时，所述第四通孔的气体依次从所述第二气室、第七通孔排出，并且所述第二气室的气压大于所述第一气室的气压，所述第一凸出部继续抵接所述第六通孔，以将所述第
一气室与所述第二气室阻隔。8.根据权利要求7所述的流体泵送装置，其特征在于，所述阀盖上壳设有第二凸出部，所述第二凸出部朝所述隔膜一侧突出，抵接所述隔膜；所述第七通孔位于所述第二凸出部与所述隔膜抵接处，所述第七通孔与所述第五通孔相对，在所述振动薄膜驱动时，所述第五通孔的气流吹向所述隔膜与所述第二凸出部抵接处，使得所述隔膜抵接所述第七通孔，以使气体不会从所述第七通孔泄露；在排气时，所述第二气室的气压增大，以使得所述隔膜与所述第二凸出部分离，所述第七通孔打开。9.根据权利要求1所述的流体泵送装置，其特征在于，所述振动薄膜包括振动部及固定部，所述固定部用于固定所述振动薄膜，所述振动部用于产生振动，所述振动部与所述第二通孔相对，所述第三通孔位于所述振动部，并靠近所述固定部；所述固定部设有第一电极端子和第二电极端子，用于向所述振动薄膜提供驱动电能。10.根据权利要求9所述的流体泵送装置，其特征在于，还包括：绝缘板，设于所述阀盖组件与所述振动薄膜之间，所述绝缘板设有第一让位圈；热溶胶膜，设于所述振动薄膜与所述基板组件之间，所述热溶胶膜设有第二让位圈；所述振动部位于所述第一让位圈与所述第二让位圈之间，所述第一让位圈与所述第二让位圈用于向所述振动部提供振动空间。11.根据权利要求1所述的流体泵送装置，其特征在于，所述基板设有集气腔，所述集气腔连通所述第一通孔和所述第二通孔，所述外部空间的气体能经所述第一通孔进入所述集气腔，再经所述集气腔进入所述第二通孔。12.一种电子血压计，其特征在于，包括：如权利要求1-11任一项所述的流体泵送装置；与所述第四通孔连接的气囊；以及与所述气囊和所述第四通孔连通的气体传感器。

技术总结

本申请公开了流体泵送装置及电子血压计，流体泵送装置包括基板组件、振动薄膜以及阀盖组件。基板组件包括层叠设置的可挠板及基板，基板设有第一通孔，可挠板设有第二通孔，第二通孔通过第一通孔连通外部空间。振动薄膜靠近可挠板，振动薄膜与可挠板之间形成第一泵室，振动薄膜上设有第三通孔，第二通孔与第三通孔错位设置。阀盖组件设置于振动薄膜远离基板组件一侧，振动薄膜与阀盖组件形成第二泵室，阀盖组件设有第四通孔，第四通孔连接外部气囊。振动薄膜驱动时，外界气体经由第一通孔、第二通孔、第一泵室、第三通孔、第二泵室、第四通孔进入气囊。通过上述方式，本申请使用振动薄膜作为致动器，使得流体泵送装置体积小，易装配。易装配。易装配。