一种正胶显影液自动配制装置的制作方法

1.本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域，特别是涉及一种正胶显影液自动配制装置。

背景技术：

2.tmah，即四甲基氢氧化铵可以作为光刻制程中的正胶显影液，其配置方法使将四甲基氢氧化铵储罐内的四甲基氢氧化铵输送至配制罐中，由清水储罐向配制罐通入清水对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4％，在配制罐中按照3:1:1 的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38％，其中通入的聚乙二醇为表面活性剂，可以使得正胶显影液成品的表面张力由传统的75～76mn/m降低至48～52mn/m，通入的氢氧化钾为添加剂，使得正胶显影液成品在空气中先由氢氧化钾于二氧化碳发生反应，从而避免四甲基氢氧化铵与二氧化碳接触发生反应，避免形成斑点。
3.现有的正胶显影液的配制目前都是由人工完成，人工配制过程繁琐、劳动强度大、精度低、容易出差错，而且存在危险性大、人力成本高等缺点，并且各组分之间的混合不够均匀，影响产品品质。
4.因此，现在亟需设计一种能解决上述问题的一种正胶显影液自动配制装置。

技术实现要素：

5.为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种正胶显影液自动配制装置。
6.本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制罐，所述配制罐的顶部设有置放箱，所述置放箱的内部设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆，所述长杆的一端贯穿延伸至配制罐的内部，所述长杆的顶部外壁呈螺纹设置，所述长杆的顶部外壁与配制罐的内壁呈螺纹连接，所述长杆的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆，所述配制罐的底部设有底座，所述底座的内部设有清理组件。
7.优选的，所述置放箱的内部设有第二电机，所述第二电机的输出端通过转轴固定连接有转块，所述转块的前侧一端固定连接有限位块，所述置放箱的内部两端设有滑轨，两个所述滑轨的内壁滑动连接有弧形槽，所述弧形槽的一侧固定连接有固定块，所述固定块与长杆转动连接。
8.优选的，所述清理组件包括有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴贯穿延伸至配制罐的内部，所述转轴的一侧外壁固定连接有连接杆，所述连接杆的外壁一端固定连接有清理刷。
9.优选的，所述配制罐的一侧设有四甲基氢氧化铵储罐，所述四甲基氢氧化铵储罐的顶部设有第一水泵，所述第一水泵的两端均密封连接有第一输送管，所述其中一个第一输送管的一端贯穿延伸至四甲基氢氧化铵储罐的内部，所述另一个第一输送管的一端贯穿延伸至配制罐的内部。
10.优选的，所述配制罐远离四甲基氢氧化铵储罐的一侧设有水洗槽，所述水洗槽的顶部设有两个气泵，所述其中一个气泵的两端均密封连接有第四输送管，所述其中一个第四输送管的一端贯穿延伸至水洗槽的内部，所述另一个第四输送管的一端贯穿延伸至配制罐的内部，所述另一个气泵的两端密封连接有第三输送管，所述其中一个第三输送管的一端贯穿延伸至水洗槽的内部，所述水洗槽的一侧设有氨气罐，所述另一个第三输送管的一端贯穿延伸至氨气罐的内部。
11.优选的，所述氨气罐的一侧设有氢氧化钾储罐，所述氢氧化钾储罐的顶部设有第二水泵，所述第二水泵的两端密封连接有第五输送管，所述其中一个第五输送管的一端贯穿延伸至氢氧化钾储罐的内部，所述另一个第五输送管的一端贯穿延伸至配制罐的内部。
12.优选的，所述置放箱的一侧设有进水管，所述远离四甲基氢氧化铵储罐的一侧设有聚乙二醇进液口，所述配制罐的前侧开设有可视窗，所述配制罐的一侧开设有出料口，所述出料口的内部设有塞子，所述配制罐的前侧设有控制按钮。
13.本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型通过搅拌组件的设置，对配制罐内的液体进行充分的搅拌混合，具体是第二电机，第二电机带动转块转动，转块带动限位块转动，限位块带动弧形槽在滑轨内滑动，弧形槽带动长杆移动，长杆因为跟配制罐螺纹连接，长杆在向下的同时进行转动，稳定提高配制的效率，并能确保产品质量，实现自动化配置，节省人工费，操作简单，实用性强。
15.2、通过清理组件的设置，在正胶显影液配制完成后，对配制罐进行清洗，防止影响下一次的正胶显影液的配制。
附图说明
16.图1为本实用新型的整体结构剖视图；
17.图2为本实用新型的整体结构正视图；
18.图3为本实用新型的第二电机与转块连接结构示意图；
19.图4为本实用新型的图1中a处结构放大图。
20.附图标记：1、配制罐；2、底座；3、置放箱；4、四甲基氢氧化铵储罐； 5、第一输送管；6、第一水泵；7、第一电机；8、进水管；9、聚乙二醇进液口；10、可视窗；11、气泵；12、第三输送管；13、第四输送管；14、水洗槽； 15、第二水泵；16、氢氧化钾储罐；17、连接杆；18、氨气罐；19、第五输送管；20、第二电机；21、转块；22、限位块；23、弧形槽；24、长杆；25、搅拌杆；26、出料口；27、清理刷；28、控制按钮。
具体实施方式
21.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
22.如图1-4所示，本实用新型提供了一种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制
罐1，所述配制罐1的顶部设有置放箱3，所述置放箱3的内部设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆24，所述长杆24的一端贯穿延伸至配制罐1的内部，所述长杆24的顶部外壁呈螺纹设置，所述长杆24的顶部外壁与配制罐1的内壁呈螺纹连接，所述长杆24的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆25，所述配制罐1的底部设有底座2，所述底座2的内部设有清理组件，在使用本装置时，将四甲基氢氧化铵储罐4内的四甲基氢氧化铵输送至配制罐1 中，将清水从进水管8通入到对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4％，在配制罐1 中按照3:1:1的比例从聚乙二醇进液口9通入聚乙二醇，然后将氨气罐18内的气进过水洗槽14水洗后的氨气，输送到配制罐1内部，将氢氧化钾从氢氧化钾储罐16输入到配制罐1中，然后启动第二电机20，第二电机20带动转块 21转动，转块21带动限位块22转动，限位块22带动弧形槽23在滑轨内滑动，弧形槽23带动长杆24移动，长杆24因为跟配制罐1螺纹连接，长杆24在向下的同时进行转动，对配制罐1内的液体进行充分的搅拌混合，提高配制的效率，不会影响产品品质，通过清理组件的设置，在正胶显影液配制完成后，对配制罐进行清洗，防止影响下一次的正胶显影液的配制。
23.进一步的，在上述技术方案中，所述清理组件包括有第一电机7，所述第一电机7的输出端固定连接有转轴，所述转轴贯穿延伸至配制罐1的内部，所述转轴的一侧外壁固定连接有连接杆17，所述连接杆17的外壁一端固定连接有清理刷27，通过清理组件的设置，在正胶显影液配制完成后，对配制罐1进行清洗，防止影响下一次的正胶显影液的配制。
24.进一步的，在上述技术方案中，所述配制罐1的一侧设有四甲基氢氧化铵储罐4，所述四甲基氢氧化铵储罐4的顶部设有第一水泵6，所述第一水泵6 的两端均密封连接有第一输送管5，所述其中一个第一输送管5的一端贯穿延伸至四甲基氢氧化铵储罐4的内部，所述另一个第一输送管5的一端贯穿延伸至配制罐1的内部。
25.进一步的，在上述技术方案中，所述配制罐1远离四甲基氢氧化铵储罐4 的一侧设有水洗槽14，所述水洗槽14的顶部设有两个气泵11，所述其中一个气泵11的两端均密封连接有第四输送管13，所述其中一个第四输送管13的一端贯穿延伸至水洗槽14的内部，所述另一个第四输送管13的一端贯穿延伸至配制罐1的内部，所述另一个气泵11的两端密封连接有第三输送管12，所述其中一个第三输送管12的一端贯穿延伸至水洗槽14的内部，所述水洗槽14 的一侧设有氨气罐18，所述另一个第三输送管12的一端贯穿延伸至氨气罐18 的内部。
26.进一步的，在上述技术方案中，所述氨气罐18的一侧设有氢氧化钾储罐 16，所述氢氧化钾储罐16的顶部设有第二水泵15，所述第二水泵15的两端密封连接有第五输送管19，所述其中一个第五输送管19的一端贯穿延伸至氢氧化钾储罐16的内部，所述另一个第五输送管19的一端贯穿延伸至配制罐1的内部。
27.进一步的，在上述技术方案中，所述置放箱3的一侧设有进水管8，所述配制罐1远离四甲基氢氧化铵储罐4的一侧设有聚乙二醇进液口9，所述配制罐1的前侧开设有可视窗10，所述配制罐1的一侧开设有出料口26，所述出料口26 的内部设有塞子，所述配制罐1的前侧设有控制按钮28。
28.进一步的，在上述技术方案中，所述置放箱3的内部设有第二电机20，所述第二电机20的输出端通过转轴固定连接有转块21，所述转块21的前侧一端固定连接有限位块22，所述置放箱3的内部两端设有滑轨，两个所述滑轨的内壁滑动连接有弧形槽23，所述弧形槽
23与限位块22滑动连接，所述弧形槽 23的一侧固定连接有固定块，所述固定块与长杆24转动连接。
29.工作原理：在使用本装置时，将四甲基氢氧化铵储罐4内的四甲基氢氧化铵输送至配制罐1中，将清水从进水管8通入到对四甲基氢氧化铵进行稀释至 2.4％，在配制罐1中按照3:1:1的比例从聚乙二醇进液口9通入聚乙二醇，然后将氨气罐18内的气进过水洗槽14水洗后的氨气，输送到配制罐1内部，将氢氧化钾从氢氧化钾储罐16输入到配制罐1中，然后启动第二电机20，第二电机20带动转块21转动，转块21带动限位块22转动，限位块22带动弧形槽23在滑轨内滑动，弧形槽23带动长杆24移动，长杆24因为跟配制罐1螺纹连接，长杆24在向下的同时进行转动，对配制罐1内的液体进行充分的搅拌混合，提高配制的效率，不会影响产品品质，通过清理组件的设置，在正胶显影液配制完成后，对配制罐进行清洗，防止影响下一次的正胶显影液的配制。
30.以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：

1.一种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制罐(1)，其特征在于：所述配制罐(1)的顶部设有置放箱(3)，所述置放箱(3)的内部设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆(24)，所述长杆(24)的一端贯穿延伸至配制罐(1)的内部，所述长杆(24)的顶部外壁呈螺纹设置，所述长杆(24)的顶部外壁与配制罐(1)的内壁呈螺纹连接，所述长杆(24)的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆(25)，所述配制罐(1)的底部设有底座(2)，所述底座(2)的内部设有清理组件。2.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置，其特征在于：所述置放箱(3)的内部设有第二电机(20)，所述第二电机(20)的输出端通过转轴固定连接有转块(21)，所述转块(21)的前侧一端固定连接有限位块(22)，所述置放箱(3)的内部两端设有滑轨，两个所述滑轨的内壁滑动连接有弧形槽(23)，所述弧形槽(23)与限位块(22)滑动连接，所述弧形槽(23)的一侧固定连接有固定块，所述固定块与长杆(24)转动连接。3.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置，其特征在于：所述清理组件包括有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端固定连接有转轴，所述转轴贯穿延伸至配制罐(1)的内部，所述转轴的一侧外壁固定连接有连接杆(17)，所述连接杆(17)的外壁一端固定连接有清理刷(27)。4.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置，其特征在于：所述配制罐(1)的一侧设有四甲基氢氧化铵储罐(4)，所述四甲基氢氧化铵储罐(4)的顶部设有第一水泵(6)，所述第一水泵(6)的两端均密封连接有第一输送管(5)，所述其中一个第一输送管(5)的一端贯穿延伸至四甲基氢氧化铵储罐(4)的内部，另一个所述第一输送管(5)的一端贯穿延伸至配制罐(1)的内部。5.根据权利要求4所述一种正胶显影液自动配制装置，其特征在于：所述配制罐(1)远离四甲基氢氧化铵储罐(4)的一侧设有水洗槽(14)，所述水洗槽(14)的顶部设有两个气泵(11)，所述其中一个气泵(11)的两端均密封连接有第四输送管(13)，所述其中一个第四输送管(13)的一端贯穿延伸至水洗槽(14)的内部，所述另一个第四输送管(13)的一端贯穿延伸至配制罐(1)的内部，所述另一个气泵(11)的两端密封连接有第三输送管(12)，所述其中一个第三输送管(12)的一端贯穿延伸至水洗槽(14)的内部，所述水洗槽(14)的一侧设有氨气罐(18)，所述另一个第三输送管(12)的一端贯穿延伸至氨气罐(18)的内部。6.根据权利要求5所述一种正胶显影液自动配制装置，其特征在于：所述氨气罐(18)的一侧设有氢氧化钾储罐(16)，所述氢氧化钾储罐(16)的顶部设有第二水泵(15)，所述第二水泵(15)的两端密封连接有第五输送管(19)，所述其中一个第五输送管(19)的一端贯穿延伸至氢氧化钾储罐(16)的内部，所述另一个第五输送管(19)的一端贯穿延伸至配制罐(1)的内部。7.根据权利要求1所述一种正胶显影液自动配制装置，其特征在于：所述置放箱(3)的一侧设有进水管(8)，所述配制罐(1)远离四甲基氢氧化铵储罐(4)的一侧设有聚乙二醇进液口(9)，所述配制罐(1)的前侧开设有可视窗(10)，所述配制罐(1)的一侧开设有出料口(26)，所述出料口(26)的内部设有塞子，所述配制罐(1)的前侧设有控制按钮(28)。

技术总结

本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域，具体是一种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制罐，所述配制罐的顶部设有置放箱，所述置放箱的内部设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆，所述长杆的一端贯穿延伸至配制罐的内部，所述长杆的顶部外壁呈螺纹设置，所述长杆的顶部外壁与配制罐的内壁呈螺纹连接，所述长杆的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆，本实用新型通过搅拌组件的设置，对配制罐内的液体进行充分的搅拌混合，具体是第二电机，第二电机带动转块转动，转块带动限位块转动，限位块带动弧形槽在滑轨内滑动，弧形槽带动长杆移动，长杆因为跟配制罐螺纹连接，长杆在向下的同时进行转动，稳定提高配制的效率，确保产品质量，实用性强。实用性强。实用性强。