专利类型：实用新型专利
发明人：李国强
申请号：CN201921406463.2申请日：20190827
公开号：CN210444236U
公开日：
20200501
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供一种FBAR滤波器，FBAR滤波器包括：键合衬底，键合衬底一侧设置有与第一键合层键合连接的第二键合层，支撑层设置在第一键合层远离第二键合层的一侧；第一电极，第一电极设置在支撑层远离第一键合层的一侧，支撑层空腔贯穿支撑层、第二键合层且两端分别接触第一电极、键合衬底；压电薄膜，压电薄膜设置在第一电极远离支撑层一侧，电极上引结构贯穿压电薄膜与第一电极连接，顶电极设置在压电薄膜远离第一电极一侧，与电极上引结构部分连接；第一通孔，第一通孔贯穿键合衬底与支撑层空腔连接。本实用新型无需设置牺牲层，保留了压电薄膜的完整性，并且这种在键合衬底上开孔的结构设计，结构稳定，不易塌陷，可以很好的改善压电薄膜的品质。 地址：510000 广东省广州市黄埔区金中路23号自编一栋办公区303房
国籍：CN
代理机构：广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人：杨艳
豫公网安备41160202000603
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