(10)授权公告号 (45)授权公告日 2014.04.09
C N 203530509
U (21)申请号 201320665150.5
(22)申请日 2013.10.25
C30B 35/00(2006.01)
F27B 17/00(2006.01)
(73)专利权人英利能源（中国）有限公司
地址071051 河北省保定市朝阳北大街
3399号
(72)发明人王保强 杨乐 贾琼
(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限
责任公司 11240
代理人吴贵明
张永明
单晶炉及其热场装置
(57)摘要
本实用新型提供了一种单晶炉及其热场装
与石墨电极连接；石墨垫片，石墨垫片安装在加
热器和石墨电极之间。本实用新型在加热器与石
墨电极之间安装上石墨垫片，这样，当加热器停止
工作时，石墨垫片将会代替加热器承受骤冷骤热，
即裂纹将会出现在石墨垫片上，从而有效地防止
了加热器产生裂纹以致损坏。
(51)Int.Cl.
权利要求书1页 说明书2页 附图2页
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利权利要求书1页 说明书2页 附图2页(10)授权公告号CN 203530509 U
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1.一种热场装置，其特征在于，包括：
加热器（10）；
石墨电极（20），所述加热器（10）与所述石墨电极（20）连接；
石墨垫片（30），所述石墨垫片（30）安装在所述加热器（10）和所述石墨电极（20）之间。
2.根据权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述热场装置还包括支脚部（12），所述支脚部（12）的一端与所述加热器（10）相连，所述支脚部（12）的另一端可拆卸地安装在所述石墨电极（20）上。
3.根据权利要求2所述的热场装置，其特征在于，所述支脚部（12）为L 形。
4.根据权利要求2所述的热场装置，其特征在于，所述加热器（10）与所述支脚部（12）为一体结构，且所述石墨垫片（30）安装在所述支脚部（12）和所述石墨电极（20）之间。
5.根据权利要求2所述的热场装置，其特征在于，所述加热器（10）与所述支脚部（12）为分体结构，且所述石墨垫片（30）安装在所述支脚部（12）和所述加热器（10）之间。
6.根据权利要求2所述的热场装置，其特征在于，所述支脚部（12）通过螺栓（50）固定在所述石墨电极（20）上。
7.根据权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述热场装置还包括：
石墨碳纸（40），所述石墨碳纸（40）安装在所述石墨垫片（30）和所述加热器（10）之间。
8.根据权利要求7所述的热场装置，其特征在于，所述石墨垫片（30）和所述石墨电极
（20）之间也安装有所述石墨碳纸（40）。
9.根据权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述热场装置包括多个所述石墨垫片（30）。
10.一种单晶炉，其特征在于，包括：权利要求1至9中的任一项所述的热场装置。权 利 要 求 书CN 203530509 U
单晶炉及其热场装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及硅料加工领域，更具体地，涉及一种单晶炉及其热场装置。
背景技术
[0002] 目前，热场装置中的加热器与石墨电极连接，石墨电极又与铜电极连接，且铜电极的内部设置有循环冷却水。当加热器停止工作后，由于整个热场内部的温度较高，而加热器的加热部的与石墨电极连接的部分由于受到铜电极内部循环冷却水的作用温度较低，于是，该部分将会在骤冷骤热的作用下产生裂纹，严重时裂纹会延伸到加热部的上表面，最后导致加热器无法使用。
实用新型内容
[0003] 本实用新型旨在提供一种单晶炉及其加热装置，以解决现有技术的热场装置中的加热器容易在骤冷骤热的作用下发生损坏的问题。
[0004] 为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，提供了一种热场装置，，包括：加热器；石墨电极，加热器与石墨电极连接；石墨垫片，石墨垫片安装在加热器和石墨电极之间。
[0005] 进一步地，热场装置还包括支脚部，支脚部的一端与加热器相连，支脚部的另一端可拆卸地安装在石墨电极上。
[0006] 进一步地，支脚部为L形。
[0007] 进一步地，加热器与支脚部为一体结构，且石墨垫片安装在支脚部和石墨电极之间。
[0008] 进一步地，加热器与支脚部为分体结构，且石墨垫片安装在支脚部和加热器之间。[0009] 进一步地，支脚部通过螺栓固定在石墨电极上。
[0010] 进一步地，热场装置还包括：石墨碳纸，石墨碳纸安装在石墨垫片和加热器之间。[0011] 进一步地，石墨垫片和石墨电极之间也安装有石墨碳纸。
[0012] 进一步地，热场装置包括多个石墨垫片。
[0013] 本实用新型的另一个方面，提供了一种单晶炉，包括：上述的热场装置。
[0014] 本实用新型在加热器与石墨电极之间安装上石墨垫片，这样，当加热器停止工作时，石墨垫片将会代替加热器承受骤冷骤热，即裂纹将会出现在石墨垫片上，从而有效地防止了加热器产生裂纹以致损坏。
附图说明
[0015] 构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
[0016] 图1示意性示出了本实用新型中的热场装置的结构示意图；以及
[0017] 图2示意性示出了图1中的A部放大图。
[0018] 图中附图标记：10、加热器；12、支脚部；20、石墨电极；30、石墨垫片；40、石墨碳纸；50、螺栓。
具体实施方式
[0019] 以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0020] 本实用新型的提供了一种热场装置，请参照图1和图2，该热场装置包括：加热器10；石墨电极20，加热器10与石墨电极20连接；石墨垫片30，石墨垫片30安装在加热器10和石墨电极20之间。
[0021] 结合图1和图2，本实用新型在加热器10与石墨电极20之间安装上石墨垫片30，这样，当加热器10停止工作时，石墨垫片30将会代替加热器10承受骤冷骤热，即裂纹将会出现在石墨垫片30上，从而有效地防止了加热器10产生裂纹以致损坏。
[0022] 优选地，热场装置还包括支脚部12，支脚部12的一端与加热器10相连，支脚部12的另一端可拆卸地安装在石墨电极20上。在加热器10设置上支脚部12，有利于加热器10与石墨电极20的连接。优选地，支脚部12为L形。
[0023] 优选地，加热器10与支脚部12为一体结构，且石墨垫片30安装在支脚部12和石墨电极20之间。当加热器10与支脚部12为一体结构时，骤冷骤热主要发生在支脚部12上，即支脚部12上容易产生裂纹，故此时将石墨垫片30安装在支脚部12与石墨电极之间。[0024] 优选地，加热器10与支脚部12为分体结构，且石墨垫片30安装在支脚部12和加热器10之间。当加热器10与支脚部12为分体结构时，骤冷骤热主要发生在加热器10的与支脚部12的连接处，即加热器10的与支脚部12的连接处容易产生裂纹，故此时将石墨垫片30安装在加热器10与支脚部12的连接处。
[0025] 优选地，支脚部12通过螺栓50固定在石墨电极20上。
[0026] 优选地，热场装置还包括：石墨碳纸40，石墨碳纸40安装在石墨垫片30和加热器10之间。这样，可以避免石墨垫片30与加热器10粘连在一起。
[0027] 优选地，石墨垫片30和石墨电极20之间也安装有石墨碳纸40。这样，同样可以避免石墨垫片30与加热器10粘连在一起。
[0028] 优选地，热场装置包括多个石墨垫片30。优选地，热场装置包括两个石墨垫片。这样，可以加强对加热器10的保护效果。
[0029] 本实用新型的另一个方面，提供了一种单晶炉，包括：上述的热场装置。
[0030] 以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
图1
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