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一种晶圆处理设备的前端模块[实用新型专利]

专利名称：一种晶圆处理设备的前端模块

专利类型：实用新型专利

发明人：李刚，包杰，曾庆峰，谢海波，张志雄，梁玲，彭绍扬申请号：CN202020946658.2

申请日：20200529

公开号：CN212412024U

公开日：

20210126

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本申请实施例公开一种晶圆处理设备的前端模块，包括：晶圆传送室、晶圆装载端口、缓冲单元以及第一气流提供单元；其中，所述晶圆装载端口，与所述晶圆传送室连通，配置为放置装载晶圆的晶圆传送盒；所述缓冲单元，位于所述晶圆传送室内，配置为在所述晶圆装载端口放置所述晶圆传送盒之前，保管所述晶圆传送盒；所述第一气流提供单元，配置为提供阻隔在所述晶圆装载端口与所述缓冲单元之间的气流。

申请人：长江存储科技有限责任公司

地址：430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

国籍：CN

代理机构：北京派特恩知识产权代理有限公司

本文发布于:2024-09-23 13:26:40，感谢您对本站的认可！

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