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...及其制备方法、性能标定系统和标定方法[发明专利]

专利名称：MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法

专利类型：发明专利

发明人：王驰，陈伟

申请号：CN202210082560.0

申请日：20220124

公开号：CN114509149A

公开日：

20220517

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种MEMS光纤声振动传感器及其制备方法、性能标定系统和标定方法。传感器以硅晶片为基底，在硅晶片上部有二氧化硅层和氮化硅层，在二氧化硅层下部有金层；超小光纤镜头封装在陶瓷插芯内。本发明标定系统包括扫频激光器、宽带50/50熔融耦合器、环形器、标准声压计、MEMS光纤声振动传感器、扬声器、信号发生器、光纤准直器、平面反射镜、光电平衡探测器、数据采集卡、计算机。标定方法：将传感器和标准声压计同距离正对扬声器，通过调节信号发生器输入信号电压，发射声压大小不同的声音信号，标准声压计用于检测传感器所受声压大小，信号解调后得到传感器薄膜振动幅值，获得传感器薄膜振动幅值与声压大小关系，得到传感器的声压灵敏度标定函数。本发明可实现干涉光信号的解调，达到还原声音信号的目的，适用于电磁干扰、易燃易爆、狭长深孔空间等恶劣环境的声音信息采集。

申请人：上海大学

地址：200444 上海市宝山区上大路99号

国籍：CN

本文发布于:2024-09-20 17:27:02，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/4/428940.html

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