专利名称：一种多冗余安全保护的PECVD推舟自动控制系统专利类型：实用新型专利 发明人：钟新华，易文杰，王迪平，罗宏洋，孙雪平，胡振东
申请号：CN201220171879.2
申请日：20120421
公开号：CN202576562U
公开日：
20121205
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种多冗余安全保护的PECVD推舟自动控制系统，属于PECVD推舟保护设备领域。为了防止石英管和石墨舟被损坏，本实用新型包括炉门和桨，桨水平运动轴电机与编码器，桨垂直运动轴电机与编码器，桨水平运动左、右极限位传感器，桨垂直运动上、下极限位，桨倾角检测传感器，桨上下舟位置保护传感器，炉门开、关到位传感器；所述桨水平运动左、右极限位传感器，桨垂直运动上、下极限位，桨倾角检测传感器，桨上下舟位置保护传感器，炉门开、关到位传感器的信号输出端均与PLC控制系统的信号输入端相连。本实用新型极大地提高了PECVD推舟的安全性和可靠性。 申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
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