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机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法[发明专利]

专利名称：机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法专利类型：发明专利

发明人：张哲，董海龙

申请号：CN201310661863.9

申请日：20131209

公开号：CN104699019A

公开日：

20150610

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明揭示了一种机台恢复检验方法，包括：填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。本发明还揭示了一种应用该方法的机台恢复检验系统。本发明的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

本文发布于:2024-09-22 01:08:27，感谢您对本站的认可！

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