一种碳化硅烧结设备的抽真空装置的制作方法

1.本实用新型涉及烧结设备技术领域，具体为一种碳化硅烧结设备的抽真空装置。

背景技术：

2.碳化硅陶瓷材料具有高温强度大、高温抗氧化性强、耐磨损性能好、热稳定性佳、热膨胀系数小、热导率大、硬度高、抗热震和耐化学腐蚀等优良特性，在汽车、机械化工、环境保护、空间技术、信息电子、能源等领域有着日益广泛的应用，已经成为一种在很多工业领域性能优异的其他材料不可替代的结构陶瓷。一般碳化硅陶瓷材料的烧结温度需达到2000度左右，才能达到碳化硅的致密烧结，达到应有的物理性能。
3.现有技术存在以下问题：
4.烧结炉在作业使用过程中，需要采用抽真空装置对烧结设备内部进行抽真空作业来保证内部烧结质量，一般的抽真空装置结构简单，长期对烧结设备内部抽真空作业时，抽真空装置内部易吸附积累一定的灰尘，影响抽真空装置的正常使用，同时抽真空装置的散热效果差，降低了抽真空设备的使用效果。

技术实现要素：

5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，解决了现今存在的抽真空装置结构简单，长期抽真空装置内部易吸附积累一定的灰尘和散热效果差，降低了抽真空设备使用效果的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，包括工艺腔室，所述工艺腔室的上端设置有泵体，所述泵体的一侧设置有干泵，所述泵体与干泵的中间设置有抽真空管道，所述工艺腔室的一侧设置有过滤腔室，所述过滤腔室的一侧连接有进气管，所述过滤腔室的表面设置有收集盒，所述泵体的上端设置有温度传感器，所述泵体的上端设置有水冷系统，所述水冷系统的一侧设置有水管和控制阀，所述泵体的外侧设置有冷却管，所述过滤腔室的上端设置有伺服电机，所述伺服电机的下端设置有转盘，所述转盘的下端设置有活动件，所述活动件的一端设置有清理刷，所述清理刷的上端连接有齿轮，所述清理刷的一侧设置有滤网，所述活动件的表面开设有活动槽。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述过滤腔室的数量为两个，所述进气管的形状为“y”字形，所述进气管的表面设置有电子阀，所述过滤腔室的内部设置有压力传感器，且压力传感器通过控制器与电子阀存在电性连接。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却管呈螺旋形分布在泵体的外侧，所述温度传感器通过控制器与控制阀存电性连接。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述活动槽的内部设置有与转盘相连接的连接销，所述连接销的直径尺寸与活动槽的内部尺寸相匹配，所述活动件通过连接销、活动槽与转盘活动连接。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述活动件的侧面开设有导孔，所述导孔
的数量为两个，所述导孔呈对称分布在活动件的两端。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导孔的内部设置有导杆，所述导杆的直径尺寸与导孔的内径尺寸相匹配，所述活动件通过导孔与导杆活动连接。
12.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述齿轮的一侧设置有齿条，所述齿条的长度尺寸与滤网的宽度尺寸相同，所述齿轮与齿条滚动连接。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，具备以下有益效果：
14.1、该一种碳化硅烧结设备的抽真空装置通过设置过滤腔室、滤网、清理刷、齿轮、齿条、活动件、活动槽、转盘、导杆和伺服电机，能够实现对进入抽真空装置内部气体的过滤作用，结合内部清理刷的转动，还能够实现对内部过滤后灰尘的清理作用，保证了抽真空装置的正常作业，提高了抽真空装置的抽真空作业效率。
15.2、该一种碳化硅烧结设备的抽真空装置通过设置水冷系统、控制阀、温度传感器、控制器和冷却管，能够实现自动对抽真空装置的散热作用，通过温度传感器对装置外侧温度的实时监控，能够及时对抽真空装置产生热量的释放作用，提高了抽真空装置的使用效果。
附图说明
16.图1为本实用新型抽真空装置结构示意图；
17.图2为过滤腔室内部结构示意图；
18.图3为过滤腔室内部仰视结构示意图。
19.图中：1、工艺腔室；2、泵体；3、干泵；4、抽真空管道；5、控制器；6、过滤腔室；7、进气管；8、收集盒；9、温度传感器；10、水冷系统；11、控制阀；12、水管；13、冷却管；14、伺服电机；15、转盘；16、活动件；17、清理刷；18、滤网；19、齿轮；20、齿条；21、导杆；22、活动槽。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-3，本实施方案中：一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，包括工艺腔室1，工艺腔室1的上端设置有泵体2，泵体2的一侧设置有干泵3，泵体2与干泵3的中间设置有抽真空管道4，工艺腔室1的一侧设置有过滤腔室6，过滤腔室6的一侧连接有进气管7，过滤腔室6的表面设置有收集盒8，泵体2的上端设置有温度传感器9，用于对装置外侧温度的实时监测使用，泵体2的上端设置有水冷系统10，水冷系统10的一侧设置有水管12和控制阀11，泵体2的外侧设置有冷却管13，过滤腔室6的上端设置有伺服电机14，伺服电机14的下端设置有转盘15，转盘15的下端设置有活动件16，活动件16的一端设置有清理刷17，用于滤网18表面灰尘的清理使用，清理刷17的上端连接有齿轮19，清理刷17的一侧设置有滤网18，活动件16的表面开设有活动槽22。
22.本实施例中，过滤腔室6的数量为两个，进气管7的形状为“y”字形，进气管7的表面
设置有电子阀，过滤腔室6的内部设置有压力传感器，且压力传感器通过控制器5与电子阀存在电性连接。两个过滤腔室6间歇性作业，实现抽真空装置的不间断作业，提高抽真空装置的使用效果；冷却管13呈螺旋形分布在泵体2的外侧，温度传感器9通过控制器5与控制阀11存电性连接，自动对抽真空装置进行降温散热；活动槽22的内部设置有与转盘15相连接的连接销，连接销的直径尺寸与活动槽22的内部尺寸相匹配，活动件16通过连接销、活动槽22与转盘15活动连接，结构合理且实现活动件16的往复活动；活动件16的侧面开设有导孔，导孔的数量为两个，导孔呈对称分布在活动件16的两端，保证活动件16活动的平稳性；导孔的内部设置有导杆21，导杆21的直径尺寸与导孔的内径尺寸相匹配，活动件16通过导孔与导杆21活动连接，结构简单；齿轮19的一侧设置有齿条20，齿条20的长度尺寸与滤网18的宽度尺寸相同，齿轮19与齿条20滚动连接，提高清理刷17多滤网18表面灰尘的清理效果。
23.本实用新型的工作原理及使用流程：烧结装置内部的气体先后进入过滤腔室6和工艺腔室1，最后被抽真空管道4抽走，气体经过过滤腔室6时，气体先从上端的过滤腔室6经过，气体内部的灰尘被过滤在滤网18上，当滤网18表面出现堵塞时，内部的压力传感器感应，对应的电子阀关闭，下端的电子阀打开，气体开始进入下端的过滤腔室6内部，同时伺服电机14转动，转盘15带着连接销在活动槽22内部往复活动，结合导杆21的作用，活动件16带着清理刷17移动，齿轮19与齿条20滚动，清理刷17一边移动一边转动，清理刷17对滤网18进行清理，清理后的灰尘落在对应的收集盒8内部，当抽真空装置表面的温度升高时，温度传感器9感应，控制阀11打开，冷却水进入冷却管13内部，实现冷却散热。
24.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，包括工艺腔室(1)，其特征在于：所述工艺腔室(1)的上端设置有泵体(2)，所述泵体(2)的一侧设置有干泵(3)，所述泵体(2)与干泵(3)的中间设置有抽真空管道(4)，所述工艺腔室(1)的一侧设置有过滤腔室(6)，所述过滤腔室(6)的一侧连接有进气管(7)，所述过滤腔室(6)的表面设置有收集盒(8)，所述泵体(2)的上端设置有温度传感器(9)，所述泵体(2)的上端设置有水冷系统(10)，所述水冷系统(10)的一侧设置有水管(12)和控制阀(11)，所述泵体(2)的外侧设置有冷却管(13)，所述过滤腔室(6)的上端设置有伺服电机(14)，所述伺服电机(14)的下端设置有转盘(15)，所述转盘(15)的下端设置有活动件(16)，所述活动件(16)的一端设置有清理刷(17)，所述清理刷(17)的上端连接有齿轮(19)，所述清理刷(17)的一侧设置有滤网(18)，所述活动件(16)的表面开设有活动槽(22)。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，其特征在于：所述过滤腔室(6)的数量为两个，所述进气管(7)的形状为“y”字形，所述进气管(7)的表面设置有电子阀，所述过滤腔室(6)的内部设置有压力传感器，且压力传感器通过控制器(5)与电子阀存在电性连接。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，其特征在于：所述冷却管(13)呈螺旋形分布在泵体(2)的外侧，所述温度传感器(9)通过控制器(5)与控制阀(11)存电性连接。4.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，其特征在于：所述活动槽(22)的内部设置有与转盘(15)相连接的连接销，所述连接销的直径尺寸与活动槽(22)的内部尺寸相匹配，所述活动件(16)通过连接销、活动槽(22)与转盘(15)活动连接。5.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，其特征在于：所述活动件(16)的侧面开设有导孔，所述导孔的数量为两个，所述导孔呈对称分布在活动件(16)的两端。6.根据权利要求5所述的一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，其特征在于：所述导孔的内部设置有导杆(21)，所述导杆(21)的直径尺寸与导孔的内径尺寸相匹配，所述活动件(16)通过导孔与导杆(21)活动连接。7.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，其特征在于：所述齿轮(19)的一侧设置有齿条(20)，所述齿条(20)的长度尺寸与滤网(18)的宽度尺寸相同，所述齿轮(19)与齿条(20)滚动连接。

技术总结

本实用新型属于烧结设备技术领域，尤其为一种碳化硅烧结设备的抽真空装置，包括工艺腔室，所述工艺腔室的上端设置有泵体，所述泵体的一侧设置有干泵，所述泵体与干泵的中间设置有抽真空管道。本实用新型通过设置过滤腔室、滤网、清理刷、齿轮、齿条、活动件、活动槽、转盘、导杆、伺服电机、水冷系统、控制阀、温度传感器、控制器和冷却管，能够实现对进入抽真空装置内部气体的过滤作用，结合内部清理刷的转动，还能够实现对内部过滤后灰尘的清理作用，保证了抽真空装置的正常作业，提高了抽真空装置的抽真空作业效率，同时通过温度传感器对装置外侧温度的实时监控，能够及时对抽真空装置产生热量的释放作用，提高了抽真空装置的使用效果。提高了抽真空装置的使用效果。提高了抽真空装置的使用效果。