一种碳化硅内部激光聚焦平面检测方法及系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113552112 A (43)申请公布日 2021.10.26

(21)申请号 CN202110825592.0

(22)申请日 2021.07.21

(71)申请人北京大学

地址 100089 北京市海淀区颐和园路5号

(72)发明人王振宇李娟王添瑜

(74)专利代理机构 11577 北京知呱呱知识产权代理有限公司

代理人陈晨

(51)Int.CI

G01N21/65(20060101)

G01N21/01(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种碳化硅内部激光聚焦平面检测方法及系统

(57)摘要

本申请公开了一种碳化硅内部激光聚焦平面检测方法及系统。该系统包括位移台和光束耦合的皮秒脉冲激光和共聚焦拉曼发生器，通过皮秒激光聚焦对待检测碳化硅内部形成损伤，并得到标准碳化硅拉曼光谱的拉曼峰位置；调整待检测碳化硅在Z轴上的位置得到多个拉曼采样点的拉曼信号；根据采样点的拉曼峰位置与标准碳化硅拉曼光谱的拉曼峰位置相比得到采样点的拉曼峰位移；进而通过双轴模型计算得到每个拉曼采样点的拉曼残余应力，根据拉曼残余应力最大时所对应的采样点位置确定真实聚焦平面位置。本申请可以实现小范围短时间内对拉曼残余应力的原位检测，快速测量皮秒脉冲激光的实际聚焦平面的位置，计算与设定聚焦平面的误差。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-10-26	公开	公开
2021-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-08-02	授权	发明专利权授予