真空溅射镀膜机[实用新型专利]

专利名称：真空溅射镀膜机专利类型：实用新型专利发明人：沈琪，张小清

申请号：CN97235969.9申请日：19970506

公开号：CN2300656Y

公开日：

19981216

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：一种真空溅射装置，包括一个真空炉，其外联接有扩散泵、机械泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵与传动减速装置，炉体顶部设有导气管，真空炉为立式，炉体底部装有弧形导轨，其上装有由传动减速装置控制的可沿弧形导轨移动的靶座，真空炉的炉门为弧形。本实用新型，设备成本低，占地面积小，可以镀各种规格的弧形材料，且成品的镀层均匀、牢固，光洁度好，广泛应用于建筑、装璜等领域。

申请人：常州市太湖磁控溅射技术研究所

地址：213179 江苏省武进市潘家桥镇周桥

国籍：CN

代理机构：武进市专利事务所

代理人：林倩

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