载置台、检查装置和检查方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114496838 A (43)申请公布日 2022.05.13

(21)申请号 CN202111212812.9

(22)申请日 2021.10.18

(71)申请人东京毅力科创株式会社

地址日本东京都

(72)发明人河西繁太田智浩

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

H01L21/67

H01L21/683

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

载置台、检查装置和检查方法

(57)摘要

本发明提供一种载置台、检查装置和检查方法。本发明的载置台，其上表面载置处理对象的器件，包括：具有所述器件的载置面的顶板；对所述顶板进行加热的加热单元；多个温度传感器，其在俯视时的所希望的测量位置获取所述顶板的温度；和定位单元，其与所述温度传感器电连接，将所述温度传感器定位在俯视时的所述测量位置，所述定位单元由具有挠性的柔性电路板构成。根据本发明，能够在不降低检查装置中的载置台的构造上的强度的同时，减小检查对象的器件的实际温度与由温度传感器测量的上述器件的测量温度之间产生的差。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-05-31	实质审查的生效IPC(主分类):H01L21/67专利申请号:2021112128129申请日:20211018	实质审查的生效
2022-05-13	公开	发明专利申请公布