一种TMAH回收利用装置

（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）实用新型专利
		（10）申请公布号 CN210613390U（43）申请公布日 2020.05.26

（21）申请号 CN201920983010.X

（22）申请日 2019.06.27

（71）申请人江苏跃华石化工程有限公司

地址 214031 江苏省无锡市南长区红星路8号2号楼306室

（72）发明人王存明

（74）专利代理机构无锡承果知识产权代理有限公司

代理人张亮

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

一种TMAH回收利用装置

（57）摘要

本实用新型提供一种TMAH回收利用装置，包括TMAH储罐，TMAH储罐底部连接进出料双向阀门，进出料双向阀门分别连接TMAH进料管路和循环泵的入口，TMAH循环泵的出口通过TMAH循环管路连接蒸发膜的入口，TMAH循环管路上依次设有单向阀和减压阀，所述蒸发膜顶端的蒸汽出口连接真空管线，底端的废液出口通过TMAH回料管路连接TMAH储罐。本实用新型所述TMAH回收利用装置，利用蒸发膜将TMAH与水进行分离，对TMAH进行加热蒸发浓缩后回收，将无污染的水排出。该装置能有效分离TMAH与水，浓缩度高，可以从3％浓缩至99％，出水COD含量低，可达到排放标准，对环境无污染。

法律状态