专利名称：一种加速度计中的Z轴结构专利类型：发明专利 发明人：郑国光
申请号：CN201510051755.9
申请日：20150130
公开号：CN104614553A
公开日：
20150513
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供了一种加速度计中的Z轴结构，包括相对于衬底在Z轴方向上来回移动的质量块，所述质量块的侧壁上设置有第一可动电极极片、第二可动电极极片；还分别设有朝由X轴、Y轴组成的平面方向伸出的第一固定电极极片、第二固定电极极片。本发明的Z轴加速度计，摒弃了下极板结构，从而摆脱了下极板对Z轴加速度计的限制，使质量块的运动模式不再是跷跷板式的运动，而是在Z轴方向上、下平动，减小了Z轴加速度计的寄生电容，提高了检测的精度；避免可动质量块与衬底的接触，提高了芯片的可靠性；由于质量块和固定电极在同一层上，首先可以达到比传统Z轴结构更好的一致性，而且可以将锚点设计的更为集中，降低芯片对温度和应力变化的敏感度。 申请人：歌尔声学股份有限公司
地址：261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
国籍：CN
代理机构：北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
豫公网安备41160202000603
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