一种晶棒旋转定位夹持装置[发明专利]

专利名称:一种晶棒旋转定位夹持装置专利类型:发明专利
发明人:杨光宇
申请号:CN202011180941.X
申请日:20201029
公开号:CN112297265A
公开日:
20210202
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种晶棒旋转定位夹持装置,包括机架,所述机架上设置有能够将装置进行转动的旋转机构,所述旋转机构连接有进行高度调节的升降机构,所述升降机构连接有伸缩机构,所述伸缩机构伸缩端连接有连接架,所述连接架上设置有能够根据不同晶棒进行调节的夹具移动机构,所述夹具移动机构上连接有对晶棒进行夹持的夹取机构,所述机架底部设置有减震机构。本发明的有益效果是本装置结构简单,实用性强,适用范围广,能够实现多种不同规格晶棒的夹持。
申请人:锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司
地址:300000 天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区海泰华科三路1号6号楼-912
国籍:CN
代理机构:北京沁优知识产权代理有限公司
代理人:郭峰

本文发布于:2024-09-21 03:33:51,感谢您对本站的认可!

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标签:机构   装置   晶棒   连接   进行   旋转   夹持
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