专利名称：液处理装置和液处理装置的示教方法专利类型：发明专利 发明人：桾本裕一朗，水篠真一，羽山隆史，饭田成昭申请号：CN201910106647.5
申请日：20190202
公开号：CN110137104A
公开日：
20190816
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供液处理装置和液处理装置的示教方法，在使进行液处理用的喷嘴的卡合部与喷嘴搬送体的被卡合部卡合来搬送喷嘴的液处理装置中，能够容易且准确地设定用于形成卡合的被卡合部的位置。装置构成为，具备：摄像部，其设置于喷嘴搬送体，以分别检测喷嘴搬送体的被卡合部分别位于第一高度和第二高度时的被卡合部在横向上的第一位置和第二位置，并且所述摄像部在被卡合部分别位于第一高度和第二高度时拍摄设置于进行待机的所述喷嘴的目标物来获取图像数据；控制部，其基于用于在被卡合部与卡合部之间形成卡合的第三高度，求出用于形成所述卡合的横向上的第三位置，并且输出控制信号以在第三高度以及第三位置形成卡合。 申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：刘新宇
豫公网安备41160202000603
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