(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201820368690.X
(22)申请日 2018.03.19
(73)专利权人 玄创半导体设备（上海）有限公司
地址 200942 上海市宝山区蕰川路5475号4
幢部分4178室
(72)发明人 赵德闻
(74)专利代理机构 上海宏京知识产权代理事务
所(普通合伙) 31297
代理人 邓文武
(51)Int.Cl.
B65D 55/14(2006.01)
B65D 47/06(2006.01)
(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(54)实用新型名称
(57)摘要
本实用新型涉及一种具有瓶盖锁的设备端
光阻瓶，包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的
接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁装置，瓶盖锁装置
包括气缸销，气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的
下伸出与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预
见的接触锁定瓶盖状态，气缸推动锁销向上缩回
与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的非
接触解锁瓶盖状态。本实用新型采用瓶盖锁锁定
瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，具有能避免操
作失误导致事故的特点。权利要求书2页 说明书4页 附图5页CN 207985662 U 2018.10.19
C N 207985662
U
1.一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征是包括瓶体，所述瓶体包括瓶颈、瓶身，所述瓶颈的外侧上设有瓶把手，所述瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，所述瓶盖上设有瓶盖锁装置，所述瓶盖锁装置包括气缸销，所述气缸销通过气缸销座固定在所述瓶盖的边沿上，所述气缸销包括气缸、锁销，所述气
缸推动所述锁销向下伸出与所述瓶盖周向旋转路线上的所述瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态，所述气缸推动所述锁销向上缩回与所述瓶盖周向旋转路线上的所述瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。
2.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述瓶盖的外侧是柱面，所述气缸销座包括平台板，所述平台板是扇形板结构，所述平台板的下面固定立设有定位侧板，所述定位侧板的定位侧面与所述瓶盖的外侧贴合定位，所述平台板的内弧端通过连接件固定在所述瓶盖的边沿上，所述平台板的外弧端上设有气缸销固定通孔，所述锁销穿过所述气缸销固定通孔做升降运动。
3.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述气缸内设有活塞，所述活塞的下面与所述锁销的连接端固定连接，所述活塞的上方设有气腔A，所述活塞的下方设有气腔B，所述气腔B与外部高压气源连通，开启所述外部高压气源，所述活塞在所述气腔B内高压的作用下带动所述锁销向上运动形成解锁状态，关闭所述外部高压气源，所述气腔B内的高压消失，所述活塞在所述气腔A内高压、活塞自身重力的作用下带动所述锁销向下运动形成锁定状态。
4.根据权利要求3所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述外部高压气源与所述气腔B连通的管道上设有电磁阀，设备端或网络光阻管理后台通过控制所述电磁阀的启闭状态控制所述瓶盖锁装置的工作状态。
5.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述气缸内设有活塞，所述活塞的下
面与所述锁销的连接端固定连接，所述活塞的上方设有微型泵，所述活塞与所述微型泵间设有气腔A，所述活塞的下方设有气腔B，所述气腔B的下部的所述气缸内壁上设有活塞限位板，所述活塞限位板将所述气腔B分成所述活塞限位板上方的气腔C、所述活塞限位板下方的气腔D，所述微型泵的进气口与所述气腔A连通，所述微型泵的出气口与所述气腔D连通，启动所述微型泵，所述微型泵将所述气腔A内的气体泵入所述气腔B，所述活塞在所述气腔B内高压的作用下带动所述锁销向上运动形成解锁状态，关闭所述微型泵，所述气腔B内的高压消失，所述活塞在自身重力作用下带动所述锁销向下运动形成锁定状态。
6.根据权利要求5所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述微型泵包括微型泵无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过所述微型泵无线控制模块控制所述微型泵的启闭状态来控制所述瓶盖锁装置的工作状态。
7.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述气缸内设有活塞，所述活塞的下面与所述锁销的连接端固定连接，所述活塞的上方设有气腔A，所述活塞的下方设有锁销驱动装置，所述活塞与所述锁销驱动装置间设有气腔B，所述锁销驱动装置与所述锁销形成螺纹传动连接，所述锁销驱动装置通过所述螺纹传动连接驱动所述锁销升降形成解锁或锁定状态。
8.根据权利要求7所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述锁销驱动装置包括驱动无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过所述驱动无线控制模块控制所述
锁销驱动装置的启闭状态来控制所述瓶盖锁装置的工作状态。
9.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述瓶盖上设有进气管、出液管，所述瓶身内的底面是漏斗锥面，所述底面的最低处向下开设有聚料孔，所述出液管的下端头向下延伸入所述聚料孔，进气管输入的正压将所述瓶身内的光阻液从所述出液管排出。
10.根据权利要求9所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，其特征在于，所述出液管的下端包括弹性扩容段、平头缺吸口，所述平头缺吸口包括吸口外沿，所述吸口外沿上开有平头缺口，扭紧所述瓶盖，所述平头缺吸口与所述聚料孔底部接触压缩所述弹性扩容段，扭开所述瓶盖，所述弹性扩容段在自身弹性应力的作用下扩展吸收所述平头缺吸口内的残留光阻液。
一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种光阻瓶，特别涉及一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，属于光阻剂容器领域。
背景技术
[0002]光阻剂是一种光敏材料，应用于光刻技术，在材料表面刻上一个图案的被覆层。现行比较常见的
光阻瓶是设有瓶盖的玻璃瓶，瓶盖上安装进气管、出液管，进气管向瓶内施压，光阻液剂从出液管输出。由于设备内有若干不同类型的光阻剂，但光阻剂容器的外形相同，不方便区分，操作人员容易在更换光阻的过程中发生错误，导致产品出现异常或者报废。
实用新型内容
[0003]本实用新型具有瓶盖锁的设备端光阻瓶公开了新的方案，采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，解决了现有方案无相关保险措施的问题。
[0004]本实用新型具有瓶盖锁的设备端光阻瓶包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的外侧上设有瓶把手，瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁装置，瓶盖锁装置包括气缸销，气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上，气缸销包括气缸、锁销，气缸推动锁销向下伸出与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态，气缸推动锁销向上缩回与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。[0005]进一步，本方案的瓶盖的外侧是柱面，气缸销座包括平台板，平台板是扇形板结构，平台板的下面固定立设有定位侧板，定位侧板的定位侧面与瓶盖的外侧贴合定位，平台板的内弧端通过连接件固定在瓶盖的边沿上，平台板的外弧端上设有气缸销固定通孔，锁销穿过气缸销固定通孔做升降运动。
[0006]进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔A，
活塞的下方设有气腔B，气腔B与外部高压气源连通，开启外部高压气源，活塞在气腔B内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭外部高压气源，气腔B内的高压消失，活塞在气腔A内高压、活塞自身重力的作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。
[0007]更进一步，本方案的外部高压气源与气腔B连通的管道上设有电磁阀，设备端或网络光阻管理后台通过控制电磁阀的启闭状态控制瓶盖锁装置的工作状态。
[0008]进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有微型泵，活塞与微型泵间设有气腔A，活塞的下方设有气腔B，气腔B的下部的气缸内壁上设有活塞限位板，活塞限位板将气腔B分成活塞限位板上方的气腔C、活塞限位板下方的气腔D，微型泵的进气口与气腔A连通，微型泵的出气口与气腔D连通，启动微型泵，微型泵将气腔A内的气体泵入气腔B，活塞在气腔B内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭微型泵，气腔B内的高压消失，活塞在自身重力作用下带动锁销向下运动形成锁
定状态。
[0009]更进一步，本方案的微型泵包括微型泵无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过微型泵无线控制模块控制微型泵的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。[0010]进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔A，活塞的下方设有锁销驱动装置，
活塞与锁销驱动装置间设有气腔B，锁销驱动装置与锁销形成螺纹传动连接，锁销驱动装置通过上述螺纹传动连接驱动锁销升降形成解锁或锁定状态。
[0011]更进一步，本方案的锁销驱动装置包括驱动无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过驱动无线控制模块控制锁销驱动装置的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。
[0012]进一步，本方案的瓶盖上设有进气管、出液管，瓶身内的底面是漏斗锥面，底面的最低处向下开设有聚料孔，出液管的下端头向下延伸入聚料孔，进气管输入的正压将瓶身内的光阻液从出液管排出。
[0013]更进一步，本方案的出液管的下端包括弹性扩容段、平头缺吸口，平头缺吸口包括吸口外沿，吸口外沿上开有平头缺口，扭紧瓶盖，平头缺吸口与聚料孔底部接触压缩弹性扩容段，扭开瓶盖，弹性扩容段在自身弹性应力的作用下扩展吸收平头缺吸口内的残留光阻液。
[0014]本实用新型具有瓶盖锁的设备端光阻瓶采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，具有能避免操作失误导致事故的特点。
附图说明
[0015]图1是本实用新型具有瓶盖锁的设备端光阻瓶的示意图。
[0016]图2是光阻瓶的俯视示意图。
[0017]图3是光阻瓶的主视示意图之一。
[0018]图4是光阻瓶的主视示意图之二。
[0019]图5是光阻瓶的主视示意图之三。
[0020]图6是瓶盖锁装置的示意图。
[0021]图7是瓶身内部的局部剖视示意图。
[0022]图8是出液管下端的局部放大示意图。
[0023]图9是气缸销实施例一的示意图。
[0024]图10是气缸销实施例二的示意图。
[0025]图11是气缸销实施例三的示意图。
[0026]其中，111是瓶把手，121是聚料孔，211是锁销，212是活塞，213是气腔A，214是气腔B，215是微型泵，216是活塞限位板，217是气腔D，218是锁销驱动装置，221是平台板，222是定位侧板，311是弹性扩容段，312是平头缺吸口。
具体实施方式
[0027]如图1～5所示，本实用新型具有瓶盖锁的设备端光阻瓶包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的外侧上设有瓶把手，瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁
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