单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114457411 A (43)申请公布日 2022.05.10

(21)申请号 CN202111681257.4

(22)申请日 2021.12.31

(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司

地址 710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

(72)发明人邓浩韩伟杜超

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

C30B15/02

C30B15/12

C30B29/06

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置

(57)摘要

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述方法包括：提供炉体、导气管以及加料器，炉体内装有双坩埚和加热器；将硅料装入双坩埚中，双坩埚包括外坩埚以及设置于外坩埚内的内坩埚；将导气管插入双坩埚中，并将加料器的加料管插入外坩埚；采用加热器加热熔化双坩埚内的硅料，得到硅液；通过导气管向双坩埚内通入反应气体，反应气体至少包括含卤气体，以使含卤气体与双坩埚内的硅液或者硅料中的金属杂质反应；通过所述加料管持续向所述外坩埚加入所述硅料，同时从所述内坩埚的硅液中拉晶，以得到单晶硅棒。本申请实施例中，可以减少从硅液中生长拉制的单晶硅棒的杂质，提升单晶硅棒的品质。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-05-10	公开	发明专利申请公布
2022-05-27	实质审查的生效IPC(主分类):C30B15/02专利申请号:2021116812574申请日:20211231	实质审查的生效
2023-09-26	授权	发明专利权授予