一种低损伤刻蚀多孔有机硅酸盐材料的方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114566431 A (43)申请公布日 2022.05.31

(21)申请号 CN202210155688.5

(22)申请日 2022.02.21

(71)申请人中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

地址 057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号

(72)发明人陈润泽尚青花莹曦马领军罗雪薇姜世楠刘宇腾张心智

(74)专利代理机构西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人张伟花

(51)Int.CI

H01L21/311

H01L21/768

H01L21/67

H01L21/02

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种低损伤刻蚀多孔有机硅酸盐材料的方法

(57)摘要

本发明提供了一种低损伤刻蚀多孔有机硅酸盐材料的方法，该方法为：将多孔有机硅酸盐材料至于刻蚀系统中，并将刻蚀系统预冷至温度为‑60℃～‑40℃，在温度为‑60℃～‑40℃的条件下，向预冷后的刻蚀系统中通入SF6和C4F6混合气体，刻蚀系统对多孔有机硅酸盐材料进行等离子刻蚀，得到低损伤刻蚀多孔有机硅酸盐材料。本发明能够大幅降低等离子体刻蚀过程中对多孔有机硅酸盐材料的损伤。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-05-31	公开	发明专利申请公布
2022-06-17	实质审查的生效IPC(主分类):H01L21/311专利申请号:2022101556885申请日:20220221	实质审查的生效