一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法_百度文 ...

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114425654 A (43)申请公布日 2022.05.03

(21)申请号 CN202111633866.2

(22)申请日 2021.12.29

(71)申请人西湖大学

地址 310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号

(72)发明人王勇张磊刘峰江耿娇孙潇雨石理平仇旻

(74)专利代理机构杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人黄燕

(51)Int.CI

B23K26/36

B23K26/082

B23K26/064

B23K26/70

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法

(57)摘要

本发明公开了一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法，该方法利用聚焦飞秒激光在金属薄膜上直写出叉指换能器掩膜，然后将掩膜置于压电衬底上蒸镀金属，最后移除掩膜获得叉指换能器结构。本发明相比于传统微电子光刻工艺，省去了匀胶、烘干、光刻、显影、剥离等过程，大大简化了叉指换能器的制备工艺，具有低成本、工艺简便、绿环保、可重复使用、易于大规模生产等优点，在大波长、低频声波微流体器件制备方面具有广阔的应用前景。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-05-20	实质审查的生效IPC(主分类):B23K26/36专利申请号:2021116338662申请日:20211229	实质审查的生效
2022-09-02	著录事项变更IPC(主分类):B23K26/36专利申请号:2021116338662变更事项:发明人变更前:王勇张磊刘峰江耿娇孙潇雨石理平仇旻变更后:仇旻王勇耿娇张磊刘峰江孙潇雨石理平	著录事项变更