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一种含硅或硫的成膜树脂、光刻胶组合物[发明专利]

专利名称：一种含硅或硫的成膜树脂、光刻胶组合物专利类型：发明专利

发明人：聂俊，朱晓，李三保，张宇蔚，孙芳

申请号：CN202111215044.2

申请日：20211019

公开号：CN113999340A

公开日：

20220201

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种含硅或硫的成膜树脂、光刻胶组合物，所述成膜树脂的共聚单体包括丙烯酸酯衍生物与丁烯酸酯衍生物；所述丁烯酸酯衍生物为含硅丁烯酸酯衍生物或含硫丁烯酸酯衍生物；所述含硅丁烯酸酯衍生物具有如下式(1)所示结构：所述含硫丁烯酸酯衍生物具有如下式(2)所示结构：其中R11是构环原子数为3～10的环状基团且至少含有一个硫原子作为构环原子。本发明的成膜树脂具有较好的韧性，对基底具有较好的附着力，采用成膜树脂得到的光刻胶具有较高的分辨率。

申请人：江苏集萃光敏电子材料研究所有限公司

地址：214213 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区华东电子创新基地10号

国籍：CN

代理机构：常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)

代理人：马晓敏

本文发布于:2024-09-25 20:33:46，感谢您对本站的认可！

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