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一种闪光灯退火炉[发明专利]

专利名称：一种闪光灯退火炉

专利类型：发明专利

发明人：于仕辉，赵乐，刘荣闯，李玲霞，孙永涛申请号：CN201810264998.4

申请日：20180328

公开号：CN108447804A

公开日：

20180824

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种闪光灯退火炉，壳体内部为真空腔，真空腔的侧面设置有真空计和进气阀，底部设置有抽气阀，另一侧设置有真空腔门，真空腔门上设置有观察窗；真空腔的顶部分别设置有高能闪光灯、锥形反光镜和凸透镜以实现高能光的聚集；中间部位设置有滤光片、样品挡板、挡板支架，样品挡板通过挡板支架进行转动以遮挡和保护制品；样品挡板的下面设置有样品台和样品台转轴，样品台通过样品台转轴匀速转动并与外部水冷装置相连接；壳体的外部还设置有脉冲发生器和功率源，脉冲发生器与两高能闪光灯通过电线连接电源。本发明解决了有机柔性衬底上无机非金属薄膜晶化的技术难题，成本低廉，理念先进，推动了电子技术的发展。

申请人：天津大学

地址：300072 天津市南开区卫津路92号

国籍：CN

代理机构：天津市北洋有限责任专利代理事务所

代理人：张宏祥

本文发布于:2024-09-20 11:31:49，感谢您对本站的认可！

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