一种晶圆搬运机械手及控制方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113664854 A (43)申请公布日 2021.11.19

(21)申请号 CN202111089920.1

(22)申请日 2021.09.17

(71)申请人苏州恒嘉晶体材料有限公司

地址 215699 江苏省苏州市张家港经济技术开发区杨舍镇晨丰公路1436号

(72)发明人徐永亮陆兵钱伟孙磊洪飞钱大伟

(74)专利代理机构 11363 北京弘权知识产权代理有限公司

代理人逯长明;许伟

(51)Int.CI

B25J11/00(20060101)

B25J15/06(20060101)

H01L21/687(20060101)

H01L21/67(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种晶圆搬运机械手及控制方法

(57)摘要

本申请涉及一种晶圆搬运机械手及控制方法，该机械手包括主体框架、升降机构、通过连接组件连接的搬运机构和旋转机构；主体框架包括底板、与底板通过若干导向轴连接的升降机构固定架；搬运机构包括驱动牙叉组件直线运动的第一驱动部件、数显压力开关、驱动激光传感器直线运动的第二驱动部件。该机械手的牙叉组件采用直线驱动方式，重复定位精度高，结构更简单；升降机构采用导向轴进行导向，加强了机械手的稳定性，可以通过连接组件微量调节搬运机构的重心位置，进一步的避免了其在工作过程中发生较大的震动。该控制方法包括该机械手在不同工作状态时的不同动作过程的具体控制方法，该控制方法的步骤简单，控制精度高。

法律状态