(19)中华人民共和国国家知识产权局
| (12)发明专利说明书 | |
| (10)申请公布号 CN 1624586 A (43)申请公布日 2005.06.08 |
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(21)申请号 CN200410089276.8
(22)申请日 2004.12.09
(71)申请人 上海交通大学
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
(72)发明人 王庆康 段智勇
(74)专利代理机构 上海交达专利事务所
代理人 王锡麟
(51)Int.CI
G03F7/00
H01L21/027
(54)发明名称
(57)摘要
一种用于纳米加工技术技术领域的真空负压纳米压印方法。具体步骤如下：(1)真空负压发生方法，通过真空负压工作室产生真空负压；(2)真空负压传递方法，真空负压工作室的真空达到负压；(3)真空负压柔性传递方法，通过柔性绞链密封连接；(4)压强倍增方法，圆形石英片同心紧密结合；(5)压力施加方法，通过压印基板与工作台之间的均匀的聚四氟乙烯弹性垫，使得模仁和基板两面同时施加平衡、均匀、与表面垂直的压力，完成纳米压印模仁和基板紧密压合工艺过程。本发明够根据紫外敏感胶和其它纳米压印光刻胶的黏度实现不同压强倍增，较高精密压力平衡控制机械方法极大降低了设备的成本。在纳米结构的制造领域具有广泛的应用。 | |
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法律状态
权 利 要 求 说 明 书
1、一种真空负压纳米压印方法，其特征在于，具体步骤如下：
(1)真空负压发生方法，通过真空负压工作室产生真空负压，真空负压工作室是一钢制圆柱形腔体，真空负压工作室通过软管和真空泵密封连接，真空泵与真空负压工作室之间连接真空闸门；
(2)真空负压传递方法，通过紫外透明的圆形石英片窗口传递真空负压，真空负压工作室的顶部有一厚度d1毫米、直径r1英寸的圆形石英片窗口，当真空泵工作，真空闸门打开，真空负压工作室的真空达到负压；
(3)真空负压柔性传递方法，为了不使真空负压在传递过程中对压力的平衡性、均匀性、与表面垂直性发生影响，圆形石英片窗口与真空负压工作室通过柔性绞链密封连接；
(4)压强倍增方法，圆形石英片窗口下表面和一厚度d2毫米、直径r2英寸的圆形石英片同心紧密结合；
(5)压力施加方法，真空负压工作室内部中心位置有一工作台，调节工作台高度，使真空负压工作室未工作时，纳米压印组件和压强倍增圆形石英片处于临界接触，当真空闸门打开，由于是柔性绞链，压强倍增圆形石英片发生向下位移，使压强倍增圆形石英片与纳米压印组件紧密接触，压强倍增圆形石英片获得的平衡、均匀、与表面垂直的压力，施加到放置于工作台表面的纳米压印组件上，当纳米压印组件上表面受到真空负压传递下来的平衡、均匀、与表面垂直的压力，通过压印基板与工作台之间的均匀的聚四氟乙烯弹性垫，使得模仁和基板两面同时施加平衡、均匀、与表面垂直的压力，完成纳米压印模仁和基板紧密压合工艺过程。
2、根据权利要求1所述的真空负压纳米压印方法，其特征是，所述的步骤(1)真空负压发生方法，当真空泵工作，真空闸门打开，真空负压工作室的真空达到一定负压，由于外部大气压
的作用，真空负压工作室上向表面被施加平衡、均匀、与表面垂直的向下压力。
3、根据权利要求1所述的真空负压纳米压印方法，其特征是，所述的步骤(2)真空负压传递方法，当真空负压工作室的真空达到一定负压，由于外部大气压的作用，真空负压工作室上圆形石英片窗口的表面被施加平衡、均匀、与表面垂直的向下压力。
4、根据权利要求1所述的真空负压纳米压印方法，其特征是，所述的步骤(4)压强倍增方法，当圆形石英片同心紧密结合，圆形石英片窗口表面平衡、均匀、与表面垂直的压力，在r2小于r1情况下，根据压力与压强的面积反比关系，使压强倍增圆形石英片获得平衡、均匀、与表面垂直的压强倍增。
5、根据权利要求1所述的真空负压纳米压印方法，其特征是，所述的步骤(5)压力施加方法，工作台通过电控实现x-y-z方向调整。
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