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一种缺陷检测装置及缺陷检测方法[发明专利]

专利名称：一种缺陷检测装置及缺陷检测方法专利类型：发明专利

发明人：伊凯

申请号：CN202010485254.2

申请日：20200601

公开号：CN111610197A

公开日：

20200901

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，缺陷检测装置包括样品台、照明模块、缺陷检测模块和照明调整模块，样品台包括透明部，透明部用于承载待测样品，照明模块用于出射检测光束，并入射至待测样品，照明模块包括第一照明光源，第一照明光源用于向待测样品发射第一检测光束，照明调整模块设置于透明部背离待测样品的一侧，用于获取第一检测光束经待测样品后的透射光束的光强，并根据透射光束的光强确定照明模块的光强调整量，照明模块还用于根据光强调整量调节出射的检测光束的光强，缺陷检测模块用于获取待测样品的图像信息，并对图像信息进行缺陷检测。本发明提供的缺陷检测装置及缺陷检测方法，提高了缺陷检测的准确度。

申请人：上海御微半导体技术有限公司

地址：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：孟金喆

本文发布于:2024-09-25 09:31:40，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/4/442506.html

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