首页 > 专利查询

ZrCN纳米复合膜及其制备方法[发明专利]

专利名称：ZrCN纳米复合膜及其制备方法专利类型：发明专利

发明人：喻利花，许俊华，马冰洋

申请号：CN201210128160.5

申请日：20120427

公开号：CN102660729A

公开日：

20120912

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种ZrCN纳米复合膜，采用双靶射频反应溅射法以不锈钢为基底层制备得到，ZrCN纳米复合膜厚度为1~3微米，7.2at.%≤C≤11.9at.%，(C+N)/Zr原子比小于1，C进入ZrN 晶格间隙完全形成间隙固溶体，ZrCN纳米复合膜的硬度≥29GPa；或者13.2at.%≤C≤15.4at.%，(C+N)/Zr原子比大于1，C除了进入ZrN晶格间隙形成间隙固溶体外，多余的C形成非晶CN或C单质，ZrCN纳米复合膜的硬度≥18.5GPa。

申请人：江苏科技大学

地址：212003 江苏省镇江市梦溪路2号

国籍：CN

代理机构：南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：楼高潮

本文发布于:2024-09-23 22:35:51，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/4/422329.html

上一篇：一种Mock服务平台及方法[发明专利]

下一篇：专利审查标准条文