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一种阵列式多孔氧化物薄膜的模板法制备工艺[发明专利]

专利名称：一种阵列式多孔氧化物薄膜的模板法制备工艺专利类型：发明专利

发明人：杨为家，王凤鸣，关则毅，何鑫，曾庆光

申请号：CN202010697828.2

申请日：20200720

公开号：CN111959006A

公开日：

20201120

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明实施例提供了一种阵列式多孔氧化物薄膜的模板法制备工艺，该制备工艺先先在阵列式凸起模板的凸起面进行涂覆和固化处理，得到表面覆盖有有机隔离层的阵列式凸起模板，再将阵列式凸起模板浸入前驱体溶液中，待所述的凸起面润湿后，将衬底固定于所述的凸起面上，得到复合模具，然后将所述复合模具从前驱体溶液中移出，最后将复合模具烘干后进行程序升温加热，冷却后脱模即得所述的阵列式多孔氧化物薄膜。

申请人：五邑大学

地址：529000 广东省江门市蓬江区东成村22号

国籍：CN

代理机构：广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：肖云

本文发布于:2024-09-22 03:41:07，感谢您对本站的认可！

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