发明人:张振厚,王光玉,孔祥玲申请号:CN201010199127.2申请日:20100612
公开号:CN102278295A
公开日:
20111214
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摘要:本发明公开一种真空泵用排气口结构,包括入口法兰、出口法兰,其特征在于:还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆止阀,所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内,所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联。本发明具有如下优点:1.适用于任意真空泵,特别是使用工艺复杂,反应尾气充满粉尘颗粒的真空泵。2.防止排气口由于粉尘堆积导致的堵塞和外部气体返流,避免真空泵性能下降。 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
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国籍:CN
代理机构:沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人:俞鲁江