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一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法[发明专利]

专利名称：一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法

专利类型：发明专利

发明人：韩丹，桑胜波，冀健龙，张强，李强，张虎林，禚凯，袁仲云申请号：CN202010339601.0

申请日：20200426

公开号：CN111664974A

公开日：

20200915

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法，属于柔性应力传感器技术领域；具体是将黑磷晶粒旋涂至衬板后，将衬板连同赤磷、碘、锡装入石英管中封管；经过常压加热并保温一定时间后得到黑磷薄膜，将黑磷薄膜封装在上层PDMS微薄膜基底和下层图形化PDMS微薄膜基底中并连接电极制备得到柔性压力传感器，其中采用FIB技术对PDMS微薄膜进行图形化加工；本发明在衬底表面形成大量形核点，极大提高了黑磷在衬底表面的成膜面积和成膜质量，黑磷薄膜悬空，增加薄膜应变量，进而提高传感性能，从而灵活、方便的实现了超灵敏柔性应力传感器。

申请人：太原理工大学

地址：030024 山西省太原市迎泽西大街79号

国籍：CN

代理机构：太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙)

本文发布于:2024-09-20 22:38:58，感谢您对本站的认可！

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标签：薄膜黑磷柔性传感器专利应力制备代理

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