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用于发光显微镜查芯片缺陷的芯片固定装置[发明专利]

专利名称：用于发光显微镜查芯片缺陷的芯片固定装置专利类型：发明专利

发明人：董伟淳，廖炳隆，季春葵，牛崇实

申请号：CN200310122969.8

申请日：20031230

公开号：CN1635364A

公开日：

20050706

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：一种用于发光显微镜查芯片缺陷的芯片固定装置，包括：一个印有复数条电气连接线的印刷线路板；一个由透明材料制成的观察窗，设于该印刷线路板上；复数条电气连接线向粘贴于观察窗上的芯片提供电源连接；还设有一个固定板，位于所述印刷线路板的下层，与印刷线路板为上下二层的结构；复数条电气连接线印制于观察窗周围且彼此相互绝缘，每条电气连接线在观察窗周围分别设有复数个接触点，向芯片就近提供电源，每条电气连接线在印刷线路板的边缘分别设有一个接线端子；本芯片固定装置可将芯片直接粘贴在观察窗上，观察窗的尺寸可适用于各种规格芯片；上下两层的结构可避免芯片接线所带来的杂乱，且下层固定板使得重心稳定，从而使得缺陷查迅速、简便、可靠性高、适用性好。

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍：CN

代理机构：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：陈红

本文发布于:2024-09-22 08:27:56，感谢您对本站的认可！

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