专利类型：发明专利
发明人：梁鹏，王超，郭峰，王玉玲，姜芙林，陈召宝，曹玉哲申请号：CN201911073493.0
申请日：20191106
公开号：CN110815147A
公开日：
20200221
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及一种具有两级放大机构的微位移输出平台，主要由驱动部分、放大部分、运动执行部分以及测量部分组成。其中驱动部分主要由压电陶瓷实现功能，而通过碟簧实现压电陶瓷的预紧；放大部分由传统铰链和柔性铰链组合而成；测量部分由基于超声波的测量装置构成。本发明的微位移机构输出位移精度高、动态响应快，碟簧自身特性使得压电陶瓷输出位移过程中保持预紧力恒定，而铰链的对称性分布可有效消除寄生位移。本发明的微位移机构克服了只能利用压电陶瓷实现小位移输出的缺点，根据实际需要调整机构就可实现压电陶瓷输出位移的无级放大，实现了从纳米级到毫米级的多尺度输出精度。本发明可应用于校正超声波探头测量固定膜厚时的精度。 申请人：青岛理工大学
地址：266520 山东省青岛市黄岛区嘉陵江东路777号
国籍：CN
代理机构：青岛高晓专利事务所(普通合伙)
代理人：张世功
豫公网安备41160202000603
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