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一种共蒸发制备无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的方法[发明专利]

专利名称：一种共蒸发制备无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的方法专利类型：发明专利

发明人：杨盼，杨丽军，赵晓冲，王劲川，杨蕊竹

申请号：CN201610806551.6

申请日：20160907

公开号：CN106282922A

公开日：

20170104

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开一种共蒸发制备无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的方法，包括：（1）对衬底材料进行超声清洗，氮气吹干备用；（2）将衬底材料放入共蒸发设备样品架上，对真空腔室内抽真空，至腔室的真空度小于5×10Pa时，加热并旋转衬底材料，保持其温度；（3）调节CsX蒸发源和SnX蒸发源的温度，使二者共同对衬底材料的蒸发速率进行控制；（4）待蒸发源的温度达到设定值且蒸发速率稳定后进行无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的双源共蒸发沉积，冷却至室温，得到无机非铅卤化物钙钛矿薄膜。本发明制备的无机非铅卤化物钙钛矿薄膜稳定性好、成本低廉、表面平整、内部缺陷较少、工艺可重复性高，且绿环保无污染，适合用于大规模产业化生产。

申请人：中国工程物理研究院材料研究所

地址：610000 四川省成都市双流区银河路596号

国籍：CN

代理机构：成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙)

代理人：刘华平

本文发布于:2024-09-21 01:27:52，感谢您对本站的认可！

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