在不锈钢、合金表面制备绝缘层[发明专利]

专利名称:在不锈钢合金表面制备绝缘层专利类型:发明专利
发明人:叶申生,王俭
申请号:CN96116945.1
申请日:19960528
公开号:CN1168421A
公开日:
19971224
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明提供了一种在不锈钢、合金表面制备绝缘层,作有关元器件衬底或绝缘体。其特征是只要依Al、Cr元素产生纯化膜的不锈钢与合金,均可用微电子半导体工艺中制备AlO的通用设备和方法,制备该种不锈钢与合金表面AlO绝缘层,单一膜龟裂厚度≥4000 。
申请人:王俭
地址:441052 湖北省襄樊市航空工业总公司609所退休办
国籍:CN
代理机构:江苏省专利事务所
代理人:徐冬涛

本文发布于:2024-09-21 05:25:45,感谢您对本站的认可!

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标签:制备   不锈钢   专利   合金
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