一种新型超高真空环境下使用的光学狭缝装置[实用新型专利]

专利名称:一种新型超高真空环境下使用的光学狭缝装置专利类型:实用新型专利
发明人:卢启鹏
申请号:CN99256949.4
申请日:19991216
公开号:CN2405203Y
公开日:
20001108
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明属于光学精密机械技术领域,涉及一种对高真空环境下使用的光学狭缝装置的改进。它包括测微螺杆、波纹管、真空壳体、直线导轨副、楔形滑块、平行四边形机构、狭缝缝片、滚动推杆,采用平行四边形机构装夹狭缝缝片保证狭缝缝片在横向导轨的情况下精密连续横向平移。采用直线导轨副保证楔形滑块精密运动并可与超高真空环境兼容。采用直线导轨副和平行四边形机构配合使用使得狭缝缝片开口精度、开口对称性达到微米量级。
申请人:中国科学院长春光学精密机械研究所
地址:130022 吉林省长春市人民大街140号
国籍:CN
代理机构:中国科学院长春专利事务所
代理人:梁爱荣

本文发布于:2024-09-23 05:24:24,感谢您对本站的认可!

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