一种硅片表面成膜检测的辅助工装的制作方法

1.本实用新型涉及检测辅助工装技术领域，具体为一种硅片表面成膜检测的辅助工装。

背景技术：

2.在对硅片表面成膜处理后，需要对其成膜品质进行检测，现有的检测方式都是直接在检测设备下方设置一个简易的工作台，将硅片放置于工作台上进行检测，当需要翻面时也是人员直接拨动硅片进行翻面，如果操作不当容易划伤硅片，造成不必要的损失。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种硅片表面成膜检测的辅助工装，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片表面成膜检测的辅助工装，包括两个相对设置的第一支架和第二支架，所述第二支架上设有滚动轴承，所述第一支架和第二支架之间设有可旋转的夹持机构，所述夹持机构包括上夹持板和下夹持板，所述下夹持板的中间设有凹槽，所述凹槽的底部边缘设有一圈硅胶垫，所述凹槽的底部中间开设有第一通孔，所述下夹持板的上板面的四周均设有螺纹柱。
5.优选的，所述上夹持板的中间设有第二通孔，所述第二通孔的外围设有一圈第二硅胶垫，所述上夹持板的四周设有连接孔，将四个所述连接孔分别套接于对应的螺纹柱上，所述螺纹柱的端头通过螺母固定，此时所述上夹持板与下夹持板相贴合，所述第一通孔与第二通孔相对应设置。
6.优选的，所述下夹持板的两侧设有转轴，其中一侧所述转轴转动连接于第一支架上，另一侧所述转轴穿过滚动轴承连接着旋转壁，所述旋转壁的顶部设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有螺纹杆。
7.优选的，所述第二支架的外侧设有多个螺纹槽，所述螺纹槽位于滚动轴承的周围。
8.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上夹持板与下夹持板来固定硅片，然后透过第一通孔和第二通孔对硅片表面进行检测，当需要进行翻面时，只需要将螺纹杆从螺纹槽内拧出，此时旋转臂上的螺纹杆就变成了把手，方便工作人员旋转，继而实现硅片翻面，翻面完成后在将螺纹杆拧入对应的螺纹槽内，进行固定；
9.综上所述，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的可旋转的夹持机构，能够保证在翻转时不会触碰到硅片，从而杜绝了硅片擦伤的风险。
附图说明
10.图1为本实用新型整体结构侧视示意图；
11.图2为本实用新型第二支架结构示意图；
12.图3为本实用新型整体结构俯视示意图；
13.图4为本实用新型下夹持板的结构示意图；
14.图5为本实用新型上夹持板的结构示意图。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.如图图1和图2所示，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片表面成膜检测的辅助工装，包括两个相对设置的第一支架1和第二支架2，所述第二支架2上设有滚动轴承21，所述第一支架1和第二支架2之间设有可旋转的夹持机构3。
17.如图4和图5所示，本实施例中，所述夹持机构3包括上夹持板31和下夹持板32，所述下夹持板32的中间设有凹槽321，所述凹槽321的底部边缘设有一圈第一硅胶垫322，将硅片放置于凹槽内，且第一硅胶垫与硅片边缘相贴，由于在所述凹槽32的底部中间开设有第一通孔323，因此可以通过第一通孔检测硅片的表面，所述下夹持板32的上板面的四周均设有螺纹柱324；
18.所述上夹持板31的中间设有第二通孔311，同样可以通过第一通孔检测硅片的表面，所述第二通孔311的外围设有一圈第二硅胶垫312，所述上夹持板31的四周设有连接孔313。
19.如图3所示，本实施例中，上夹持板与下夹持板的固定方式如下，将四个所述连接孔313分别套接于对应的螺纹柱324上，此时所述螺纹柱324的端头穿过连接孔，再通过螺母314对其进行固定，即可使所述上夹持板31与下夹持板32相贴合设置，此时的所述第一通孔323与第二通孔311相对应设置，且位于同一垂直线，同时第一硅胶垫与第二硅胶垫会相互贴合的，将硅片的边缘夹持住。
20.如图1和图4所示，本实施例中，所述下夹持板32的两侧设有转轴325，其中一侧所述转轴325转动连接于第一支架1上，另一侧所述转轴325穿过滚动轴承21连接着旋转壁33，所述旋转壁33的顶部设有螺纹孔331，所述螺纹孔331内设有螺纹杆332，所述第二支架2的外侧设有多个螺纹槽22，所述螺纹槽22位于滚动轴承21的周围，且螺纹槽的大小与螺纹杆相匹配，当拧紧螺纹杆时，螺纹杆的端部会插入对应的螺纹槽内固定，此时整个夹持机构就是固定不动的；
21.当需要翻转夹持机构时，只要将螺纹杆从螺纹槽内拧出，此时旋转臂上的螺纹杆就变成了把手，方便工作人员旋转，旋转翻面后，再将螺纹杆拧紧固定于对应的螺纹槽内即可。
22.工作原理：将硅片放入下夹持板的凹槽内，然后将上夹持板与下夹持板对接，此时第一硅胶垫与第二硅胶垫也是相互贴合的，并将硅片的边缘夹持住，从而将硅片固定于夹持机构内，此时检测设备可以透过第二通孔对硅片表面进行检测；
23.当需要翻转夹持机构时，只要将螺纹杆从螺纹槽内拧出，此时旋转臂上的螺纹杆就变成了把手，工作人员握住螺纹杆旋转，直至硅片的另一面朝上，再将螺纹杆拧紧固定于对应的螺纹槽内即可；
24.随后检测设备可以透过第一通孔对硅片表面进行检测。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种硅片表面成膜检测的辅助工装，包括两个相对设置的第一支架1和第二支架2，所述第二支架2上设有滚动轴承21，所述第一支架1和第二支架2之间设有可旋转的夹持机构3，其特征在于：所述夹持机构3包括上夹持板31和下夹持板32，所述下夹持板32的中间设有凹槽321，所述凹槽321的底部边缘设有一圈第一硅胶垫322，所述凹槽32的底部中间开设有第一通孔323，所述下夹持板32的上板面的四周均设有螺纹柱324。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面成膜检测的辅助工装，其特征在于：所述上夹持板31的中间设有第二通孔311，所述第二通孔311的外围设有一圈第二硅胶垫312，所述上夹持板31的四周设有连接孔313，将四个所述连接孔313分别套接于对应的螺纹柱324上，所述螺纹柱324的端头通过螺母314固定，此时所述上夹持板31与下夹持板32相贴合，所述第一通孔323与第二通孔311相对应设置。3.根据权利要求1所述的一种硅片表面成膜检测的辅助工装，其特征在于：所述下夹持板32的两侧设有转轴325，其中一侧所述转轴325转动连接于第一支架1上，另一侧所述转轴325穿过滚动轴承21连接着旋转壁33，所述旋转壁33的顶部设有螺纹孔331，所述螺纹孔331内设有螺纹杆332。4.根据权利要求1所述的一种硅片表面成膜检测的辅助工装，其特征在于：所述第二支架2的外侧设有多个螺纹槽22，所述螺纹槽22位于滚动轴承21的周围。

技术总结

本实用新型公开了一种硅片表面成膜检测的辅助工装，包括两个相对设置的第一支架和第二支架，所述第二支架上设有滚动轴承，所述第一支架和第二支架之间设有可旋转的夹持机构，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的可旋转的夹持机构，能够保证在翻转时不会触碰到硅片，从而杜绝了硅片擦伤的风险。从而杜绝了硅片擦伤的风险。从而杜绝了硅片擦伤的风险。