一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112763556 A (43)申请公布日 2021.05.07

(21)申请号 CN202011427912.9

(22)申请日 2020.12.07

(71)申请人山东省科学院海洋仪器仪表研究所

地址 266200 山东省青岛市鳌山卫街道青岛蓝硅谷核心区蓝硅谷创业中心一期2号楼

(72)发明人张学宇盖志刚郭凤祥王宜豹柴旭陈志刚张丽丽王韶琰姜辛

(74)专利代理机构 37247 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)

代理人刘娜

(51)Int.CI

G01N27/30(20060101)

C23C16/27(20060101)

C23C16/26(20060101)

C23C16/50(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法

(57)摘要

本发明公开了一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法，该电极由下到上依次包括电极衬底、第一层硼掺杂金刚石膜、石墨烯层和第二层硼掺杂金刚石膜。本发明所公开的海洋探测器电极为两层硼掺杂金刚石膜中间夹一层石墨烯层的结构，利用石墨烯层提高电极的电导率，同时缓解金刚石膜的内应力，在金刚石层电化学窗口宽、背景电流低、机械强度高的基础上，利用石墨烯层高载流子浓度和化学稳定性的特点，能够进一步提高海洋探测器电极的灵敏度和稳定性。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-05-07	公开	公开
2021-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-12-02	授权	发明专利权授予