材料真空放气率的测试方法及装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114112788 A (43)申请公布日 2022.03.01

(21)申请号 CN202111293223.8

(22)申请日 2021.11.03

(71)申请人清华大学

地址 100084 北京市海淀区清华园

(72)发明人刘相波成荣张鸣朱煜

(74)专利代理机构 11327 北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人董永辉;曹素云

(51)Int.CI

G01N7/14(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

材料真空放气率的测试方法及装置

(57)摘要

一种材料真空放气率的测试方法及装置，包括：用真空泵对真空腔室抽真空，记录第一真空度变化曲线；将真空腔室内充入填充气体，再对真空腔室抽真空，记录第二真空度变化曲线；比较第一、第二真空度变化曲线，如不重合度超过阈值，则重复获得第二真空度变化曲线，直至前后两次第二真空度变化曲线的不重合度小于阈值；将被测材料放入真空腔室，关闭真空腔室并停止充入填充气体；再次用真空泵对真空腔室进行抽真空，记录第三真空度变化曲线；通过最后一次第二真空度变化曲线、第三真空度变化曲线，真空泵极限真空、真空泵有效抽速和真空腔室本底气载，计算被测材料放气率。本发明不需要知道真空腔体的材料、漏率等信息，即可获得被测材料的放气率。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-03-01	公开	发明专利申请公布
2022-03-18	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 7/14专利申请号:2021112932238申请日:20211103	实质审查的生效