一种对接传样装置及光学系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113655241 A (43)申请公布日 2021.11.16

(21)申请号 CN202110956472.4

(22)申请日 2021.08.19

(71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址 215000 江苏省苏州市工业园区若水路398号

(72)发明人龚忠苗李浩陈志敏刘宏伟崔义

(74)专利代理机构 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人王广浩

(51)Int.CI

G01Q60/18(20100101)

G01Q30/20(20100101)

G01Q30/16(20100101)

G01Q30/18(20100101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种对接传样装置及光学系统

(57)摘要

本发明公开了一种对接传样装置，用以与真空型扫描近场光学显微镜对接并进行传样，该装置包括：转接腔体，与所述真空型扫描近场光学显微镜的真空腔连通，并可与所述真空腔一同被抽至真空；真空转移仓，与所述转接腔体相匹配，用于将样品从另一真空环境或气氛保护下转移至所述转接腔体内，并在样品转移至所述转接腔体后与所述转接腔体密封连接；传样杆，与所述转接腔体连接，所述传样杆的前端设置有用于抓取样品的抓取头，所述抓取头用于伸入所述转接腔体内，并在所述真空转移仓打开后抓取样品，并将样品转移至所述真空腔内的样品台上。本发明具有结构简单、操作方便、通用性强、成本低的优点。

法律状态