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布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器[发明专利]

专利名称：布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器

专利类型：发明专利

发明人：李林萍，盛荆浩，江舟

申请号：CN202010858769.2

申请日：20200824

公开号：CN112152581B

公开日：

20220208

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：公开了一种布拉格声波反射结构的制作方法，包括在衬底上制作由第一介质层和第二介质层依次叠加而成的反射层组；对反射层组中的第二介质层进行离子注入以增大第二介质层的声阻抗。还公开了一种利用上述方法制造而成的布拉格声波反射层结构，该布拉格反射层结构具有平坦的反射层，以及包括该布拉格声波反射层结构的固态装配谐振器，其还包括设置在布拉格声波反射层上的底电极层、压电层和顶电极层。该布拉格声波反射层结构的工艺无需使用蚀刻以及CMP工艺，成本大幅减少，利用离子注入的工艺在制备高质量的高声阻抗介质反射层的同时未被注入区域因具有绝缘性抑制了寄生电容的产生，且能够获得高频率和超高频率的声波谐振器的反射层。

申请人：杭州星阖科技有限公司

地址：310016 浙江省杭州市上城区钱江国际商务中心1416室

国籍：CN

代理机构：厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：陈远洋

本文发布于:2024-09-20 12:25:48，感谢您对本站的认可！

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